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一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置的制作方法

2025-12-25 16:40:07 254次浏览

技术特征:

1.一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,包括装置主体(1)、抛光盘(2)、搅拌桶(3)、连接泵口(4)、连接头(5)、输送管(6)、连接架(7)、放置盘(8)、晶片主体(9)、限位盘(10)、压板(11)、定位板(12)和调节机构(21),其特征在于:所述装置主体(1)的外壁旋转连接有抛光盘(2),所述装置主体(1)的外壁固定连接有搅拌桶(3),所述连接泵口(4)设置于搅拌桶(3)的顶部,所述连接泵口(4)的内壁可拆卸连接有连接头(5),所述连接头(5)的外壁固定连接有输送管(6),所述装置主体(1)的外壁固定连接有套接于输送管(6)外壁的连接架(7),所述放置盘(8)放置于抛光盘(2)的表面,所述放置盘(8)的底部设置有晶片主体(9),所述放置盘(8)的外壁套接有限位盘(10),所述限位盘(10)的内壁放置有与放置盘(8)顶部相贴合的压板(11),所述限位盘(10)的内壁放置有位于压板(11)上方的定位板(12);

2.根据权利要求1所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,其特征在于:所述搅拌桶(3)的顶部开设有加注口(18),所述连接头(5)的外壁设置有外螺旋(19),所述连接泵口(4)的内壁与外螺旋(19)的连接部位设置有内螺旋(20);

3.根据权利要求2所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,其特征在于:所述安装机构(15)包括有:

4.根据权利要求3所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,其特征在于:所述插杆(1502)和卡块(1503)的挤压部位呈圆弧状,所述卡块(1503)和伸缩杆(1504)均设置有两组,两组所述卡块(1503)和伸缩杆(1504)的位置分布均关于插杆(1502)的中心轴相对称;

5.根据权利要求3所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,其特征在于:所述转动杆(1506)通过卡块(1503)与连接杆(1507)之间构成转动结构,所述转动杆(1506)设置有两组,两组所述转动杆(1506)的位置分布关于连接杆(1507)的中心轴相对称。

6.根据权利要求2所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,其特征在于:所述清理机构(16)包括有:

7.根据权利要求6所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,其特征在于:所述升降杆(1604)通过第三螺纹杆(1602)与限位槽(1605)之间构成升降结构,所述清理刮板(1610)通过升降杆(1604)与限位槽(1605)之间构成升降结构;

8.根据权利要求2所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,其特征在于:所述搅拌机构(17)包括有:

9.根据权利要求8所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,其特征在于:所述伸缩块(1706)通过微型防潮电动推动进行驱动,所述固定刮板(1704)和伸缩刮板(1708)的外壁轮廓均呈圆柱状;

10.根据权利要求8所述的一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,其特征在于:所述顶升杆(1705)通过伸缩块(1706)和摆动杆(1707)与固定刮板(1704)之间构成伸缩结构,所述固定刮板(1704)的内壁与顶升杆(1705)的连接部位开设有连接槽。


技术总结
本发明公开了一种锑化镓晶片表面加工用抛光装置,涉及锑化镓晶片加工技术领域,解决了在对锑化镓晶片进行抛光加工时,对于限位盘使用尺寸固定,对于限位盘卡合拆装更换便捷性不高,和对于抛光盘表面调节清理效果不高,及对于搅拌桶内的抛光液自动搅拌和自动刮除同步性不高的问题。该加工平台,包括装置主体、抛光盘、搅拌桶、连接泵口、连接头、输送管、连接架、放置盘、晶片主体、限位盘、压板、定位板和调节机构,所述装置主体的外壁旋转连接有抛光盘;在本发明中,可一次性完成对不同尺寸轮廓的限位盘卡合拆装更换,对于抛光盘表面杂质调节清理,和达到对于搅拌桶内的抛光液自动搅拌,和对搅拌桶内壁吸附的抛光液自动刮除搅拌的效果。

技术研发人员:赵勇,程波,程鹏,张帅镔
受保护的技术使用者:无锡晶名光电科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/12/5
文档序号 : 【 40239480 】

技术研发人员:赵勇,程波,程鹏,张帅镔
技术所有人:无锡晶名光电科技有限公司

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赵勇程波程鹏张帅镔无锡晶名光电科技有限公司
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