一种半导体基板清洁装置及方法与流程

本发明涉及清洁装置，具体为一种半导体基板清洁装置及方法。

背景技术：

1、半导体基板是指用于生长和制作半导体器件的基础材料，是半导体行业中非常重要的组件之一，它承载了整个电子产品的关键功能，是制造半导体芯片和其他电子元件的支撑平台，在生产传输中容易受到污染，从而需要使用清洁装置对其进行清洁操作，用于去除基板上的粉尘和颗粒等杂质。

2、然而，现有的半导体基板清洁装置及方法在使用时，清洁不完全，清洁的效率较低、效果较差，并且，不便于对其进行自动翻面处理，从而不便于对半导体基板进行全角度的清洁，也会影响清洁的效率和效果。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种半导体基板清洁装置及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体基板清洁装置，包括设置在底板上的输送机和吸盘机械手，且输送机上输送有半导体基板本体，所述底板的顶部设置有用于对半导体基板本体进行清洁的清洁机构；

3、所述清洁机构包括固定连接在底板顶部的多个对称设置的支撑板，且支撑板的上端固定连接有固定框，所述固定框的顶部通过第一移动机构连接有两个对称设置的第一移动板，且各个第一移动板的顶部固定连接有l形板，各个所述l形板的侧壁通过转轴转动连接有橡胶板，且固定框的底部通过升降机构连接有两个对称设置的移动块，两个所述移动块之间通过第二移动机构连接有第二移动板，且第二移动板的顶部固定连接有安装板，所述安装板的顶部固定连接有第一导轨，且第一导轨上滑动连接有两个对称设置的u形板，各个所述u形板的顶部固定连接有多个阵列设置的刷毛，且安装板的顶部固定连接有固定管，所述固定管的顶部固定连接有多个阵列设置的吸收管，且第二移动板的侧壁固定连接有抽风机，所述抽风机的出口固定连接有收集管，且抽风机的进口和固定管之间固定连接有连接管，所述橡胶板的翻转通过驱动机构进行驱动，且u形板的移动通过推动机构进行推动。

4、优选的，所述驱动机构包括固定套设在转轴侧壁的齿轮，且移动块的顶部固定连接有第二导轨，所述第二导轨上滑动连接有齿条，且齿条的侧壁固定连接有l形设置的第一连接板，所述第一连接板的下端固定连接有第二连接板，且第二连接板的两端固定连接有第一推动板和第二推动板，其中一个所述l形板的顶部设置有用于对第一连接板进行限位的限位机构。

5、优选的，所述限位机构包括开设在l形板顶部的两个限位槽，两个所述限位槽呈半球形且对称设置，且第一连接板的顶部固定连接有两个对称设置的第一t形导杆，所述第一t形导杆的侧壁套设有第一滑块，各个所述第一t形导杆的侧壁套设有第一弹簧，且第一滑块的底部固定连接有插销。

6、优选的，所述推动机构包括：

7、第三连接板，固定连接在每个u形板侧壁；

8、u形架，设置于两个第三连接板之间，使所述第三连接板能够在u形架的两侧滑动并形成两个滑动面，所述u形架的两端与两个移动块的底部固定；

9、凸起部，固定设置于u形架的滑动面上，使所述第三连接板能够沿凸起部的边沿滑动；所述凸起部设置有多个且呈等间距排布。

10、优选的，在两个第三连接板之间设置有伸缩机构；所述伸缩机构包括固定连接在其中一个第三连接板侧壁的两个对称设置的第一套管，且第一套管内插设有第一套杆，所述第一套杆远离第一套管的一端与另一个第三连接板的侧壁固定，且各个第一套管的侧壁套设有第二弹簧。

11、优选的，所述安装板的顶部设置有两个对称设置的调节机构，且调节机构用于对吸收管的吸气宽度进行调节，各个所述调节机构包括封板，且封板的顶部开设有两个对称设置的避让槽，各个所述封板通过复位机构与安装板的侧壁连接，且各个第一移动板的侧壁固定连接有两个对称设置的挡板。

