一种水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液及其制备方法与流程

1.一种水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液，其特征在于，每升离子钯活化液由以下原料组成：可溶性二价钯化合物10-30mg、络合剂0.1-2g、稳定剂15-25mg、乳化剂10-20mg、表面活性剂20-40mg、余量为水，用ph调节剂将ph值调至9-11。

2.根据权利要求1所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液，其特征在于，每升离子钯活化液由以下原料组成：可溶性二价钯化合物15-25mg、络合剂0.5-1g、稳定剂20-25mg、乳化剂15-20mg、表面活性剂25-35mg、余量为水，用ph调节剂将ph值调至9-10。

3.根据权利要求1所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液，其特征在于，所述可溶性二价钯化合物为硫酸钯、氯化钯中的一种或两种；所述稳定剂为糠醛、乙醛酸、苹果酸、维生素c、硼酸中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液，其特征在于，所述乳化剂为烷基酚聚氧乙烯醚、异辛基硫酸钠、十二烷基硫酸钠中的一种或几种；所述ph调节剂为氨水、koh、naoh中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液，其特征在于，所述络合剂的制备方法，包括以下步骤：

6.根据权利要求5所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液，其特征在于，步骤s1中所述乙醇水中乙醇的质量分数为70-80％，所述纳米碳酸钙、乙醇水溶液、十二烷基苯磺酸钠、正硅酸乙酯、乙二胺的质量比为30-40:600-800:0.2-0.5:40-50:60-70，所述水热反应的温度为130-160℃，时间为5-8h，所述盐酸的质量浓度为10-15％。

7.根据权利要求5所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液，其特征在于，步骤s2中所述乙醇水中乙醇的质量分数为70-80％，所述壳聚糖乙酸溶液中壳聚糖的质量分数为2-5％，所述中空二氧化硅、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、壳聚糖乙酸溶液、浓磷酸的质量比为30-40:1.5-3:200-300:4-8，所述搅拌反应的温度为60-70℃，时间为3-5h；所述恒温反应的温度为70-75℃，时间为2-3h。

8.根据权利要求5所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液，其特征在于，步骤s3中所述改性中空二氧化硅、环氧氯丙烷、2,2′-联吡啶-4,4′-二羧酸的质量比为30-40:5-8:7.5-15，所述加热反应的温度为70-80℃，时间为4-6h。

9.根据权利要求1所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液，其特征在于，所述表面活性剂的制备方法如下：将10-15份脂肪醇聚氧乙烯醚os-25、5-8份硬脂酰乳酸钠加入35-45份甘油中，搅拌混合均匀，即得。

10.一种如权利要求1-9任一项所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将可溶性二价钯化合物、络合剂、表面活性剂加入去离子水中，搅拌1-2h，随后加入稳定剂、乳化剂，继续搅拌1-2h，加入ph调节剂将ph值调至9-11，混合均匀后即得所述水平沉铜用低钯浓度的离子钯活化液。