一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架的制作方法

本发明涉及涂胶显影机相关领域，具体是一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架。

背景技术：

1、显影机是将晒制好的印版通过半自动和全自动的程序将显影、冲洗、涂胶、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷处理设备，一般由传动系统、显影系统、冲洗系统、烘干系统、程序控制系统等部分组成，其主要针对晶圆进行一系列的批量加工，晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片，通过晶圆的定位托架带动其在各个流程工序中进行转移；

2、目前，公开号为cn217468378u就公开了《一种半导体晶圆承载定位装置》，两个夹板、夹块之间形成一个夹持空间，且两个夹板、两个夹块之间的距离可以根据晶圆的直径大小进行调节，进而对晶圆进行夹持定位；首先将晶圆放置在承载座中央，通过驱动转动盘使两个夹板从两个方向夹持晶圆，然后操作把手使夹块从另外两个方向夹持晶圆，待夹块、夹板的橡胶层均与晶圆接触时，通过紧固螺栓对转动盘位置进行固定，进而完成对晶圆的定位；

3、目前的晶圆在移动时，一般使用安装有静电吸盘的机械手，通过静电吸盘对晶圆进行吸附，通过机械手进行移动将晶圆放置在托架上，托架上一般采用真空吸盘对晶圆进行吸附固定，但不便于对晶圆的固定位置进行定位和纠正；

4、上述半导体晶圆承载定位装置虽然通过托架实现对晶圆的定位与纠正，但晶圆作为高精度产品，采用夹持方式容易对晶圆造成损坏。

技术实现思路

1、因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架。

2、本发明是这样实现的，构造一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，该装置包括托板、气动吸盘组件和限位机构，所述气动吸盘组件安装于托板中部，所述气动吸盘组件的顶部边沿处设置有限位机构，且限位机构的底端与托板相连接；

3、所述气动吸盘用于对晶圆进行固定和转动控制，所述气动吸盘包括支撑盘、轴承一、齿圈、齿轮一、电机一、活动支盘、竖杆和支盘升降控制组件，所述支撑盘的外壁底部通过轴承一与托板转动连接，所述支撑盘的外壁中部套装有齿圈，所述齿圈的外壁与齿轮一相互啮合，所述电机一的输出轴与齿轮一的圆心处传动连接，且电机一固定于托板的底端，所述支撑盘的顶端中部设置有活动支盘，所述活动支盘的底端左右两侧均固定有竖杆，所述竖杆的底端贯穿支撑盘与支盘升降控制组件相连接；

4、所述限位机构包括环形齿盘、内支撑轴承、外支撑轴承、驱动卡齿、蜗轮、蜗杆组件和限位装置，所述环形齿盘的内壁和外壁底部分别通过内支撑轴承和外支撑轴承与托板转动连接，所述环形齿盘的顶端面设置有驱动卡齿，所述环形齿盘的外壁顶部套装有蜗轮，所述蜗杆组件设置于蜗轮边沿处，且蜗杆组件与蜗轮传动连接，所述限位装置设置有三组以上，且以环形齿盘圆心处均匀设置，所述限位装置套装于环形齿盘外侧，且限位装置与环形齿盘顶部的驱动卡齿相互啮合；

5、所述支板升降控制组件用于对活动支盘的升降进行控制，所述活动支盘用于对晶圆进行支撑，所述蜗杆组件用于对蜗轮和环形齿盘的转动进行控制，所述环形齿盘转动用于控制限位装置的活动限位组件伸缩，所述活动限位组件用于对晶圆的对晶圆的位置进行限制，三组以上的活动限位组件对晶圆进行圆心定位。

6、优选的，所述限位装置包括支撑壳、齿轮二、螺杆、活动管、活动限位组件、直杆和位移传感器，所述支撑壳的内中部设置有齿轮二，所述齿轮二的圆心处贯穿有螺杆，且齿轮与螺杆传动连接，所述螺杆的右端伸出支撑壳与活动管内壁螺纹连接，所述活动管的右端与活动限位组件固定连接，所述动限位组件的左端顶部与直杆固定连接，所述直杆的左端与位移传感器的相连接，且位移传感器固定于支撑壳的内部顶端，所述支撑壳套装在环形齿盘外侧，且支撑壳不与环形齿盘接触，支撑壳的底端与托板固定连接，所述齿轮二的底端与环形齿盘顶部的驱动卡齿相互啮合。

