树脂组合物、临时固定材料和电子部件的制造方法与流程

本发明涉及树脂组合物。另外，本发明涉及包含该树脂组合物的临时固定材料、和使用了该临时固定材料的电子部件的制造方法。

背景技术：

1、在半导体等电子部件的加工时，为了使电子部件的处理变得容易、不发生破损，进行了如下操作：借助包含树脂组合物的临时固定材料将电子部件固定于支撑板、或者将使用具有包含树脂组合物的粘接剂层的临时固定材料而成的粘合带贴附于电子部件，从而进行保护。例如，在将从高纯度的单晶硅等切下的厚膜晶片磨削至规定的厚度而制成薄膜晶片的情况下，借助临时固定材料将厚膜晶片粘接于支撑板。

2、对于像这样用于电子部件的临时固定材料，要求在加工工序中尽可能牢固地固定电子部件的高粘接性，并且要求在工序结束后能够不损伤电子部件地进行剥离（以下，也称为“高粘接易剥离”。）。

3、作为实现高粘接易剥离的手段，例如，在专利文献1中公开了一种粘合片，其使用了在聚合物的侧链或主链上键合有具有辐射聚合性官能团的多官能性单体或低聚物的粘合剂。通过具有辐射聚合性官能团，从而聚合物通过紫外线照射而固化，利用这一点，通过在剥离时照射紫外线，从而粘合力降低，能够无残胶地进行剥离。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开平5-32946号公报

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、伴随着近年来的电子部件的高性能化，进行了对电子部件施加各种加工的工序。例如，在通过溅射在电子部件的表面形成金属薄膜的工序中，通过在高温下一边加热一边进行加工，从而能够形成导电性更优异的金属薄膜。

3、然而，如果对使用现有的临时固定材料进行了保护的电子部件进行高温下的加热处理，则有时在加热中在与固定电子部件的支撑体之间产生空隙或浮起，另外，有时引起粘接亢进而在剥离时粘合力未充分降低，或产生残胶。

4、特别是，近年来，作为具有高耐热性的材料，聚酰亚胺被用于许多电子部件，已开始进行：将表面具有聚酰亚胺的被粘物固定于包含玻璃等无机材料的支撑体，并实施各种加工的工序。在被粘物在表面具有聚酰亚胺的情况下，如果进行高温下的加热处理，则与被粘物的表面为无机材料的情况相比，有粘接亢进变大的趋势。在这样的情况下，对于用于保护被粘物的临时固定材料，一方面要求抑制与该被粘物的粘接亢进，另一方面还要求抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生。

5、本发明的目的在于提供一种树脂组合物，其能够抑制加热处理中的空隙和浮起的产生，并在加热处理后能够容易剥离。另外，本发明的目的在于提供包含该树脂组合物的临时固定材料、以及使用了该临时固定材料的电子部件的制造方法。

6、用于解决课题的手段

7、本发明1涉及一种树脂组合物，其含有在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂和（甲基）丙烯酸系共聚物。

8、本发明2涉及本发明1的树脂组合物，其中，上述（甲基）丙烯酸系共聚物具有来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元。

9、本发明3涉及本发明2的树脂组合物，其中，关于上述（甲基）丙烯酸系共聚物，上述（甲基）丙烯酸系共聚物中的上述来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的含有比例为20摩尔%以上且80摩尔%以下。

10、本发明4涉及本发明1、2或3的树脂组合物，其中，上述（甲基）丙烯酸系共聚物具有来自于具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元和来自于具有碳原子数8以上的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元，上述（甲基）丙烯酸系共聚物中的上述来自于具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的含有比例为20摩尔%以上且80摩尔%以下。

11、本发明5涉及本发明1、2、3或4的树脂组合物，其中，上述（甲基）丙烯酸系共聚物不具备具有碳-碳双键的反应性官能团。

12、本发明6涉及本发明1、2、3、4或5的树脂组合物，其中，上述（甲基）丙烯酸系共聚物的分子量为2000以上且2万以下。

13、本发明7涉及本发明1、2、3、4、5或6的树脂组合物，其中，上述（甲基）丙烯酸系共聚物的玻璃化转变温度为-70℃以上且-5℃以下。

14、本发明8涉及本发明1、2、3、4、5、6或7的树脂组合物，其中，上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂包含不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。

15、本发明9涉及本发明8的树脂组合物，其中，上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂具有来自于二聚物二胺的脂肪族基团。

16、本发明10涉及本发明1、2、3、4、5、6、7、8或9的树脂组合物，其为热固化性或光固化性。

17、本发明11涉及本发明1、2、3、4、5、6、7、8、9或10的树脂组合物，其含有具有马来酰亚胺基的化合物。

18、本发明12涉及本发明11的树脂组合物，其中，上述具有马来酰亚胺基的化合物为双马来酰亚胺化合物、或具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。

19、本发明13涉及本发明12的树脂组合物，其含有具有下述式（1）所示的结构单元、且在末端和侧链中的至少任一位置具备具有马来酰亚胺基的官能团的树脂来作为上述具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。

20、本发明14涉及本发明1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12或13的树脂组合物，其还包含多官能单体或多官能低聚物，所述多官能单体或多官能低聚物在分子内具有2个以上具有碳-碳双键的反应性官能团，并且所述多官能单体或多官能低聚物的分子量为5000以下。

21、本发明15涉及本发明14的树脂组合物，其中，相对于上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂和上述多官能单体或多官能低聚物的合计100质量份，上述（甲基）丙烯酸系共聚物的含量为0.1质量份以上且20质量份以下。

22、本发明16涉及本发明1、2、3、4、5、6、7、8或9的树脂组合物，其为非固化性。

23、本发明17涉及本发明1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15或16的树脂组合物，其中，上述树脂组合物的10%重量减少温度为200℃以上。

24、本发明18涉及一种临时固定材料，其包含本发明1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16或17的树脂组合物。

25、本发明19涉及一种临时固定材料，其具有包含本发明1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16或17的树脂组合物的粘接剂层。

26、本发明20涉及本发明19的临时固定材料，其为带状。

27、本发明21涉及本发明18、19或20的临时固定材料，上述临时固定材料在25℃时对聚酰亚胺的初始粘合力为0.1n/inch以上且1.5n/inch以下。

28、本发明22涉及一种电子部件的制造方法，其包括：将电子部件临时固定于本发明18、19、20或21的临时固定材料的临时固定工序；对上述电子部件进行热处理的热处理工序；以及将上述电子部件从上述临时固定材料剥离的剥离工序。

29、本发明23涉及本发明22的电子部件的制造方法，其在上述临时固定工序与上述热处理工序之间包括将上述临时固定材料固化的固化工序。

30、[化学式1]

31、

32、式（1）中，p1表示芳香族基团，q1表示取代或未取代的直链状、支链状或环状的脂肪族基团。

33、以下，对本发明进行详述。

34、本发明人等研究了如下方案：使用含有在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂和（甲基）丙烯酸系共聚物的树脂组合物作为临时固定剂所使用的树脂组合物。其结果发现，可以得到能够抑制加热处理中的空隙和浮起的产生，并在加热处理后能够容易地剥离的树脂组合物，从而完成了本发明。

35、本发明的树脂组合物含有（甲基）丙烯酸系共聚物。上述（甲基）丙烯酸系共聚物具有作为表面改性剂的作用。通过将上述（甲基）丙烯酸系共聚物与后述的在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂组合使用，从而本发明的树脂组合物能够抑制加热处理中的空隙和浮起的产生，并在加热处理后能够容易地剥离。

36、需要说明的是，在本说明书中，上述“（甲基）丙烯酸”是指丙烯酸或甲基丙烯酸。

37、上述（甲基）丙烯酸系共聚物优选具有来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元。通过使上述（甲基）丙烯酸系共聚物具有上述来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元，从而在树脂组合物中的分散性提高。另外，由于向表面的偏向分布率（日文：偏在率）提高，所以包含所得到的树脂组合物的临时固定材料的剥离性变得更优异。

38、需要说明的是，在本说明书中，上述“（甲基）丙烯酸酯”是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。

