TBC电池背面钝化层的制备方法、钝化层及TBC电池与流程

1.一种tbc电池背面钝化层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种tbc电池背面钝化层的制备方法，其特征在于，所述s2在具体实施时，包括：

3.根据权利要求1或2中任一项所述的一种tbc电池背面钝化层的制备方法，其特征在于，所述s3在具体实施时，包括：

4.根据权利要求1或2所述的一种tbc电池背面钝化层的制备方法，其特征在于，所述s4在具体实施时，包括：

5.根据权利要求1或2所述的一种tbc电池背面钝化层的制备方法，其特征在于，所述s5在具体实施时，包括：

6.根据权利要求1或2所述的一种tbc电池背面钝化层的制备方法，其特征在于，所述s6在具体实施时，包括：

7.根据权利要求1或2所述的一种tbc电池背面钝化层的制备方法，其特征在于，所述s7在具体实施时，包括：

8.根据权利要求7所述的一种tbc电池背面钝化层的制备方法，其特征在于，所述s8在具体实施时，包括：

9.一种tbc电池背面的钝化层，采用权利要求1-8所述的一种tbc电池背面钝化层的制备方法制备得到，其特征在于，所述tbc电池背面的钝化层包括：

10.一种tbc电池，其特征在于，包括权利要求9所述的tbc电池背面的钝化层、氮化硅减反膜层(13)和多个金属电极(14)，所述氮化硅减反膜层(13)形成在所述氧化铝薄膜层(12)的外周，多个所述金属电极(14)分别形成在多个第一区域的第一氧化硅层(4)的背面和多个第二区域的第二氧化硅层(9)的背面。