过滤系统及包括其的薄膜沉积设备的制作方法

本发明涉及半导体制造，特别涉及一种过滤系统及包括其的薄膜沉积设备。

背景技术：

1、在半导体制程中，过滤是一项至关重要的工艺步骤。过滤能够去除杂质、颗粒和其他不良物质，以确保半导体器件的质量和可靠性，满足各项工艺要求。

2、以现有的mocvd(metal organic chemical vapor deposition，金属有机化学气相沉积)过滤器装置为例，其一般采用单筒滤芯或多筒滤芯，通过滤芯作用来达到过滤尾气中固体颗粒的效果，单筒多级过滤器主要是靠逐层分级的滤芯来过滤直径大小不一的固体颗粒，多筒滤芯则是靠增加尾气与滤芯的接触面积来实现过滤效果。现有的mocvd过滤器面临的主要挑战包括过滤效率的衰减、过滤器堵塞快速以及更换频率高等，以单筒滤芯过滤为例，由于容纳固体颗粒空间有限，经过80到120个标准led程序后就需要更换过滤器滤芯。上述问题的存在直接关联到生产成本和设备的连续运行能力。为了应对这些挑战，研究和开发集中在提高过滤器的耐久性、过滤效率以及设计更有效的清洁或预处理系统，以减少过滤器的维护需求和延长其使用寿命。例如，通过在过滤器前端加装水冷装置来降低尾气温度，减少颗粒物的凝聚，或者使用更耐用的材料和设计，如不锈钢网滤芯，来增强过滤器的抗磨损和抗腐蚀能力，从而延长整体的使用寿命。但上述改进方法分别存在着不同的问题，仍然无法很好地满足过滤需求。

3、因此，希望能有一种新的过滤系统及包括其的薄膜沉积设备，能够解决上述问题。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种过滤系统及包括其的薄膜沉积设备，特别是一种延长mocvd过滤桶使用寿命装置，从而方便、高效、快捷地实现滤芯的清洁，延长过滤系统的使用寿命。

2、根据本发明的一方面，提供一种过滤系统，包括：

3、进气口；

4、进气腔，所述进气腔与所述进气口相连通；待过滤气体经由所述进气口进入所述进气腔；

5、出气腔，所述出气腔设置在所述进气腔的一侧，所述出气腔用于容纳过滤后气体；

6、滤芯，所述滤芯介于所述进气腔和所述出气腔之间，所述滤芯用于过滤所述待过滤气体以得到所述过滤后气体；以及

7、振动器，所述振动器设置在所述出气腔中，所述振动器提供振动以清洁所述滤芯上的滤渣。

8、可选地，所述进气口与反应腔相连通以接收所述待过滤气体。

9、可选地，所述过滤系统还包括：

10、出气口，所述出气口与所述出气腔相连通以排出所述过滤后气体，

11、其中，所述滤芯的至少一部分位于所述出气口的上方；

12、所述滤芯的至少一部分位于所述振动器的上方。

13、可选地，所述过滤系统还包括外壳、顶盖和固定平台，

14、其中，所述滤芯为柱状中空滤芯；所述柱状中空滤芯具有上表面、下表面、外表面和内表面；

15、所述顶盖设置在所述上表面上，所述下表面设置在所述固定平台上；所述顶盖、所述固定平台和所述内表面之间形成有所述出气腔；

16、所述外壳和所述外表面之间形成有所述进气腔；

17、所述振动器设置在所述固定平台上。

18、可选地，所述过滤系统还包括橡胶密封垫和螺栓；

19、所述顶盖包括不锈钢盖；

20、所述螺栓穿过所述不锈钢盖中心的孔和所述橡胶密封垫，所述螺栓的一头固定卡在所述固定平台上的凹槽里。

21、可选地，所述振动器包括气动振动器；

22、所述气动振动器经由管道连接至气源；所述管道上设置有气动振动器隔离阀。

23、可选地，所述振动器包括气动振动器；所述气动振动器经由管道连接至气源；

24、所述气动振动器上设置有出气孔，所述气源提供的气体经由所述出气孔进入所述出气腔中。

25、可选地，所述过滤系统还包括：

26、压力检测单元，所述压力检测单元用于检测所述过滤系统前端压力和所述过滤系统后端压力的压力差，

27、其中，在所述压力差大于设定阈值时，开启所述振动器。

28、可选地，所述过滤系统还包括：

29、出气口，所述出气口与所述出气腔相连通以排出所述过滤后气体；

30、进气口隔离阀，所述进气口隔离阀设置在所述进气口上；

31、出气口隔离阀，所述出气口隔离阀设置在所述出气口上；以及

32、气动振动器隔离阀，所述气动振动器隔离阀设置在与所述气动振动器相连的管道上，

33、其中，在所述压力差大于设定阈值时，关闭所述进气口隔离阀，关闭所述出气口隔离阀，开启所述气动振动器隔离阀。

34、根据本发明的另一方面，提供一种薄膜沉积设备，包括：

35、沉积腔；以及

36、如上所述的过滤系统，

37、其中，所述过滤系统连接在所述沉积腔的出气端，以接收所述沉积腔排出的待过滤气体。

38、本发明实施例提供的过滤系统及包括其的薄膜沉积设备，在滤芯一侧的出气腔中设置有振动器，能够方便、高效、快捷地实现滤芯的清洁。

39、进一步地，滤芯为柱状中空滤芯，振动器位于中空位置处，能够均匀的为滤芯的各个部分提供振动；并且，振动器位于柱状中空滤芯的中空位置处，距离需要清洁的部分很近，通过较小的功率便可实现滤芯的清洁。

40、进一步地，通过螺栓和凹槽固定安装滤芯，安装便捷且稳固。

41、进一步地，根据检测的压力差决定是否开启振动器清洁，控制方式简便且准确。

42、进一步地，气动振动器在提供振动的同时，向滤芯提供气体以进行吹扫，极大地提升了清洁效果。

1.一种过滤系统，包括：

2.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述进气口与反应腔相连通以接收所述待过滤气体。

3.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括：

4.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括外壳、顶盖和固定平台，

5.根据权利要求4所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括橡胶密封垫和螺栓；

6.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述振动器包括气动振动器；

7.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述振动器包括气动振动器；所述气动振动器经由管道连接至气源；

8.根据权利要求1所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括：

9.根据权利要求8所述的过滤系统，其中，所述过滤系统还包括：

10.一种薄膜沉积设备，包括：