39、作为上述支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯，例如可举出：（甲基）丙烯酸叔丁酯、（甲基）丙烯酸异丁酯、（甲基）丙烯酸异戊酯、（甲基）丙烯酸2-乙基己酯、（甲基）丙烯酸异壬酯、（甲基）丙烯酸异癸酯、（甲基）丙烯酸异硬脂酯、（甲基）丙烯酸异辛酯、（甲基）丙烯酸异十一烷基酯等。

40、上述（甲基）丙烯酸系共聚物中的上述来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的含有比例的优选的下限为20摩尔%，优选的上限为80摩尔%。通过使上述来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的含有比例为20摩尔%以上且80摩尔%以下，能够进一步提高树脂组合物中的向表面的偏向分布率。其结果是，包含所得到的树脂组合物的临时固定材料的剥离性变得更优异。上述来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的含有比例的更优选的下限为30摩尔%，更优选的上限为70摩尔%。

41、上述（甲基）丙烯酸系共聚物可以具有上述来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元和来自于直链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元。

42、作为上述直链状的（甲基）丙烯酸烷基酯，例如可举出：（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸正丙酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、（甲基）丙烯酸正戊酯、（甲基）丙烯酸正己酯、（甲基）丙烯酸正庚酯、（甲基）丙烯酸正辛酯、（甲基）丙烯酸正壬酯、（甲基）丙烯酸月桂酯、（甲基）丙烯酸硬脂酯、（甲基）丙烯酸正癸酯、（甲基）丙烯酸正十一烷基酯等。

43、上述（甲基）丙烯酸系共聚物优选具有来自于具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元和来自于具有碳原子数8以上的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元。通过使上述（甲基）丙烯酸系共聚物具有上述来自于具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元和上述来自于具有碳原子数8以上的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元，从而在所得到的树脂组合物中的分散性和表面偏向分布性变得更优异。

44、上述来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元优选碳原子数为8以上。通过使上述来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元为碳原子数8以上，能够进一步提高树脂组合物中的向表面的偏向分布率。其结果是，包含所得到的树脂组合物的临时固定材料的剥离性变得更优异。上述来自于支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的碳原子数优选为20以下，优选为15以下，优选为10以下，特别优选为8。

45、上述来自于直链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元优选碳原子数为2以上且7以下。通过使上述来自于直链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元为碳原子数2以上且7以下，能够进一步提高树脂组合物中的向表面的偏向分布率。其结果是，包含所得到的树脂组合物的临时固定材料的剥离性变得更优异。上述来自于直链状的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的碳原子数更优选为3以上且6以下，特别优选为4。

46、上述具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯中，作为上述支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯，例如可举出：（甲基）丙烯酸叔丁酯、（甲基）丙烯酸异丁酯、（甲基）丙烯酸异戊酯等。

47、上述具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯中，作为上述直链状的（甲基）丙烯酸烷基酯，例如可举出：（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、（甲基）丙烯酸正戊酯、（甲基）丙烯酸正己酯、（甲基）丙烯酸正庚酯等。其中，在本发明的树脂组合物中，从容易偏向分布于表面、提高剥离性的观点出发，优选为（甲基）丙烯酸正丁酯。

48、上述具有碳原子数8以上的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯中，作为上述支链状的（甲基）丙烯酸烷基酯，例如可举出：（甲基）丙烯酸2-乙基己酯、（甲基）丙烯酸异壬酯、（甲基）丙烯酸异癸酯、（甲基）丙烯酸异硬脂酯、（甲基）丙烯酸异十一烷基酯等。

49、上述具有碳原子数8以上的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯中，作为上述直链状的（甲基）丙烯酸烷基酯，例如可举出：（甲基）丙烯酸正辛酯、（甲基）丙烯酸正壬酯、（甲基）丙烯酸月桂酯、（甲基）丙烯酸硬脂酯、（甲基）丙烯酸正癸酯、（甲基）丙烯酸正十一烷基酯等。

50、其中，在本发明的树脂组合物中，从容易偏向分布于表面、提高剥离性的观点出发，优选为（甲基）丙烯酸2-乙基己酯。

51、在上述（甲基）丙烯酸系共聚物具有上述来自于具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元和上述来自于具有碳原子数8以上的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的情况下，上述（甲基）丙烯酸系共聚物中的上述来自于具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的含有比例的优选的下限为20摩尔%，优选的上限为80摩尔%。通过使上述来自于具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的含有比例为20摩尔%以上，从而所得到的树脂组合物的分散性、表面偏向分布性变得更优异。通过使上述来自于具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的含有比例为80摩尔%以下，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。上述来自于具有碳原子数2以上且7以下的烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元的含有比例的更优选的下限为30摩尔%，更优选的上限为70摩尔%。

52、上述（甲基）丙烯酸系共聚物优选进一步具有来自于含极性官能团的单体的结构单元。通过使上述（甲基）丙烯酸系共聚物具有来自于含极性官能团的单体的结构单元，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得优异。

53、作为上述来自于含极性官能团的单体的结构单元，例如可举出：来自于含羟基的单体的结构单元、来自于含羧基的单体的结构单元、来自于含环氧基的单体的结构单元、来自于含异氰酸酯基的单体的结构单元、来自于含氨基的单体的结构单元等。其中，从进一步提高耐热性的观点出发，上述（甲基）丙烯酸系共聚物优选具有来自于含羟基的单体的结构单元、含环氧基的单体。

54、作为上述含羟基的单体，例如可举出（甲基）丙烯酸4-羟基丁酯、（甲基）丙烯酸2-羟基乙酯等。

55、作为上述含羧基的单体，例如可举出丙烯酸、甲基丙烯酸等。

56、作为上述含环氧基的单体，例如可举出（甲基）丙烯酸缩水甘油酯等。

57、作为上述含异氰酸酯基的单体，例如可举出（甲基）丙烯酸2-异氰酸根合乙酯等。

58、作为上述含氨基的单体，例如可举出（甲基）丙烯酸2-氨基乙酯等。

59、上述含极性官能团的单体可以单独使用，也可以组合使用2种以上。

60、上述（甲基）丙烯酸系共聚物中的上述来自于含极性官能团的单体的结构单元的合计含有比例的优选的下限为0.5摩尔%，优选的上限为30摩尔%。通过使上述来自于含极性官能团的单体的结构单元的合计含有比例为0.5摩尔%以上，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得优异。通过使上述来自于含极性官能团的单体的结构单元的合计含有比例为30摩尔%以下，从而加热后的剥离性变得优异。上述来自于含极性官能团的单体的结构单元的合计含有比例的更优选的下限为1摩尔%，更优选的上限为20摩尔%，进一步优选的下限为5摩尔%，进一步优选的上限为15摩尔%。

61、关于上述（甲基）丙烯酸系共聚物，在树脂组合物中，从容易偏向分布于表面、提高所得到的临时固定材料的剥离性的观点出发，优选不具备具有碳-碳双键的反应性官能团。

62、上述（甲基）丙烯酸系共聚物的分子量的优选的下限为2000，优选的上限为5万。通过使上述（甲基）丙烯酸系共聚物的分子量为2000以上，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。通过使上述（甲基）丙烯酸系共聚物的分子量为5万以下，从而在所得到的树脂组合物中的分散性、表面偏向分布性变得更优异。其结果是，包含所得到的树脂组合物的临时固定材料的剥离性变得更优异。上述（甲基）丙烯酸系共聚物的分子量的更优选的下限为5000，进一步优选的下限为6000，更优选的上限为2万，进一步优选的上限为15000，更进一步优选的上限为1万。

63、需要说明的是，在本说明书中，关于上述“分子量”，对于分子结构被规定的化合物而言，是根据结构式求出的分子量，对于聚合度的分布宽的化合物和改性部位不特定的化合物而言，使用重均分子量来表示。上述重均分子量是通过凝胶渗透色谱（gpc）法，以聚苯乙烯换算分子量的形式而测定的。具体而言，例如可以使用acquity apc系统（waters公司制），在流动相thf、流量1.0ml/min、柱温40℃、样品浓度0.2摩尔%、ri·pda检测器的条件下进行测定。作为上述柱，可以使用hr-mb-m 6.0×150mm（waters公司制）等。

