一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架的制作方法

1.一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：包括托板(1)、气动吸盘组件(2)和限位机构(3)，所述气动吸盘组件(2)安装于托板(1)中部，所述气动吸盘组件(2)的顶部边沿处设置有限位机构(3)，且限位机构(3)的底端与托板(1)相连接；

2.根据权利要求1所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：所述限位装置(37)包括支撑壳(371)、齿轮二(372)、螺杆(373)、活动管(374)、活动限位组件(375)、直杆(376)和位移传感器(377)，所述支撑壳(371)的内中部设置有齿轮二(372)，所述齿轮二(372)的圆心处贯穿有螺杆(373)，且齿轮(372)与螺杆(373)传动连接，所述螺杆(373)的右端伸出支撑壳(371)与活动管(374)内壁螺纹连接，所述活动管(374)的右端与活动限位组件(375)固定连接，所述动限位组件(375)的左端顶部与直杆(376)固定连接，所述直杆(376)的左端与位移传感器(377)的相连接，且位移传感器(377)固定于支撑壳(371)的内部顶端，所述支撑壳(371)套装在环形齿盘(31)外侧，且支撑壳(371)不与环形齿盘(31)接触，支撑壳(371)的底端与托板(1)固定连接，所述齿轮二(372)的底端与环形齿盘(31)顶部的驱动卡齿(34)相互啮合。

3.根据权利要求2所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：所述活动限位组件(375)包括活动壳(3751)、活动斜板(3752)、限位杆(3753)、隔板(3754)、磁板(3755)、电磁铁(3756)、往复机构(3757)、缓冲板(3758)、连接杆(3759)、竖板(37510)和拉簧(37511)，所述活动壳(3751)的右侧设置有活动斜板(3752)，所述活动斜板(3752)的左端上下两侧均固定有限位杆(3753)，所述活动壳(3751)的内中部竖向固定有隔板(3754)，所述限位杆(3753)的左端伸入至活动壳(3751)内，且限位杆(3753)贯穿隔板(3754)，所述磁板(3755)固定于两根限位杆(3753)之间左侧，所述磁板(3755)的左侧设置有电磁铁(3756)，且电磁铁(3756)固定于活动壳(3751)的内部左侧壁，所述活动斜板(3752)的左端中部与往复机构(3757)相连接，所述活动斜板(3752)的右侧设置有缓冲板(3758)，所述缓冲板(3758)的左端上下两侧均固定有连接杆(3759)，所述连接杆(3759)的左端贯穿活动斜板(3752)与竖板(37510)固定连接，所述竖板(37510)设置于活动斜板(3752)的左端边沿处，且竖板(37510)的右端通过拉簧(37511)与活动斜板(3752)弹性连接，所述活动壳(3751)的左端上下两侧分别与直杆(376)和活动管(374)固定连接。

4.根据权利要求3所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：所述往复机构(3757)包括电机三(37571)、转动杆(37572)、连杆(37573)和连接件(37574)，所述电机三(37571)底端的输出轴与转动杆(37572)一端传动连接，转动杆(37572)的另一端通过转轴与连杆(37573)左端转动连接，所述连杆(37573)的右端通过转轴与连接件(37574)转动连接，所述连接件(37574)与活动斜板(3752)的左端中部固定连接，所述电机三(37571)与隔板(3754)固定连接。

5.根据权利要求1所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：所述蜗杆组件(36)包括电机二(361)、齿轮箱(362)、蜗杆(363)和支撑块(364)，所述电机二(361)前端的输出轴通过齿轮箱(362)内的齿轮组与蜗杆(363)传动连接，且蜗杆(363)的后端通过轴承与支撑块(364)转动连接，所述蜗杆(363)与蜗轮(35)相互啮合，所述齿轮箱(362)和支撑块(364)的底端均与托板(1)固定连接。

6.根据权利要求1所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：所述支撑盘(21)包括支撑盘主体(211)、凹槽(212)、吸气孔(213)和限位管(214)，所述支撑盘主体(211)的顶端中部开设有凹槽(212)，所述支撑盘(21)的顶端面设置有吸气孔(213)，所述支撑盘主体(211)的内中部左右两侧均固定有限位管(214)，且竖杆(27)竖直贯穿限位管(214)，所述支撑盘主体(211)的外壁底部与轴承一(22)相连接，所述支撑盘主体(211)的外壁中部固定有齿圈(23)。

7.根据权利要求6所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：所述凹槽(212)的内壁与活动支盘(26)贴合，活动支盘(26)的顶端和底端面边沿处均开设有气孔，所述凹槽(212)的内部底端边沿处开设有吸气孔(213)，且凹槽(212)内部底端边沿处的吸气孔(213)与活动支盘(26)底端边沿处的气孔竖直对齐。

8.根据权利要求1所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：所述支盘升降控制组件(28)包括转动板(281)、活动环(282)、竖管(283)、轴承二(284)、活动架(285)、滑槽(286)、连接气管(287)、气泵(288)和电动推杆(289)，所述转动板(281)的内中部贯穿有活动环(282)，且活动环(282)与转动板(281)固定连接，所述竖管(283)竖直贯穿活动环(282)，且竖管(283)的底端与支撑盘主体(211)底端圆心处相连接，所述转动板(281)的外壁与轴承二(284)固定连接，且轴承二(284)的外壁与活动架(285)固定连接，所述活动架(285)的左侧开设有滑槽(286)，所述连接气管(287)一端贯穿滑槽(286)伸入至转动板(281)内与竖管(283)底端相连接，且连接气管(287)的另一端与气泵(288)的抽气端口相连接，所述活动架(285)的底端与电动推杆(289)固定连接。

9.根据权利要求8所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：所述转动板(281)、活动环(282)、竖管(283)和活动架(285)俯视均呈圆形状，且转动板(281)、活动环(282)、竖管(283)、轴承二(284)和活动架(285)呈同心设置。

10.根据权利要求8所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，其特征在于：所述竖管(283)与支撑盘主体(211)连接处呈转动连接，且连接处设置油封。