红外成像仪的制作方法

本公开涉及光电探测,尤其涉及一种红外成像仪。
背景技术:
1、在光电探测技术领域,鉴于胶体量子点能够实现大面阵、大批量制备,有助于提高器件的制备产率和制备效率,以及降低材料加工成本等,现已广泛应用于光学探测、光伏发电等领域。
2、目前,胶体量子点通常应用于各类图像传感器中,如互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor,cmos)图像传感器、薄膜晶体管(thin-filmtransistor,tft)图像传感器等,以构成能够探测所需波段的仪器,如红外成像仪。但是,现有红外成像仪中,相邻的像素结构之间通常存在干扰电信号如横向电流的干扰,导致红外成像仪的噪声较大,继而其信噪比较差,降低了红外成像质量。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题,本公开提供了一种红外成像仪。
2、本公开提供了一种红外成像仪,包括:
3、基底;
4、量子点探测结构,设置于所述基底的一侧,且阵列排布;
5、防串扰隔离结构,与所述量子点探测结构设置于所述基底的同一侧,所述防串扰隔离结构设置在所述量子点探测结构的至少一侧;
6、所述量子点探测结构用于响应红外光信号生成电信号;所述电信号包括向所述基底传输的目标电信号,以及不同于所述目标电信号的传输方向的干扰电信号;所述防串扰隔离结构用于导出所述干扰电信号。
7、可选地,所述防串扰隔离结构连接相邻的两个所述量子点探测结构。
8、可选地,所述防串扰隔离结构包括:
9、第一电极,设置于所述基底的一侧;
10、第一红外感光层,设置于所述第一电极背离所述基底的一侧;
11、第二电极,设置于所述第一红外感光层背离所述第一电极的一侧。
12、可选地,所述量子点探测结构包括:
13、第三电极,设置于所述基底的一侧;
14、第二红外感光层,设置于所述第三电极背离所述基底的一侧;
15、第四电极,设置于所述第二红外感光层背离所述第三电极的一侧。
16、可选地,所述第四电极和所述第二电极一体成型于同层,所述第二红外感光层与所述第一红外感光层一体成型于同层。
17、可选地,所述第三电极和所述第四电极的制备材料不同,所述第一电极和所述第二电极的制备材料相同。
18、可选地,所述防串扰隔离结构的电导率大于所述量子点探测结构的电导率。
19、可选地,所述第一电极为网格状公共电极,且与所述第三电极间隔设置。
20、可选地,所述网格状公共电极包括:
21、电极线条,多个所述电极线条交叉形成阵列排布的格子;每个所述量子点探测结构设置于对应的一个格子内。
22、可选地,所述红外成像仪还包括:
23、tft器件,与所述量子点探测结构设置于所述基底的同一侧,且与所述量子点探测结构一一对应连接;
24、所述tft器件用于基于外加电压控制所述量子点探测结构导通或断开。
25、本公开实施例提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点:
26、本公开实施例提供的红外成像仪包括:基底;量子点探测结构,设置于基底的一侧,且阵列排布;防串扰隔离结构,与量子点探测结构设置于基底的同一侧,防串扰隔离结构设置在量子点探测结构的至少一侧;量子点探测结构用于响应红外光信号生成电信号;电信号包括向基底传输的目标电信号,以及不同于目标电信号的传输方向的干扰电信号;防串扰隔离结构用于导出干扰电信号。如此,通过将防串扰隔离结构设置在量子点探测结构的至少一侧,能够导出量子点探测结构中的干扰电信号,避免其传输至相邻的量子点探测结构进行干扰,进而降低了红外成像仪的噪声,提升了信噪比,利于提升红外成像质量。
技术特征:
1.一种红外成像仪,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的红外成像仪,其特征在于,
3.根据权利要求1所述的红外成像仪,其特征在于,所述防串扰隔离结构包括:
4.根据权利要求3所述的红外成像仪,其特征在于,所述量子点探测结构包括:
5.根据权利要求4所述的红外成像仪,其特征在于,所述第四电极和所述第二电极一体成型于同层,所述第二红外感光层与所述第一红外感光层一体成型于同层。
6.根据权利要求4所述的红外成像仪,其特征在于,所述第三电极和所述第四电极的制备材料不同,所述第一电极和所述第二电极的制备材料相同。
7.根据权利要求1所述的红外成像仪,其特征在于,
8.根据权利要求4所述的红外成像仪,其特征在于,
9.根据权利要求8所述的红外成像仪,其特征在于,所述网格状公共电极包括:
10.根据权利要求1所述的红外成像仪,其特征在于,还包括:
技术总结
本公开涉及一种红外成像仪,该红外成像仪包括:基底;量子点探测结构,设置于基底的一侧,且阵列排布;防串扰隔离结构,与量子点探测结构设置于基底的同一侧,防串扰隔离结构设置在量子点探测结构的至少一侧;量子点探测结构用于响应红外光信号生成电信号;电信号包括向基底传输的目标电信号,以及不同于目标电信号的传输方向的干扰电信号;防串扰隔离结构用于导出干扰电信号。如此,通过将防串扰隔离结构设置在量子点探测结构的至少一侧,能够导出量子点探测结构中的干扰电信号,避免其传输至相邻的量子点探测结构进行干扰,进而降低了红外成像仪的噪声,提升了信噪比,利于提升红外成像质量。
技术研发人员:刘雁飞,谭伊玫
受保护的技术使用者:中芯热成科技(北京)有限责任公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/28
技术研发人员:刘雁飞,谭伊玫
技术所有人:中芯热成科技(北京)有限责任公司
备 注:该技术已申请专利,仅供学习研究,如用于商业用途,请联系技术所有人。
声 明 :此信息收集于网络,如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们,我们会在第一时间删除