64、上述（甲基）丙烯酸系共聚物的玻璃化转变温度的优选的下限为-70℃，优选的上限为-5℃。通过使上述（甲基）丙烯酸系共聚物的玻璃化转变温度为该范围，从而在所得到的树脂组合物中的分散性、表面偏向分布性变得更优异。其结果是，包含所得到的树脂组合物的临时固定材料的剥离性变得更优异。上述（甲基）丙烯酸系共聚物的玻璃化转变温度的更优选的下限为-65℃，进一步优选的下限为-60℃，更优选的上限为-10℃，进一步优选的上限为-20℃，更进一步优选的上限为-30℃。

65、需要说明的是，在本说明书中，上述“玻璃化转变温度”是指：通过动态粘弹性测定而得到的损耗角正切（tanδ）的极大值中，出现起因于微观布朗运动的极大值的温度。上述玻璃化转变温度可以通过使用了动态粘弹性测定装置等的以往公知的方法进行测定。另外，上述（甲基）丙烯酸系共聚物的玻璃化转变温度（绝对温度）也可以通过如下方式得到：对于构成（甲基）丙烯酸系共聚物的各单体成分，分别算出含有比例除以玻璃化转变温度而得到的值（（单体成分的含有比例（摩尔%））/（单体成分的玻璃化转变温度（k））），算出将构成（甲基）丙烯酸系共聚物的全部单体成分的该值合计而得到的值的倒数（日文：逆数）。

66、上述（甲基）丙烯酸系共聚物的羟值的优选的下限为1mgkoh/g，优选的上限为100mgkoh/g。通过使上述（甲基）丙烯酸系共聚物的羟值为1mgkoh/g以上，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得优异。通过使上述（甲基）丙烯酸系共聚物的羟值为100mgkoh/g以下，从而所得到的树脂组合物的加热后的剥离性变得优异。上述（甲基）丙烯酸系共聚物的羟值的更优选的下限为5mgkoh/g，更优选的上限为50mgkoh/g，进一步优选的下限为10mgkoh/g，进一步优选的上限为30mgkoh/g。

67、需要说明的是，上述（甲基）丙烯酸系共聚物的羟值例如可以通过依据jis k0070：1992的电位差滴定法等进行测定。

68、相对于后述的在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂100质量份（在树脂组合物含有后述的多官能单体或多官能低聚物的情况下，为该在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂和该多官能单体或多官能低聚物的合计100质量份），上述（甲基）丙烯酸系共聚物的含量的优选的下限为0.1质量份，优选的上限为20质量份。通过使上述（甲基）丙烯酸系共聚物的含量为该范围内，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料减少被粘物的污染，且剥离性变得更优异。上述（甲基）丙烯酸系共聚物的含量的更优选的下限为0.2质量份，更优选的上限为15质量份。

69、本发明的树脂组合物包含在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。

70、上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂通过具有酰亚胺骨架，从而耐热性极其优异，即使在高温下进行加热处理的情况下也不易发生主链的分解。因此，通过含有上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生，另外，能够防止对被粘物引起粘接亢进、或在与被粘物的剥离时产生残胶。

71、上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂优选具有上述式（1）所示的结构单元。

72、上述式（1）中，p1优选为碳原子数5以上且50以下的芳香族基团。通过使上述p1为碳原子数5以上且50以下的芳香族基团，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。即，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生，另外，能够进一步防止对被粘物引起粘接亢进、或在与被粘物的剥离时产生残胶。

73、上述式（1）中，q1优选为取代或未取代的直链状、支链状或环状的碳原子数2以上且100以下的脂肪族基团。通过使上述q1为取代或未取代的直链状、支链状或环状的碳原子数2以上且100以下的脂肪族基团，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料的透光性变得更优异。另外，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料的柔软性变得更优异，能够对具有凹凸的被粘物发挥高追随性，并且在剥离时能够更容易地剥离。

74、另外，上述q1优选为来自于二胺化合物的脂肪族基团。其中，从透光性、柔软性、以及上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与溶剂、其他成分的相容性的观点出发，上述q1优选为来自于二聚物二胺的脂肪族基团。

75、上述二聚物二胺是指将作为不饱和脂肪酸的二聚体而得到的环式和非环式二聚酸进行还原并氨基化而得到的二胺化合物，例如可举出直链型、单环型、多环型等的二聚物二胺。上述二聚物二胺可以包含碳-碳双键，也可以是加成有氢的氢化物。

76、作为上述来自于二聚物二胺的脂肪族基团，例如优选为：选自下述式（2-1）所示的基团、下述式（2-2）所示的基团、下述式（2-3）所示的基团和下述式（2-4）所示的基团中的至少1种基团。其中，更优选为下述式（2-2）所示的基团。

77、[化学式2]

78、

79、式（2-1）～（2-4）中，r1～r16各自独立地表示直链状或支链状的烃基，﹡表示键合键。键合键＊与上述式（1）中的n键合。

80、上述通式（2-1）～（2-4）中，r1～r16所示的烃基可以为饱和烃基，也可以为不饱和烃基。其中，r1与r2、r3与r4、r5与r6、r7与r8、r9与r10、r11与r12、r13与r14、以及r15与r16的碳原子数的合计优选为7以上且50以下。通过使上述碳原子数的合计为上述范围内，从而所得到的树脂组合物的透光性和柔软性变得更优异，并且上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与溶剂、其他成分的相容性也变得更优异。上述碳原子数的合计更优选为9以上，进一步优选为12以上，更进一步优选为14以上。上述碳原子数的合计更优选为35以下，进一步优选为25以下，更进一步优选为18以下。

81、上述式（2-1）所示的基团、上述式（2-2）所示的基团、上述式（2-3）所示的基团、以及上述式（2-4）所示的基团中，光学异构没有特别限定，也包括任意光学异构。

82、上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂优选包含不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂，更优选包含不具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。

83、上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的重均分子量优选为1万以上且200万以下。通过使上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的重均分子量为1万以上，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。即，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生，另外，能够进一步防止对被粘物引起粘接亢进、或在与被粘物的剥离时产生残胶。通过使上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的重均分子量为200万以下，从而上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与溶剂、其他成分的相容性变得更优异。上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的重均分子量的更优选的下限为3万，更优选的上限为100万，进一步优选的下限为4万，进一步优选的上限为30万，更进一步优选的下限为5万。

84、作为上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂，具体而言，例如可举出：具有上述式（1）所示的结构单元、且在两末端具备不具有马来酰亚胺基的官能团的树脂等。

85、具有上述式（1）所示的结构单元、且在两末端具备不具有马来酰亚胺基的官能团的树脂可以具有下述式（3）所示的结构单元。

86、[化学式3]

87、

88、式（3）中，p2表示芳香族基团，q2表示取代或未取代的具有芳香族结构的基团。

89、上述式（3）中，p2优选为碳原子数5以上且50以下的芳香族基团。通过使上述p2为碳原子数5以上且50以下的芳香族基团，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。即，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生，另外，能够进一步防止对被粘物引起粘接亢进、或在与被粘物的剥离时产生残胶。

90、上述式（3）中，q2优选为取代或未取代的碳原子数5以上且50以下的具有芳香族结构的基团。通过使上述q2为取代或未取代的碳原子数5以上且50以下的具有芳香族结构的基团，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。即，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生，另外，能够进一步防止对被粘物引起粘接亢进、或在与被粘物的剥离时产生残胶。

91、作为上述不具有马来酰亚胺基的官能团，例如可举出脂肪族基团、脂环式基团、芳香族基团、酸酐基、氨基等。具体而言，可举出：成为上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的原料的酸酐及二胺化合物的未反应的单末端构成基团等。

92、对于具有上述式（1）所示的结构单元、且在两末端具备不具有马来酰亚胺基的官能团的树脂而言，在两末端所具备的不具有马来酰亚胺基的官能团可以相同，也可以不同。

93、具有上述式（1）所示的结构单元、且在两末端具备不具有马来酰亚胺基的官能团的树脂中的上述式（1）所示的结构单元的含有比例优选为30摩尔%以上，更优选为50摩尔%以上，优选为90摩尔%以下，更优选为80摩尔%以下。