12、优选的，所述复位机构包括固定连接在封板底部的l形块，且l形块的侧壁固定连接有两个对称设置的第二t形导杆，所述第二t形导杆的侧壁套设有第二滑块，且第二滑块与安装板的侧壁固定，各个所述第二t形导杆的侧壁套设有第三弹簧。

13、优选的，所述第一移动机构包括固定连接在固定框底部的两个对称设置的固定板，且两个固定板之间固定连接有第一导向杆，所述第一移动板套设在第一导向杆的侧壁，且两个固定板之间转动连接有双头丝杆，所述第一移动板与双头丝杆的侧壁螺纹连接，且其中一个固定板的侧壁固定连接有第一电机。

14、优选的，所述升降机构包括固定连接在各个移动块侧壁的两个对称设置的第一连接块，且各个第一连接块的顶部固定连接有第二套杆，所述第二套杆的侧壁套设有第二套管，且第二套管的上端与固定框的底部固定，其中一个所述移动块的侧壁固定连接有第二连接块，且第二连接块的底部固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有第一螺纹杆，且第一螺纹杆的侧壁螺纹连接有螺纹管，所述螺纹管的上端固定连接有第三连接块，且第三连接块与固定框的侧壁固定，所述安装板的侧壁固定连接有距离传感器，且距离传感器与第二电机电性连接。

15、优选的，所述第二移动机构包括固定连接在两个移动块相对侧壁的第二导向杆，且第二移动板套设在第二导向杆的侧壁，两个所述移动块相对的侧壁转动连接有第二螺纹杆，且第二移动板与第二螺纹杆螺纹连接，其中一个所述移动块的侧壁固定连接有第三电机，且第三电机的输出端与第二螺纹杆的一端固定。

16、一种半导体基板清洁方法，利用上述所述的半导体基板清洁装置，包括以下步骤：

17、s1：当需要对半导体基板本体进行清洁时，通过吸盘机械手将其吸附至两个橡胶板之间，接着，启动第一电机，第一电机的转动带动双头丝杆的转动，从而带动两个第一移动板相互靠近移动，从而通过l形板带动两个橡胶板相互靠近移动并与半导体基板本体相抵，实现对半导体基板本体的夹持操作；

18、s2：启动第三电机，第三电机的转动带动第二螺纹杆的转动，从而带动第二移动板进行移动，第二移动板移动时带动安装板进行移动，进而带动u形板和刷毛进行移动，从而能够对半导体基板本体的下表面进行清扫；

19、s3：当第二移动板进行移动时，带动第三连接板进行同步移动，当第三连接板与凸起部的侧壁相抵时，推动两个第三连接板相互远离移动，同时，第二弹簧被拉伸，当第三连接板越过凸起部时，两个第三连接板能够在第二弹簧的作用下相互靠近移动，如此往复，即可使得两个第三连接板往复移动，并带动两个u形板沿着第一导轨进行移动，从而使得刷毛对半导体基板本体的清洁效率更高、效果更好；

20、s4：在清洁时，启动抽风机，通过吸收管对半导体基板本体清扫后的杂质进行吸收，并通过固定管和橡胶板进入抽风机后经收集管排出进行统一收集，使得对半导体基板本体的清洁效率更高、效果更好，并且，在对半导体基板本体进行夹紧限位时，当第一移动板进行移动时会带动挡板进行同步移动，从而推动封板进行移动，同时，第三弹簧被压缩，封板进行移动时，能够对两侧的部分吸收管进行封堵密封，使得抽气吸尘的宽度与半导体基板本体的宽度相适应，从而能够根据半导体基板本体的尺寸对抽气吸尘的宽度进行自动调节，保证吸尘清洁的效果同时，使用更加方便快捷；

