一种半导体基板清洁装置及方法与流程

1.一种半导体基板清洁装置，包括设置在底板（1）上的输送机（10）和吸盘机械手（11），且输送机（10）上输送有半导体基板本体（13），其特征在于：所述底板（1）的顶部设置有用于对半导体基板本体（13）进行清洁的清洁机构（12）；

2.根据权利要求1所述的一种半导体基板清洁装置，其特征在于：所述驱动机构（2）包括固定套设在转轴（1204）侧壁的齿轮（201），且移动块（1206）的顶部固定连接有第二导轨（202），所述第二导轨（202）上滑动连接有齿条（203），且齿条（203）的侧壁固定连接有l形设置的第一连接板（204），所述第一连接板（204）的下端固定连接有第二连接板（205），且第二连接板（205）的两端固定连接有第一推动板（206）和第二推动板（207），其中一个所述l形板（1203）的顶部设置有用于对第一连接板（204）进行限位的限位机构（5）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体基板清洁装置，其特征在于：所述限位机构（5）包括开设在l形板（1203）顶部的两个限位槽（501），两个所述限位槽（501）呈半球形且对称设置，且第一连接板（204）的顶部固定连接有两个对称设置的第一t形导杆（502），所述第一t形导杆（502）的侧壁套设有第一滑块（503），各个所述第一t形导杆（502）的侧壁套设有第一弹簧（504），且第一滑块（503）的底部固定连接有插销（505）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体基板清洁装置，其特征在于：所述推动机构（3）包括：

5.根据权利要求4所述的一种半导体基板清洁装置，其特征在于：在两个第三连接板（303）之间设置有伸缩机构（4）；所述伸缩机构（4）包括固定连接在其中一个第三连接板（303）侧壁的两个对称设置的第一套管（401），且第一套管（401）内插设有第一套杆（402），所述第一套杆（402）远离第一套管（401）的一端与另一个第三连接板（303）的侧壁固定，且各个第一套管（401）的侧壁套设有第二弹簧（403）。

6.根据权利要求1所述的一种半导体基板清洁装置，其特征在于：所述安装板（1208）的顶部设置有两个对称设置的调节机构（6），且调节机构（6）用于对吸收管（1213）的吸气宽度进行调节，各个所述调节机构（6）包括封板（602），且封板（602）的顶部开设有两个对称设置的避让槽（603），各个所述封板（602）通过复位机构（7）与安装板（1208）的侧壁连接，且各个第一移动板（1217）的侧壁固定连接有两个对称设置的挡板（601）。

7.根据权利要求6所述的一种半导体基板清洁装置，其特征在于：所述复位机构（7）包括固定连接在封板（602）底部的l形块（703），且l形块（703）的侧壁固定连接有两个对称设置的第二t形导杆（702），所述第二t形导杆（702）的侧壁套设有第二滑块（701），且第二滑块（701）与安装板（1208）的侧壁固定，各个所述第二t形导杆（702）的侧壁套设有第三弹簧（704）。

8.根据权利要求1所述的一种半导体基板清洁装置，其特征在于：所述第一移动机构（14）包括固定连接在固定框（1202）底部的两个对称设置的固定板（1401），且两个固定板（1401）之间固定连接有第一导向杆（1402），所述第一移动板（1217）套设在第一导向杆（1402）的侧壁，且两个固定板（1401）之间转动连接有双头丝杆（1403），所述第一移动板（1217）与双头丝杆（1403）的侧壁螺纹连接，且其中一个固定板（1401）的侧壁固定连接有第一电机（1404）。

9.根据权利要求1所述的一种半导体基板清洁装置，其特征在于：所述升降机构（9）包括固定连接在各个移动块（1206）侧壁的两个对称设置的第一连接块（901），且各个第一连接块（901）的顶部固定连接有第二套杆（902），所述第二套杆（902）的侧壁套设有第二套管（903），且第二套管（903）的上端与固定框（1202）的底部固定，其中一个所述移动块（1206）的侧壁固定连接有第二连接块（906），且第二连接块（906）的底部固定连接有第二电机（904），所述第二电机（904）的输出端固定连接有第一螺纹杆（908），且第一螺纹杆（908）的侧壁螺纹连接有螺纹管（907），所述螺纹管（907）的上端固定连接有第三连接块（905），且第三连接块（905）与固定框（1202）的侧壁固定，所述安装板（1208）的侧壁固定连接有距离传感器（910），且距离传感器（910）与第二电机（904）电性连接。

10.根据权利要求1所述的一种半导体基板清洁装置，其特征在于：所述第二移动机构（8）包括固定连接在两个移动块（1206）相对侧壁的第二导向杆（802），且第二移动板（1207）套设在第二导向杆（802）的侧壁，两个所述移动块（1206）相对的侧壁转动连接有第二螺纹杆（803），且第二移动板（1207）与第二螺纹杆（803）螺纹连接，其中一个所述移动块（1206）的侧壁固定连接有第三电机（804），且第三电机（804）的输出端与第二螺纹杆（803）的一端固定。

11.一种半导体基板清洁方法，利用权利要求1-10任一所述的半导体基板清洁装置，其特征在于：包括以下步骤：