94、在具有上述式（1）所示的结构单元、且在两末端具备不具有碳-碳双键的官能团的树脂具有上述式（3）所示的结构单元的情况下，上述式（3）所示的结构单元的含有比例优选为5摩尔%以上，更优选为10摩尔%以上，进一步优选为20摩尔%以上，优选为50摩尔%以下，更优选为30摩尔%以下。

95、通过在上述式（1）所示的结构单元和上述式（3）所示的结构单元中，使各结构单元的含有比例为上述范围内，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生，另外，在与被粘物的剥离时能够更容易地剥离。

96、需要说明的是，上述式（1）所示的结构单元和上述式（3）所示的结构单元可以具有包含各结构单元连续排列而成的嵌段成分的嵌段结构，也可以具有各结构单元无规地排列而成的无规结构。

97、作为制造上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的方法，例如可举出使二胺化合物与芳香族酸酐进行反应的方法等。

98、作为上述二胺化合物，可以使用脂肪族二胺化合物或芳香族二胺化合物中的任意二胺化合物。

99、通过使用脂肪族二胺化合物作为上述二胺化合物，从而所得到的树脂组合物的透光性变得更优异。另外，所得到的树脂组合物的柔软性变得更优异，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料能够对具有凹凸的被粘物发挥高追随性，并且在剥离时能够更容易地剥离。

100、另外，通过使用芳香族二胺化合物作为上述二胺化合物，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。

101、上述二胺化合物可以单独使用，也可以组合使用2种以上。

102、作为上述脂肪族二胺化合物，例如可举出：1,10-二氨基癸烷、1,12-二氨基十二烷、二聚物二胺、1,2-二氨基-2-甲基丙烷、1,2-二氨基环己烷、1,2-二氨基丙烷、1,3-二氨基丙烷、1,4-二氨基丁烷、1,5-二氨基戊烷、1,7-二氨基庚烷、1,8-二氨基薄荷烷、1,8-二氨基辛烷、1,9-二氨基壬烷、3,3’-二氨基-n-甲基二丙胺、二氨基马来腈、1,3-二氨基戊烷、双（4-氨基-3-甲基环己基）甲烷、1,2-双（2-氨基乙氧基）乙烷、3（4）,8（9）-双（氨基甲基）三环（5.2.1.02,6）癸烷等。

103、上述脂肪族二胺化合物中，从透光性、柔软性、以及上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与溶剂、其他成分的相容性的观点出发，优选二聚物二胺。即，上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂优选具有来自于二聚物二胺的脂肪族基团。

104、作为上述二聚物二胺，具体而言，例如可举出：能够形成选自上述式（2-1）所示的基团、式（2-2）所示的基团、式（2-3）所示的基团以及式（2-4）所示的基团中的至少1种基团的二聚物二胺等。

105、作为上述芳香族二胺化合物，例如可举出：9,10-二氨基菲、4,4’-二氨基八氟联苯、3,7-二氨基-2-甲氧基芴、4,4’-二氨基二苯甲酮、3,4-二氨基二苯甲酮、3,4-二氨基甲苯、2,6-二氨基蒽醌、2,6-二氨基甲苯、2,3-二氨基甲苯、1,8-二氨基萘、2,4-二氨基甲苯、2,5-二氨基甲苯、1,4-二氨基蒽醌、1,5-二氨基蒽醌、1,5-二氨基萘、1,2-二氨基蒽醌、2,4-异丙苯二胺、1,3-双氨基甲苯、1,3-双氨基甲基环己烷、2-氯-1,4-二氨基苯、1,4-二氨基-2,5-二氯苯、1,4-二氨基-2,5-二甲基苯、4,4’-二氨基-2,2’-双（三氟甲基）联苯、双（氨基-3-氯苯基）乙烷、双（4-氨基-3,5-二甲基苯基）甲烷、双（4-氨基-3,5-二乙基苯基）甲烷、双（4-氨基-3-乙基二氨基芴、2,3-二氨基萘、2,3-二氨基苯酚、-5-甲基苯基）甲烷、双（4-氨基-3-甲基苯基）甲烷、双（4-氨基-3-乙基苯基）甲烷、4,4’-二氨基苯基砜、3,3’-二氨基苯基砜、2,2-双（4,（4氨基苯氧基）苯基）砜、2,2-双（4-（3-氨基苯氧基）苯基）砜、4,4’-氧基二苯胺、4,4’-二氨基二苯基硫醚、3,4’-氧基二苯胺、2,2-双（4-（4-氨基苯氧基）苯基）丙烷、1,3-双（4-氨基苯氧基）苯、4,4’-双（4-氨基苯氧基）联苯、4,4’-二氨基-3,3’-二羟基联苯、4,4’-二氨基-3,3’-二甲基联苯、4,4’-二氨基-3,3’-二甲氧基联苯、bisaniline m、bisaniline p、9,9-双（4-氨基苯基）芴、邻联甲苯胺砜、亚甲基双（邻氨基苯甲酸）、1,3-双（4-氨基苯氧基）-2,2-二甲基丙烷、1,3-双（4-氨基苯氧基）丙烷、1,4-双（4-氨基苯氧基）丁烷、1,5-双（4-氨基苯氧基）丁烷、2,3,5,6-四甲基-1,4-苯二胺、3,3’,5,5’-四甲基联苯胺、4,4’-二氨基苯甲酰苯胺、2,2-双（4-氨基苯基）六氟丙烷、聚氧化烯二胺类（例如huntsman公司制的jeffamine d-230、d-400、d-2000和d-4000）、1,3-环己烷双（甲胺）、间苯二甲胺、对苯二甲胺等。

106、作为上述芳香族酸酐，例如可举出：均苯四酸、1,2,5,6-萘四甲酸、2,3,6,7-萘四甲酸、1,2,4,5-萘四甲酸、1,4,5,8-萘四甲酸、3,3’,4,4’-二苯甲酮四甲酸、3,3’,4,4’-联苯醚四甲酸、3,3’,4,4’-联苯四甲酸、2,3,5,6-吡啶四甲酸、3,4,9,10-苝四甲酸、4,4’-磺酰基二邻苯二甲酸、1-三氟甲基-2,3,5,6-苯四甲酸、2,2’,3,3’-联苯四甲酸、2,2-双（3,4-二羧基苯基）丙烷、2,2-双（2,3-二羧基苯基）丙烷、1,1-双（2,3-二羧基苯基）乙烷、1,1-双（3,4-二羧基苯基）乙烷、双（2,3-二羧基苯基）甲烷、双（3,4-二羧基苯基）甲烷、双（3,4-二羧基苯基）砜、双（3,4-二羧基苯基）醚、苯-1,2,3,4-四甲酸、2,3,2’,3’-二苯甲酮四甲酸、2,3,3’,4’-二苯甲酮四甲酸、菲-1,8,9,10-四甲酸、吡嗪-2,3,5,6-四甲酸、噻吩-2,3,4,5-四甲酸、2,3,3’,4’-联苯四甲酸、3,4,3’,4’-联苯四甲酸、2,3,2’,3’-联苯四甲酸、4,4’-双（3,4-二羧基苯氧基）二苯基硫醚、4,4’-（4,4’-异亚丙基二苯氧基）-双（邻苯二甲酸）等羧酸的酸酐。

107、上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂100质量份中的上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的含量的优选的下限为10质量份，优选的上限为90质量份。通过使上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的含量为该范围内，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在从被粘物剥离时能够更容易地剥离。从进一步提高剥离性的观点出发，上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的含量的更优选的下限为20质量份，更优选的上限为80质量份。

108、本发明的树脂组合物可以为热固化性或光固化性，也可以为非固化性。

109、在本发明的树脂组合物为热固化性或光固化性的情况下，上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂优选包含具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。通过包含上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂，从而所得到的树脂组合物通过加热或光的照射而其整体均匀且迅速地聚合交联，弹性模量上升，由此粘合力大幅降低。因此，能够防止使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料引起粘接亢进、或在剥离时产生残胶。

