多通路导液管件、集成电路铜剥离液生产系统及生产工艺的制作方法

本发明涉及导液管件领域，具体而言，涉及多通路导液管件、集成电路铜剥离液生产系统及生产工艺。

背景技术：

1、在进行多组分液相调配的过程中，需要精确控制每种组分的用量。传统的管件在输送液体组分时，其定量效果较差，难以确保每种组分都严格按照预定比例进行配置，容易出现定量误差。

2、有鉴于此，特提出本技术。

技术实现思路

1、本发明的第一个目的在于提供一种多通路导液管件，其能够有效地提高液相组分的定量精度，降低定量误差，使液相组分的配置过程更加可控。

2、本发明的第二个目的在于提供一种集成电路铜剥离液生产系统，其能够有效地提高各个组分的定量精度，降低定量误差，使集成电路铜剥离液的配置过程更加可控，保障了剥离液质量。

3、本发明的第三个目的在于提供一种集成电路铜剥离液生产工艺，其能够有效地提高各个组分的定量精度，降低定量误差，使集成电路铜剥离液的配置过程更加可控，保障了剥离液质量。

4、本发明的实施例是这样实现的：

5、一种多通路导液管件，其包括：主管体、第一芯体、第二芯体和第一驱动器。

6、主管体具有依次连通的第一管腔、第二管腔和第三管腔，且三者的内径依次递增，第一管腔位于主管体的一端端部。第一芯体的直径大于第一管腔的内径并小于第二管腔的内径。第二芯体的直径大于第二管腔的内径并小于第三管腔的内径。

7、第一芯体位于第一管腔靠近第二管腔的一侧，第二芯体设于第一芯体远离第一管腔的一侧。沿主管体的轴向，第一芯体和第二芯体均可滑动地配合于主管体内。第二芯体配合有第一弹性件，以用于将第二芯体向第三管腔靠近第二管腔的一端推动。

8、第一驱动器用于控制第一芯体和主管体沿轴向相对运动，以使第一芯体能够推动第二芯体，从而调控主管体的流通面积。

9、进一步的，主管体还具有第四管腔，第四管腔的内径大于第三管腔的内径，第四管腔位于第三管腔远离第一管腔的一端并与第三管腔连通。

10、多通路导液管件还包括第三芯体，第三芯体的直径大于第三管腔的内径并小于第四管腔的内径，第三芯体设于第四管腔当中。沿主管体的轴向，第三芯体可滑动地配合于主管体。第三芯体配合有第二弹性件，以用于将第三芯体向第四管腔靠近第三管腔的一端推动。

11、第一驱动器用于控制第一芯体和主管体沿轴向相对运动，以使第一芯体能够依次推动第二芯体和第三芯体，从而调控主管体的流通面积。

12、进一步的，多通路导液管件还包括：第一配合杆。

13、主管体远离第一管腔的一端由封块封闭，封块具有配合内腔。

14、第三芯体与第一配合杆连接，第一配合杆沿主管体的轴向设置并贯穿至配合内腔当中，第一配合杆滑动配合于封块，第二弹性件抵接于配合内腔远离第一管腔的一侧内壁与第一配合杆的端部之间。

15、进一步的，多通路导液管件还包括：第二配合杆。

16、第三芯体靠近第二芯体的一侧开设有配合孔，配合孔沿主管体的轴向延伸并延伸至第一配合杆。第二芯体与第二配合杆连接，第二配合杆沿主管体的轴向设置并滑动配合于配合孔中，第一弹性件抵接于配合孔远离第一管腔的一端端壁与第二配合杆的端部之间。

17、进一步的，多通路导液管件还包括：端座和控制杆。

18、第一芯体与控制杆连接，控制杆沿主管体的轴向设置，控制杆经第二芯体靠近第一芯体的一侧依次贯穿第二芯体、第二配合杆、第一配合杆和封块，控制杆远离第一芯体的一端与端座固定连接，端座位于封块远离第一管腔的一侧。第一驱动器用于驱动主管体沿轴向远离和靠近端座。

19、进一步的，第二芯体开设有将其靠近第一芯体一侧和远离第一芯体一侧连通的第一连通孔。

20、第一连通孔包括：第一流道、第二流道和第三流道。第一流道位于第二芯体远离第一芯体的一侧，第三流道位于第二芯体靠近第一芯体的一侧，第二流道将第一流道和第三流道连通。第一流道和第三流道均沿主管体的轴向设置，第二流道沿主管体的径向设置。

21、第一流道靠近第二流道的一端端壁开设有弧形滑槽，弧形滑槽的两端均贯穿至第二芯体靠近第一芯体的一侧，弧形滑槽内可滑动地配合有弧形件，弧形件的长度大于弧形滑槽的长度。弧形件对应的圆环的中心轴线同时垂直于主管体的中心轴线和第二流道的中心轴线。