21、s5：待半导体基板本体的一个面清洁完成后，当第二移动板与第二推动板相抵时，通过第二连接板和第一连接板带动齿条沿着第二导轨进行移动，从而推动齿轮和转轴进行转动，进而带动橡胶板和半导体基板本体进行转动，并使得半导体基板本体翻转180度，并且，当第一连接板进行移动时，带动插销进行同步移动，使得插销从限位槽内滑出后在l形板上滑动，同时，第一弹簧被压缩，待半导体基板本体翻转180度后，在第一弹簧的作用下插入另一个限位槽中，从而能够对第一连接板和齿条进行限位，进而对转轴和橡胶板进行限位，避免随意转动，更加稳定可靠；

22、s6：接着，通过第二移动机构带动第二移动板向靠近第二电机的方向移动复位，从而能够对半导体基板本体的另一个面进行清洁，待清洁完成后，当第二移动板与第一推动板相抵时，同理，能够推动橡胶板和半导体基板本体再次翻转180度复位，同时，在限位机构的作用下进行限位，如此往复，即可在清洁时，对半导体基板本体进行自动翻面操作，完成全角度清洁，使用更加方便快捷，并提高清洁的效率和效果。

23、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

24、该种半导体基板清洁装置及方法，通过设置清洁机构等，当需要对半导体基板本体进行清洁时，通过吸盘机械手将其吸附至两个橡胶板之间，接着，启动第一电机，第一电机的转动带动双头丝杆的转动，从而带动两个第一移动板相互靠近移动，从而通过l形板带动两个橡胶板相互靠近移动并与半导体基板本体相抵，实现对半导体基板本体的夹持操作，接着，启动第三电机，第三电机的转动带动第二螺纹杆的转动，从而带动第二移动板进行移动，第二移动板移动时带动安装板进行移动，进而带动u形板和刷毛进行移动，从而能够对半导体基板本体的下表面进行清扫，与此同时，当第二移动板进行移动时，带动第三连接板进行同步移动，当第三连接板与凸起部的侧壁相抵时，推动两个第三连接板相互远离移动，同时，第二弹簧被拉伸，当第三连接板越过凸起部时，两个第三连接板能够在第二弹簧的作用下相互靠近移动，如此往复，即可使得两个第三连接板往复移动，并带动两个u形板沿着第一导轨进行移动，从而使得刷毛对半导体基板本体的清洁效率更高、效果更好，并且，在清洁时，启动抽风机，通过吸收管对半导体基板本体清扫后的杂质进行吸收，并通过固定管和橡胶板进入抽风机后经收集管排出进行统一收集，使得对半导体基板本体的清洁效率更高、效果更好，并且，在对半导体基板本体进行夹紧限位时，当第一移动板进行移动时会带动挡板进行同步移动，从而推动封板进行移动，同时，第三弹簧被压缩，封板进行移动时，能够对两侧的部分吸收管进行封堵密封，使得抽气吸尘的宽度与半导体基板本体的宽度相适应，从而能够根据半导体基板本体的尺寸对抽气吸尘的宽度进行自动调节，保证吸尘清洁的效果同时，使用更加方便快捷。

25、该种半导体基板清洁装置及方法，通过设置推动机构等，待半导体基板本体的一个面清洁完成后，当第二移动板与第二推动板相抵时，通过第二连接板和第一连接板带动齿条沿着第二导轨进行移动，从而推动齿轮和转轴进行转动，进而带动橡胶板和半导体基板本体进行转动，并使得半导体基板本体翻转180度，并且，当第一连接板进行移动时，带动插销进行同步移动，使得插销从限位槽内滑出后在l形板上滑动，同时，第一弹簧被压缩，待半导体基板本体翻转180度后，在第一弹簧的作用下插入另一个限位槽中，从而能够对第一连接板和齿条进行限位，进而对转轴和橡胶板进行限位，避免随意转动，更加稳定可靠，接着，通过第二移动机构带动第二移动板向靠近第二电机的方向移动复位，从而能够对半导体基板本体的另一个面进行清洁，待清洁完成后，当第二移动板与第一推动板相抵时，同理，能够推动橡胶板和半导体基板本体再次翻转180度复位，同时，在限位机构的作用下进行限位，如此往复，即可在清洁时，对半导体基板本体进行自动翻面操作，完成全角度清洁，使用更加方便快捷，并提高清洁的效率和效果。