110、在上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂包含上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的情况下，除了上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂以外，还可以包含上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。

111、作为上述具有碳-碳双键的反应性官能团，例如可举出：可以被取代的马来酰亚胺基、柠康酰亚胺基、乙烯基醚基、烯丙基、（甲基）丙烯酰基等。其中，从能够得到更高的耐热性的方面出发，优选可以被取代的马来酰亚胺基。

112、需要说明的是，在本说明书中，上述（甲基）丙烯酰基是指丙烯酰基或甲基丙烯酰基。

113、上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂优选具有碳-碳双键的反应性官能团的官能团当量（重均分子量/具有碳-碳双键的反应性官能团的数）为4000以下。通过使上述具有碳-碳双键的反应性官能团的官能团当量为4000以下，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。认为这是因为，通过在树脂的分子中以一定以上的密度具备具有碳-碳双键的反应性官能团，从而交联间距离变短，由此能够进一步抑制粘接亢进。上述具有碳-碳双键的反应性官能团的官能团当量更优选为3000以下，进一步优选为2000以下。

114、另外，上述具有碳-碳双键的反应性官能团的官能团当量的优选的下限没有特别限定，实质上的下限为600左右。

115、上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的重均分子量优选为1000以上且10万以下。通过使上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的重均分子量为1000以上，从而所得到的树脂组合物的成膜变得容易，并且使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料发挥一定程度的柔软性，因此能够对具有凹凸的被粘物发挥高追随性，并且在剥离时能够更容易地剥离。通过使上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的重均分子量为10万以下，能够防止上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂在溶剂中的溶解度变得过低。上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的重均分子量更优选为1500以上且5万以下，进一步优选为2000以上且小于2万。

116、在上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂中，具有碳-碳双键的反应性官能团可以位于侧链或末端中的任意位置，优选存在于两末端，更优选除了两末端以外还进一步存在于侧链。

117、上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的两末端的具有碳-碳双键的反应性官能团的反应性高，能够通过光的照射等使树脂组合物更充分地固化。其结果是，能够进一步防止引起粘接亢进、或在剥离时产生残胶。

118、此外，通过在上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的侧链存在具有碳-碳双键的反应性官能团，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。认为这是因为，通过使交联间距离变短，从而能够进一步抑制粘接亢进。另外，通过在上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的侧链存在具有碳-碳双键的反应性官能团，从而容易使上述重均分子量为1000以上，并且将上述官能团当量调整为4000以下。由此，所得到的树脂组合物具有充分的初始粘合力，同时能够进一步防止发生粘接亢进、或在剥离时产生残胶。

119、如上所述，在上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂中，具有碳-碳双键的反应性官能团可以位于侧链或末端中的任意位置。在侧链或末端中的任一者为具有碳-碳双键的反应性官能团以外的官能团（不具有碳-碳双键的官能团）的情况下，作为该不具有碳-碳双键的官能团，例如可举出脂肪族基团、脂环式基团、芳香族基团、酸酐基、氨基等。具体而言，可举出：成为上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的原料的酸酐、二胺化合物的未反应的单末端构成基团等。在上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂在侧链或末端具有2个以上的上述不具有碳-碳双键的官能团的情况下，各个不具有碳-碳双键的官能团可以相同，也可以不同。

120、作为上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂，具体而言，例如可举出：具有上述式（1）所示的结构单元、且在末端和侧链中的至少任一位置具备具有碳-碳双键的反应性官能团的树脂等。

121、具有上述式（1）所示的结构单元、且在末端和侧链中的至少任一位置具备具有碳-碳双键的反应性官能团的树脂可以具有选自下述式（4-1）所示的结构单元和下述式（4-2）所示的结构单元中的至少1种结构单元。

122、[化学式4]

123、

124、式（4-1）中，p3表示芳香族基团，q3表示取代或未取代的具有芳香族结构的基团，式（4-2）中，p4表示芳香族基团，r表示取代或未取代的支链状的脂肪族基团或芳香族基团，x表示具有碳-碳双键的反应性官能团。

125、上述式（4-1）中的p3和上述式（4-2）中的p4优选为碳原子数5～50的芳香族基团。通过使上述p3和p4为碳原子数5～50的芳香族基团，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。即，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生，另外，能够进一步防止对被粘物引起粘接亢进、或在与被粘物的剥离时产生残胶。

126、上述式（4-1）中，q3优选为取代或未取代的碳原子数5～50的具有芳香族结构的基团。通过使上述q3为取代或未取代的碳原子数5～50的具有芳香族结构的基团，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。即，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生，另外，能够进一步防止对被粘物引起粘接亢进、或在与被粘物的剥离时产生残胶。

127、上述式（4-2）中，r优选为取代或未取代的支链状的碳原子数2～100的脂肪族基团或芳香族基团。通过使上述r为取代或未取代的支链状的碳原子数2～100的脂肪族基团或芳香族基团，从而所得到的树脂组合物的柔软性变得更优异，使用了该树脂组合物的临时固定材料能够对具有凹凸的被粘物发挥高追随性，并且在剥离时能够更容易地剥离。

128、上述式（4-2）中，r为具有芳香族酯基或芳香族醚基的芳香族基团，该r中的该芳香族酯基或该芳香族醚基优选与x键合。

129、在此，“芳香族酯基”是指在芳香族环上直接键合有酯基的基团，“芳香族醚基”是指在芳香族环上直接键合有醚基的基团。通过像这样使与酯基、醚基键合的部分为芳香族基团，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。即，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制空隙和浮起的产生，另外，能够进一步防止对被粘物引起粘接亢进、或在与被粘物的剥离时产生残胶。另一方面，通过使x经由芳香族酯基或芳香族醚基与r键合，从而x中的碳-碳双键不会与r共轭，因此不会妨碍加热或照射光时的聚合交联。

130、具有上述式（1）所示的结构单元、且在末端和侧链中的至少任一位置具备具有碳-碳双键的反应性官能团的树脂中的上述式（1）所示的结构单元的含有比例优选为30摩尔%以上，更优选为50摩尔%以上，优选为90摩尔%以下，更优选为80摩尔%以下。

131、在具有上述式（1）所示的结构单元、且在末端和侧链中的至少任一位置具备具有碳-碳双键的反应性官能团的树脂具有上述式（4-1）所示的结构单元的情况下，上述式（4-1）所示的结构单元的含有比例优选为5摩尔%以上，更优选为10摩尔%以上，进一步优选为20摩尔%以上，优选为50摩尔%以下，更优选为30摩尔%以下。

132、在具有上述式（1）所示的结构单元、且在末端和侧链中的至少任一位置具备具有碳-碳双键的反应性官能团的树脂具有上述式（4-2）所示的结构单元的情况下，上述式（4-2）所示的结构单元的含有比例优选为10摩尔%以上，更优选为20摩尔%以上，优选为50摩尔%以下，更优选为30摩尔%以下。

133、在上述式（1）所示的结构单元、上述式（4-1）所示的结构单元和上述式（4-2）所示的结构单元中，通过使各结构单元的含量为上述范围内，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制与支撑体之间的空隙和浮起的产生，另外，在与被粘物剥离时能够更容易地剥离。

134、需要说明的是，上述式（1）所示的结构单元、上述式（4-1）所示的结构单元和上述式（4-2）所示的结构单元可以具有包含各结构单元连续排列而成的嵌段成分的嵌段结构，也可以具有各结构单元无规地排列而成的无规结构。

135、作为制造上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的方法，例如可举出以下的方法等。

136、即，首先，使二胺化合物与芳香族酸酐进行反应来制备酰亚胺化合物。接下来，使该酰亚胺化合物的官能团、与具备与该官能团反应的官能团和具有碳-碳双键的反应性官能团的化合物（以下，也称为“含官能团的不饱和化合物”）进行反应，由此能够得到上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。