22、弧形件的外环壁开设有配合缺口。

23、当第二芯体与第三管腔靠近第二管腔的一端端壁贴合时，弧形件远离主管体的中心轴线的一端被推入弧形滑槽，弧形件的另一端伸出于弧形滑槽之外，配合缺口一部分位于第一流道内，配合缺口另一部分位于第二流道内，配合缺口将第一流道和第二流道连通。

24、当第一芯体将第二芯体推动时，第一芯体将弧形件靠近主管体的中心轴线的一端推入弧形滑槽，弧形件的另一端伸出于弧形滑槽之外，配合缺口全部位于第一流道内，弧形件将第一流道和第二流道阻断。

25、一种集成电路铜剥离液生产系统，其包括：配液容器、中心座、第二驱动器和上述的多通路导液管件。

26、多通路导液管件为多个，多个多通路导液管件沿中心座的周向均匀间隔设置。

27、多个多通路导液管件共用一个端座。端座与中心座固定连接，中心座的外径小于端座的外径，中心座与端座同轴设置。

28、第二驱动器内置于中心座，中心座远离端座的一端设置有转动部，转动部与第二驱动器传动配合。

29、配液容器与转动部可拆卸式连接。

30、配液容器靠近中心座的一侧与主管体的端壁相贴合，配液容器靠近中心座的一侧开设有注液孔，注液孔的孔径与主管体的外径相适配。

31、第二驱动器用于驱动配液容器转动，以使注液孔与需要加入的组分对应的主管体对齐。

32、进一步的，配液容器内设置有基准柱，基准柱固定连接于配液容器靠近中心座的一侧侧壁，且基准柱沿主管体的轴向延伸。

33、基准柱远离中心座的一端设置有转动环，转动环连接有搅拌叶。

34、基准柱内置有发条结构和内啮合棘轮机构，内啮合棘轮机构的拨盘与发条结构的上弦齿轮传动配合，发条结构的释放齿轮与转动环传动配合。内啮合棘轮机构的内棘轮具有外齿圈。

35、基准柱的外侧壁开设有上弦滑槽，上弦滑槽沿基准柱的轴向设置，上弦滑槽内滑动配合有上弦齿条。上弦齿条固定连接有推板，推板延伸至注液孔，推板开设有过液口，过液口用于主管体向配液容器内进行注液。

36、上弦齿条配合有复位弹性件，自然状态下，上弦齿条位于上弦滑槽靠近中心座的一端，且上弦齿条与内棘轮分离。

37、当主管体经注液孔伸入配液容器时，主管体推动推板，使上弦齿条与内棘轮啮合并驱动内啮合棘轮机构对发条结构进行上弦。

38、进一步的，推板还配置有引流杆，引流杆设于过液口中。

39、过液口的靠近主管体的一端周缘设置有杠杆。杠杆的一端延伸至推板靠近主管体的一侧，另一端延伸穿过过液口并与引流杆连接。

40、当主管体与推板接触时，主管体推动杠杆远离引流杆的一端，以使引流杆向第一管腔内部移动。

41、一种集成电路铜剥离液生产工艺，包括：将非羟胺剥离剂、溶剂、添加剂和超纯水四者的供应管道分别与上述的集成电路铜剥离液生产系统中的四个主管体连通，利用集成电路铜剥离液生产系统在配液容器中配置集成电路铜剥离液产品。

42、其中，非羟胺剥离剂的质量份数为8~11份，非羟胺剥离剂包括：三乙醇胺、二乙醇胺、一乙醇胺、邻甲苯胺、二苯胺、三乙烯二胺、己内酰胺、n-甲基1乙醇胺、二甲基甲酰胺、叔丁胺、n-二甲基甲酰胺、和n，n-二甲基丙酰胺中的至少一者。

43、溶剂的质量份数为47~50份，溶剂包括：丙二醇苯醚、六甲基磷酰三胺、乙二醇丁醚、乙二醇、聚乙二醇、二乙二醇、乙二醇单甲醚、丁醇、辛醇、环戊基甲醚、二丙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、和n-甲基吡咯烷酮中的至少一者。

44、添加剂的质量份数为1~2.5份，添加剂包括：十二烷基苯酚聚氧乙烯醚、n-羟乙基哌嗪、壬基酚聚氧乙烯醚、聚乙烯基咪唑啉、1-甲基-5-硝基咪唑、n，n-二甲基丙烯基脲、丁二酸、2-氨基苯并噻唑、植酸、葡萄糖酸、和木糖醇中的至少一者。

45、超纯水的质量份数为37.2~41.2份。

46、本发明实施例的技术方案的有益效果包括：

47、本发明实施例提供的多通路导液管件能够有效地提高液相组分的定量精度，降低定量误差，使液相组分的配置过程更加可控。本发明实施例提供的集成电路铜剥离液生产系统能够有效地提高各个组分的定量精度，降低定量误差，使集成电路铜剥离液的配置过程更加可控，保障了剥离液质量。本发明实施例提供的集成电路铜剥离液生产工艺能够有效地提高各个组分的定量精度，降低定量误差，使集成电路铜剥离液的配置过程更加可控，保障了剥离液质量。