7、优选的，所述活动限位组件包括活动壳、活动斜板、限位杆、隔板、磁板、电磁铁、往复机构、缓冲板、连接杆、竖板和拉簧，所述活动壳的右侧设置有活动斜板，所述活动斜板的左端上下两侧均固定有限位杆，所述活动壳的内中部竖向固定有隔板，所述限位杆的左端伸入至活动壳内，且限位杆贯穿隔板，所述磁板固定于两根限位杆之间左侧，所述磁板的左侧设置有电磁铁，且电磁铁固定于活动壳的内部左侧壁，所述活动斜板的左端中部与往复机构相连接，所述活动斜板的右侧设置有缓冲板，所述缓冲板的左端上下两侧均固定有连接杆，所述连接杆的左端贯穿活动斜板与竖板固定连接，所述竖板设置于活动斜板的左端边沿处，且竖板的右端通过拉簧与活动斜板弹性连接，所述活动壳的左端上下两侧分别与直杆和活动管固定连接。

8、优选的，所述往复机构包括电机三、转动杆、连杆和连接件，所述电机三底端的输出轴与转动杆一端传动连接，转动杆的另一端通过转轴与连杆左端转动连接，所述连杆的右端通过转轴与连接件转动连接，所述连接件与活动斜板的左端中部固定连接，所述电机三与隔板固定连接。

9、优选的，所述蜗杆组件包括电机二、齿轮箱、蜗杆和支撑块，所述电机二前端的输出轴通过齿轮箱内的齿轮组与蜗杆传动连接，且蜗杆的后端通过轴承与支撑块转动连接，所述蜗杆与蜗轮相互啮合，所述齿轮箱和支撑块的底端均与托板固定连接。

10、优选的，所述支撑盘包括支撑盘主体、凹槽、吸气孔和限位管，所述支撑盘主体的顶端中部开设有凹槽，所述支撑盘的顶端面设置有吸气孔，所述支撑盘主体的内中部左右两侧均固定有限位管，且竖杆竖直贯穿限位管，所述支撑盘主体的外壁底部与轴承一相连接，所述支撑盘主体的外壁中部固定有齿圈。

11、优选的，所述凹槽的内壁与活动支盘贴合，活动支盘的顶端和底端面边沿处均开设有气孔，所述凹槽的内部底端边沿处开设有吸气孔，且凹槽内部底端边沿处的吸气孔与活动支盘底端边沿处的气孔竖直对齐。

12、优选的，所述支盘升降控制组件包括转动板、活动环、竖管、轴承二、活动架、滑槽、连接气管、气泵和电动推杆，所述转动板的内中部贯穿有活动环，且活动环与转动板固定连接，所述竖管竖直贯穿活动环，且竖管的底端与支撑盘主体底端圆心处相连接，所述转动板的外壁与轴承二固定连接，且轴承二的外壁与活动架固定连接，所述活动架的左侧开设有滑槽，所述连接气管一端贯穿滑槽伸入至转动板内与竖管底端相连接，且连接气管的另一端与气泵的抽气端口相连接，所述活动架的底端与电动推杆固定连接。

13、优选的，所述转动板、活动环、竖管和活动架俯视均呈圆形状，且转动板、活动环、竖管、轴承二和活动架呈同心设置。

14、优选的，所述竖管与支撑盘主体连接处呈转动连接，且连接处设置油封。

15、本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，与同类型设备相比，具有如下改进：

16、本发明所述一种涂胶显影机用晶圆缓冲式定位托架，通过设置气动吸盘组件和限位机构，在气动吸盘组件的支撑盘主体顶端中部设置了一个活动支盘，活动支盘的底部通过支盘升降控制组件进行升降控制，且在限位机构的环形齿盘上设置了多组限位装置，限位装置的活动限位组件可根据晶圆的大小进行伸缩，通过活动限位组件的缓冲板对晶圆的放置位置进行限制，缓冲板呈倾斜设置，多个限位装置的缓冲板之间的限位直径由上至下渐缩，通过活动支盘对晶圆进行支撑，活动支盘下移，同时控制活动支盘转动，通过缓冲板限位，且缓冲板采用震动的方式对晶圆的位置进行调节，对晶圆的固定位置进行纠正和定位，通过采用吸盘的方式对晶圆进行固定，且对晶圆的固定位置进行定位，避免采用夹持方式对晶圆造成损坏。