137、另外，通过使二胺化合物与芳香族酸酐进行反应来制备酰亚胺化合物，进一步使例如马来酸酐等与该酰亚胺化合物的末端反应，从而也能够得到上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。

138、作为制造上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的方法中使用的二胺化合物和芳香族酸酐，可以使用与制造上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的方法中使用的二胺化合物和芳香族酸酐相同的物质。

139、作为上述含官能团的不饱和化合物，根据上述酰亚胺化合物的末端或侧链的官能团来选择使用。

140、例如，在上述酰亚胺化合物的末端或侧链的官能团为羟基的情况下，作为上述含官能团的不饱和化合物，可举出：具有羧基的马来酰亚胺化合物、具有醚基的乙烯基化合物、具有缩水甘油基的烯丙基化合物、具有缩水甘油基的烯丙基醚化合物、具有缩水甘油基的乙烯基醚化合物、具有异氰酸酯基的烯丙基化合物、具有异氰酸酯基的（甲基）丙烯酰基化合物等。

141、另外，例如，在上述酰亚胺化合物的末端或侧链的官能团为羧基的情况下，作为上述含官能团的不饱和化合物，可举出：具有羟基的烯丙基化合物、具有缩水甘油基的烯丙基化合物、具有缩水甘油基的烯丙基醚化合物、具有缩水甘油基的乙烯基醚化合物等。

142、作为上述具有羧基的马来酰亚胺化合物，例如可举出：乙酸马来酰亚胺、马来酰亚胺丙酸、马来酰亚胺丁酸、马来酰亚胺己酸、反式-4-（n-马来酰亚胺甲基）环己烷-1-甲酸、19-马来酰亚胺-17-氧代-4,7,10,13-四氧杂-16-氮杂十九烷酸等。

143、作为上述具有醚基的乙烯基化合物，例如可举出丁基乙烯基醚等。

144、作为上述具有缩水甘油基的烯丙基化合物，例如可举出二烯丙基单缩水甘油基异氰脲酸酯等。

145、作为上述具有缩水甘油基的烯丙基醚化合物，例如可举出烯丙基缩水甘油醚、甘油二烯丙基单缩水甘油醚等。

146、作为上述具有缩水甘油基的乙烯基醚化合物，例如可举出：缩水甘油氧基乙基乙烯基醚、缩水甘油氧基丁基乙烯基醚、缩水甘油氧基己基乙烯基醚、缩水甘油基二乙二醇乙烯基醚、缩水甘油基环己烷二甲醇单乙烯基醚等。

147、作为上述具有异氰酸酯基的烯丙基化合物，例如可举出烯丙基异氰酸酯等。

148、作为上述具有异氰酸酯基的（甲基）丙烯酰基化合物，例如可举出2-（甲基）丙烯酰氧基乙基异氰酸酯等。

149、作为上述具有羟基的烯丙基化合物，例如可举出三羟甲基丙烷二烯丙基醚、季戊四醇三烯丙基醚等。

150、上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂100质量份中，上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的含量的优选的下限为10质量份，优选的上限为100质量份。通过使上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的含量为该范围内，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在剥离时能够更容易地剥离。从进一步提高剥离性的观点出发，上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的含量的更优选的下限为20质量份，进一步优选的下限为30质量份，更优选的上限为90质量份，进一步优选的上限为80质量份，更进一步优选的上限为70质量份。

151、在上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂包含上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的情况下，本发明的树脂组合物优选还包含：在分子内具有2个以上的具有碳-碳双键的反应性官能团、且分子量为5000以下的多官能单体或多官能低聚物（以下，也简称为“多官能单体或多官能低聚物”）。

152、另外，在上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂包含上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的情况下，本发明的树脂组合物也可以进一步包含上述多官能单体或多官能低聚物。

153、通过包含上述多官能单体或多官能低聚物，从而所得到的树脂组合物通过光的照射等而更高效地进行三维网状化，能够进一步防止引起粘接亢进、或在剥离时产生残胶。

154、上述多官能单体或多官能低聚物的分子量更优选小于5000。

155、需要说明的是，上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂本身不具有反应性的情况下，本发明的树脂组合物通过进一步含有具有反应性官能团的其他成分，从而能够使上述树脂组合物整体具有反应性。作为这样的具有反应性官能团的其他成分，优选使用上述多官能单体或多官能低聚物。作为上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂本身没有反应性的情况，例如可举出上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂仅包含上述不具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的情况等。

156、作为上述多官能单体或多官能低聚物中的具有碳-碳双键的反应性官能团，例如可举出：可以被取代的马来酰亚胺基、柠康酰亚胺基、乙烯基醚基、烯丙基、（甲基）丙烯酰基等。其中，从能够得到更高的耐热性的方面出发，可以被取代的马来酰亚胺基是适合的。特别是，上述多官能单体或多官能低聚物优选为双马来酰亚胺化合物。

157、上述多官能单体或多官能低聚物优选具有来自于二胺化合物的基团。作为上述二胺化合物，可以使用脂肪族二胺化合物或芳香族二胺化合物中的任意者，优选脂肪族二胺化合物。即，上述多官能单体或多官能低聚物更优选具有来自于二胺化合物的脂肪族基团。通过使用脂肪族二胺化合物作为上述二胺化合物，从而所得到的树脂组合物的透光性变得更优异。另外，所得到的树脂组合物的柔软性变得更优异，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料能够对具有凹凸的被粘物发挥高追随性，并且在剥离时能够更容易地剥离。

158、上述脂肪族二胺化合物中，从透光性、柔软性和上述多官能单体或多官能低聚物与溶剂、其他成分的相容性的观点出发，优选上述那样的二聚物二胺。

159、上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与上述多官能单体或多官能低聚物的合计100质量份中，上述多官能单体或多官能低聚物的含量的优选的下限为5质量份，优选的上限为90质量份。通过使上述多官能单体或多官能低聚物的含量为该范围内，从而所得到的树脂组合物在剥离时能够更容易地剥离。从进一步提高剥离性的观点出发，上述多官能单体或多官能低聚物的含量的更优选的下限为10质量份，更优选的上限为50质量份。

160、作为上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂，在含有上述不具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂、和上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂、且包含上述多官能单体或多官能低聚物的情况下，它们的合计100质量份中，上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与上述多官能单体或多官能低聚物的合计含量的优选的下限为20质量份，优选的上限为80质量份。通过使上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与上述多官能单体或多官能低聚物的合计含量为该范围内，从而所得到的树脂组合物在剥离时能够更容易地剥离。从进一步提高剥离性的观点出发，上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与上述多官能单体或多官能低聚物的合计含量的更优选的下限为30质量份，进一步优选的下限为40质量份，更进一步优选的下限为50质量份，更优选的上限为70质量份。

161、本发明的树脂组合物优选含有具有马来酰亚胺基的化合物。通过含有上述具有马来酰亚胺基的化合物，从而所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。

162、上述具有马来酰亚胺基的化合物优选为具有马来酰亚胺基的上述多官能单体或多官能低聚物、或者具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂。即，优选的是，本发明的树脂组合物包含具有马来酰亚胺基的化合物作为上述多官能单体或多官能低聚物，或者，本发明的树脂组合物包含具有马来酰亚胺基来作为上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂的上述具有碳-碳双键的反应性官能团的树脂。

163、其中，本发明的树脂组合物中，作为上述具有马来酰亚胺基且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂，优选含有：具有上述式（1）所示的结构单元、且在末端和侧链中的至少任一位置具备具有马来酰亚胺基的官能团的树脂。另外，具有马来酰亚胺基的上述多官能单体或多官能低聚物优选为双马来酰亚胺化合物。

164、本发明的树脂组合物优选进一步包含聚合引发剂。上述聚合引发剂可以为热聚合引发剂，也可以为光聚合引发剂，优选光聚合引发剂。

165、作为上述光聚合引发剂，例如可举出通过照射250～800nm的波长的光而被活化的光聚合引发剂。其中，从不易与上述具备具有碳-碳双键的反应性官能团且在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂、上述多官能单体或多官能低聚物的吸收波长重叠、在对树脂组合物进行光照射时充分被活化的方面出发，上述光聚合引发剂优选包含365nm时的摩尔吸光系数为1以上的化合物。上述光聚合引发剂更优选包含365nm时的摩尔吸光系数为200以上的化合物，进一步优选包含365nm时的摩尔吸光系数为350以上的化合物。上述365nm时的摩尔吸光系数为1以上的化合物的365nm时的摩尔吸光系数的优选的上限没有特别限定，实质上的上限为2000。

166、作为上述光聚合引发剂，例如可举出苯乙酮衍生物、苯偶姻醚系化合物、缩酮衍生物、氧化膦衍生物等。

167、作为上述苯乙酮衍生物，例如可举出甲氧基苯乙酮等。

168、作为上述苯偶姻醚系化合物，例如可举出苯偶姻丙醚、苯偶姻异丁醚等。

169、作为上述缩酮衍生物，例如可举出苯偶酰二甲基缩酮、苯乙酮二乙基缩酮等。

170、作为上述氧化膦衍生物，例如可举出二苯基（2,4,6-三甲基苯甲酰基）氧化膦等。

171、另外，作为上述光聚合引发剂，例如还可举出：双（η5-环戊二烯基）二茂钛衍生物化合物、二苯甲酮、米蚩酮、氯噻吨酮、十二烷基噻吨酮、二甲基噻吨酮、二乙基噻吨酮、α-羟基环己基苯基酮、2-羟基甲基苯基丙烷等。

172、这些光聚合引发剂可以单独使用，也可以组合使用2种以上。

173、相对于上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与上述多官能单体或多官能低聚物的合计100质量份，上述聚合引发剂的含量的优选的下限为0.1质量份，优选的上限为10质量份。通过使上述聚合引发剂的含量为该范围内，从而上述树脂组合物的整体因光的照射等而均匀且迅速地聚合交联，因弹性模量上升而使粘合力大幅降低，能够防止引起粘接亢进、或在剥离时产生残胶。上述聚合引发剂的含量的更优选的下限为0.3质量份，更优选的上限为3质量份。

174、本发明的树脂组合物可以进一步包含气体产生剂。通过含有上述气体产生剂，从而即使在经过300℃以上的高温下的加热处理后，通过照射光而产生的气体也会被释放到与被粘物的界面，因此能够更容易且没有残胶地剥离被粘物。另外，即使在进行300℃以上的高温下的加热处理后剥离薄的被粘物的情况下，也能够防止被粘物的破损。

175、上述气体产生剂在tg-dta（热重-差热分析）测定中，在氮气氛下以10℃/min的升温速度从30℃加热至300℃时的300℃时的重量减少率优选为5%以下。如果上述重量减少率为5%以下，则即使在进行300℃以上的高温下的加热处理的情况下，也不易引起上述气体产生剂的分解，所得到的树脂组合物的耐热性变得更优异。即，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制剥离，另外，能够进一步防止引起粘接亢进、或在剥离时产生残胶。

176、需要说明的是，上述tg-dta（热重-差热分析）测定例如可以使用tg-dta装置（hitachi high-tech science公司制，“sta7200rv”）等来进行。

177、作为上述气体产生剂，例如可举出：通过加热而产生气体的气体产生剂、通过照射光而产生气体的气体产生剂等。其中，优选通过照射光而产生气体的气体产生剂，更优选通过照射紫外线而产生气体的气体产生剂。

178、作为上述气体产生剂，例如可举出：四唑化合物或其盐、三唑化合物或其盐、偶氮化合物、叠氮化合物、呫吨酮乙酸、碳酸盐等。这些气体产生剂可以单独使用，也可以组合使用2种以上。其中，特别是从耐热性优异的方面出发，优选四唑化合物或其盐。

179、相对于上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与上述多官能单体或多官能低聚物的合计100质量份，上述气体产生剂的含量的优选的下限为5质量份，优选的上限为50质量份。通过使上述气体产生剂的含量为该范围内，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料的剥离性变得特别优异。上述气体产生剂的含量的更优选的下限为8质量份，更优选的上限为30质量份。

180、本发明的树脂组合物可以进一步含有无机填充剂。

181、通过含有上述无机填充剂，能够抑制所得到的树脂组合物在高温下的弹性模量的降低，使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料即使在进行高温下的加热处理的情况下，也能够进一步抑制高温下的加热处理中的剥离。

182、作为上述无机填充剂，例如可举出：包含选自硅、钛、铝、钙、硼、镁和氧化锆的氧化物、以及它们的复合物中的至少1种的无机填充剂。其中，从以市售品廉价且容易获得的方面出发，优选二氧化硅、滑石。

183、上述无机填充剂可以进行表面修饰。作为对上述无机填充剂进行表面修饰的修饰官能团，例如可举出烷基硅烷基、甲基丙烯酰基和二甲基硅氧烷基等。其中，从具有适度的疏水性的方面出发，优选二甲基硅氧烷基。

184、上述无机填充剂的平均粒径的优选的下限为5nm，优选的上限为30μm。通过使上述无机填充剂的平均粒径为该范围内，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制剥离，另外，在剥离时能够通过剥离处理来进行剥离。上述无机填充剂的平均粒径的更优选的下限为10nm，更优选的上限为20μm，进一步优选的下限为15nm，进一步优选的上限为15μm。

185、需要说明的是，上述平均粒径优选为数均粒径。上述平均粒径例如通过以下方式求出：利用电子显微镜或光学显微镜观察任意的50个无机填充剂并算出各无机填充剂的粒径的平均值；或进行激光衍射式粒度分布测定。

186、相对于上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂与上述多官能单体或多官能低聚物的合计100质量份，上述无机填充剂的含量的优选的下限为1质量份，优选的上限为20质量份。通过使上述无机填充剂的含量为该范围内，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在高温下的加热处理中能够进一步抑制剥离，另外，在剥离时能够通过剥离处理进行剥离。上述无机填充剂的含量的更优选的下限为3质量份，更优选的上限为15质量份，进一步优选的下限为5质量份，进一步优选的上限为10质量份。

187、本发明的树脂组合物例如可以含有光敏化剂、热稳定剂、抗氧化剂、抗静电剂、增塑剂、树脂、表面活性剂、蜡等公知的添加剂。

188、作为制造本发明的树脂组合物的方法，例如可举出：使用珠磨机、超声波分散、均质机、高输出分散机、辊磨机等将上述在主链的重复单元中具有酰亚胺骨架的树脂、上述（甲基）丙烯酸系共聚物和根据需要配合的添加剂混合的方法等。

189、本发明的树脂组合物的10%重量减少温度的优选的下限为200℃。通过使上述10%重量减少温度为200℃以上，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料的耐热性变得更优异。上述10%重量减少温度的更优选的下限为220℃，进一步优选的下限为250℃。

190、另外，上述10%重量减少温度的优选的上限没有特别限定，实质上的上限为600℃。需要说明的是，在上述临时固定材料具有如后所述的固化性的情况下，上述临时固定材料的固化物的5%重量减少温度优选为上述范围。

191、需要说明的是，上述10%重量减少温度可以利用差热热重同时测定装置进行测定。具体而言，可以通过以下的方法进行测定。

192、即，首先，称取树脂组合物至铝盘中。在树脂组合物为热固化性或光固化性的情况下，通过在烘箱中以150℃加热10分钟、或者照射300秒钟波长365nm、照射强度70mw/cm2的紫外线，从而使树脂组合物固化，将所得到的固化物称取至铝盘中。接下来，将该铝盘设置于差热热重同时测定装置，在氮气氛下以10℃/分钟的升温速度从30℃升温至500℃时，能够得到与升温前相比固化物的重量减少10%的时刻的温度作为10%重量减少温度。作为上述差热热重同时测定装置，可以使用sta7200rv（hitachi high-tech science公司制）。

193、在本发明的树脂组合物为热固化性或光固化性的情况下，本发明的树脂组合物的固化后的凝胶分率的优选的下限为70质量%，优选的上限为95质量%。通过使上述固化后的凝胶分率为上述范围内，从而使用了所得到的树脂组合物的临时固定材料在与被粘物的剥离时能够更容易地剥离。上述固化后的凝胶分率的更优选的下限为75质量%，更优选的上限为90质量%。

194、需要说明的是，关于上述固化后的凝胶分率，在树脂组合物为光固化性的情况下，通过对该树脂组合物照射300秒钟波长365nm、照射强度70mw/cm2的紫外线而使其固化后，另外，在树脂组合物为热固化性的情况下，通过在150℃加热10分钟而使其固化后，通过以下的方法进行测定。

195、即，首先，将固化后的树脂组合物裁切成50mm×100mm的平面长方形而制作试验片。将所得到的试验片在甲苯中在23℃浸渍24小时后，从甲苯中取出，在110℃的条件下干燥1小时。对干燥后的试验片的质量进行测定，使用下述式算出凝胶分率。需要说明的是，在试验片上未层叠用于保护临时固定材料的间隔件等。另外，在临时固定材料不具有基材的情况下，设为w0＝0。

196、凝胶分率（质量%）＝100×（w2-w0）/（w1-w0）

197、（w0：基材的质量，w1：浸渍前的试验片的质量，w2：浸渍、干燥后的试验片的质量）

198、本发明的树脂组合物适合用于电子部件的临时固定。包含本发明的树脂组合物的临时固定材料也是本发明之一。

199、本发明的临时固定材料的形态没有特别限定，可以为液状、糊状等形态，也可以为具有包含本发明的树脂组合物的粘接层的形态，其中，优选为具有包含本发明的树脂组合物的粘接层的临时固定材料。另外，在具有上述粘接层的临时固定材料的情况下，优选为带状。

200、在具有上述粘接层的临时固定材料的情况下，可以在基材的一个或两个面具有上述粘接层，也可以不具有基材。在不具有上述基材的情况下，无需选定同时具有透光性和耐热性的基材，上述临时固定材料可以设为更廉价且简易的构成。在具有上述基材的情况下，本发明的临时固定材料的处理性进一步提高。

201、在具有上述基材的情况下，作为该基材，例如可举出：丙烯酸系树脂（日文：アクリル）、烯烃、聚碳酸酯、氯乙烯、abs、聚对苯二甲酸乙二醇酯（pet）、聚萘二甲酸乙二醇酯（pen）、尼龙、氨基甲酸酯、聚酰亚胺、聚醚醚酮（peek）、聚酰胺（pa）等树脂片，可以适合使用透光性高的树脂片。另外，也可以使用具有网眼状的结构的片材、开有孔的片材、玻璃等。

202、从提高透光性的观点和提高柔软性的观点出发，上述基材的厚度的优选的下限为5μm，更优选的下限为10μm，优选的上限为150μm，更优选的上限为100μm。

203、制造本发明的临时固定材料的方法没有特别限定，例如，将通过上述方法得到的树脂组合物用涂抹器等涂敷于实施了单面脱模处理的pet膜的脱模处理面上并干燥，形成了含有树脂组合物的粘接层后，将实施了单面脱模处理的另一pet膜以脱模处理面与粘接层相对的方式重叠等，由此作为具有粘接层的形态的临时固定材料，能够得到不具有基材的带脱模pet膜的临时固定材料。

204、另外，在通过上述方法形成粘接层后，通过将基材与粘接层以相对的方式重叠等，从而能够得到具有基材的带脱模pet膜的临时固定材料。

205、在本发明的临时固定材料为具有上述粘接层的临时固定材料的情况下，本发明的临时固定材料整体的厚度的优选的下限为5μm，优选的上限为550μm。通过使上述临时固定材料的厚度为5μm以上，从而上述临时固定材料整体能够在初期具有充分的压敏或热敏粘合力。通过使上述临时固定材料整体的厚度为550μm以下，从而上述临时固定材料整体能够发挥高柔软性，能够对具有凹凸的被粘物发挥高追随性，并且在剥离时能够更容易地剥离。上述临时固定材料整体的厚度的更优选的下限为10μm，进一步优选的下限为20μm，更进一步优选的下限为30μm。上述临时固定材料整体的厚度的更优选的上限为400μm，进一步优选的上限为300μm，更进一步优选的上限为200μm，特别优选的上限为150μm。

206、本发明的临时固定材料的25℃时对聚酰亚胺的初始粘合力的优选的下限为0.1n/inch，优选的上限为1.5n/inch。通过使上述25℃时对聚酰亚胺的初始粘合力为该范围，从而本发明的临时固定材料能够进一步防止在高温下的加热处理后对表面具有聚酰亚胺的被粘物引起粘接亢进、或在剥离时产生残胶，在与表面具有聚酰亚胺的被粘物的剥离时能够更容易地剥离。上述25℃时对聚酰亚胺的初始粘合力的更优选的下限为0.2n/inch，更优选的上限为1.2n/inch。

207、另外，本发明的临时固定材料的在250℃加热2小时后的25℃时对聚酰亚胺的粘合力的优选的下限为0.01n/inch，优选的上限为1.5n/inch。通过使上述在250℃加热2小时后的25℃时对聚酰亚胺的粘合力为该范围，从而本发明的临时固定材料能够进一步防止在高温下的加热处理后对表面具有聚酰亚胺的被粘物引起粘接亢进、或在剥离时产生残胶，在与表面具有聚酰亚胺的被粘物的剥离时能够更容易地剥离。上述在250℃加热2小时后的25℃时对聚酰亚胺的粘合力的更优选的下限为0.1n/inch，更优选的上限为1n/inch。

208、上述对聚酰亚胺的粘合力通过以下的方法进行测定。

209、即，首先，利用层压机将上述临时固定材料层压于聚酰亚胺，得到层叠体。作为上述聚酰亚胺，例如可以使用upilex（ube公司制）、kapton（toray dupont公司制）等，作为上述层压机，可以使用leon13dx（lami corporation公司制，速度等级（日文：速度メモリ）5）。在上述临时固定材料使用了热固化性或光固化性的树脂组合物的情况下，在层压后，在烘箱中以150℃加热10分钟，或者照射300秒钟波长365nm、照射强度70mw/cm2的紫外线，由此使临时固定材料固化，得到层叠体。对于所得到的层叠体，使用拉伸试验机，在25℃、拉伸角度30°、拉伸速度300mm/分钟的条件下进行剥离试验，由此能够测定25℃时对聚酰亚胺的初始粘合力。作为上述拉伸试验机，可以使用角度自如型粘合-被膜剥离解析装置vpa-2s（协和界面科学公司制）。关于上述在250℃加热2小时后的25℃时对聚酰亚胺的粘合力，将所得到的层叠体在250℃时加热2小时后，同样地测定临时固定材料对聚酰亚胺的粘合力。

210、本发明的临时固定材料能够防止在高温下的加热处理后对被粘物引起粘接亢进、或在剥离时产生残胶，并在与被粘物的剥离时能够容易地剥离。因此，本发明的临时固定材料能够适合用于要进行高温下的加热处理的被粘物、特别是在表面具有聚酰亚胺的被粘物的保护和临时固定。尤其是在半导体等电子部件的加工时，为了使电子部件的处理变得容易且不破损，可以适合用于借助上述临时固定材料将电子部件固定于支撑板、或将上述临时固定材料贴附于电子部件而进行保护。

211、包括将电子部件临时固定于本发明的临时固定材料的临时固定工序、对上述电子部件进行热处理的热处理工序、以及从本发明的临时固定材料剥离上述电子部件的剥离工序的电子部件的制造方法也是本发明之一。在本发明的临时固定材料使用热固化性或光固化性的树脂组合物的情况下，优选在上述临时固定工序与上述热处理工序之间包括将上述临时固定材料固化的固化工序。通过在上述临时固定工序与上述热处理工序之间进行上述固化工序，从而临时固定材料能够发挥更优异的耐热性。

212、发明效果

213、根据本发明，能够提供一种能够抑制加热处理中的空隙和浮起的产生，并在加热处理后能够容易地剥离的树脂组合物。另外，根据本发明，能够提供包含该树脂组合物的临时固定材料、以及使用了该临时固定材料的电子部件的制造方法。