多运行循环处理过程的分析的制作方法

本申请案涉及用于分析与处理过程相关联的传感器数据的诊断方法；更具体来说，本申请案涉及用于分析与多运行循环处理过程相关联的传感器数据的诊断方法，多运行循环处理过程包括循环(cyclic)及/或循环的(looped)操作。

背景技术：

1、可通过使用制造设备来执行一种或多种制造处理来生产产品。例如，半导体制造设备可用于通过半导体制造处理来生产基板。要被生产的产品具有适合目标应用的特定性质。了解和控制制造腔室内的特性有助于产品的一致性生产。

技术实现思路

1、以下是本申请案的简化概述，以提供对本申请案的一些方面的基本理解。本
技术实现要素：
并不是对本申请案内容的广泛概述。本发明内容既不旨在识别本申请案的关键或必要要素，也不旨在界定本申请案的特定实施例的任何范围或权利要求的任何范围。本发明内容唯一目的是以简化形式呈现本申请案的一些概念，作为稍后呈现的实施方式的前奏。

2、本申请案的方面中，一种方法包括：接收与基板处理过程相关联的时间轨迹传感器数据。基板处理过程包括两组或更多组处理条件。第一组处理条件和第二组处理条件均包括重复执行的一个或更多个操作。方法进一步包括：将与第一组处理条件相关联的时间轨迹传感器数据的第一部分分离成第一多个循环数据。第一多个循环数据中的每一者与重复执行的一个或更多个操作相关联。方法进一步包括：将与第二组处理条件相关联的时间轨迹传感器数据的第二部分分离成第二多个循环数据。第二多个中的每一者与重复执行的一个或更多个操作相关联。方法进一步包括以下步骤：处理第一多个循环数据和第二多个循环数据以生成汇总数据。方法进一步包括：向用户提供警报。警报是基于汇总数据。

3、在本申请案的另一方面中，一种系统包括存储器和耦合到存储器的处理装置。处理装置经配置成：接收与基板处理过程相关联的时间轨迹传感器数据。基板处理程序包括两组或更多组处理条件。第一组处理条件和第二组处理条件均包括重复执行的一个或更多个操作。处理装置进一步经配置成：将与第一组处理条件相关联的时间轨迹数据的第一部分分离成第一多个循环数据。第一多个循环数据中的每一者与重复执行的一个或更多个操作相关联。处理设备进一步经配置成：为将与第二组处理条件相关联的时间轨迹传感器数据的第二部分分离成第二组循环数据。第二多个中的每一者与重复执行的一个或更多个操作相关联。处理装置进一步经配置成：处理第一多个循环数据和第二多个循环数据以生成汇总数据。处理装置进一步经配置成：基于汇总数据向用户提供警报。

4、在本申请案的另一方面中，一种非暂时性机器可读取存储媒体存储指令。当执行指令时，指令使得处理装置执行操作。这些操作包括：接收与基板处理过程相关联的时间轨迹传感器数据。基板处理过程包括两组或更多组处理条件。第一组处理条件和第二组处理条件均包括重复执行的一个或更多个操作。操作进一步包括：将对应于第一组处理条件的时间轨迹传感器数据的第一部分分离成第一多个循环数据。第一多个循环数据中的每一者与重复执行的一个或更多个操作相关联。操作进一步包括：将对应于第二组处理条件的时间轨迹传感器数据的第二部分分离成第二多个循环数据。第二多个中的每一者与重复执行的一个或更多个操作相关联。操作进一步包括：处理第一多个循环数据和第二多个循环数据以生成汇总数据。方法进一步包括：向用户提供警报。警报是基于汇总数据。

5、附图简单说明

6、通过示例而非限制的方式在附图中示出本申请案。

7、图1是示出根据一些实施例的示例性的系统架构的方框图。

8、图2描绘根据一些实施例的用于基于汇总数据来生成警报的示例性的数据流200。

9、图3描绘根据一些实施例的用于将轨迹数据分成瞬态部分和稳态部分的操作的可视化。

10、图4描绘根据一些实施例的用于警告用户一个或更多个处理过程的性能质量的示例性的仪表板。

11、图5描绘根据一些实施例的用于基于循环处理过程生成警报的方法的流程图。

12、图6是示出根据一些实施例的计算机系统的方框图。

1.一种方法，包括：

2.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括：

3.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括：执行与所述第一多个循环数据相关联的循环，其中执行与所述第一多个循环数据相关联的所述循环包括：

4.如权利要求3所述的方法，其中所述第一材料包括氧化硅，且其中所述第二材料包括氮化硅。

5.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括：

6.如权利要求1所述的方法，其中所述汇总数据报括一个或更多个统计度量。

7.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括：提供呈现gui元素的图形用户界面(gui)，所述gui元素包括：

8.如权利要求1所述的方法，其中所述基板处理过程是产生三维nand存储器器件。

9.如权利要求1所述的方法，其中将与所述第一组处理条件相关联的所述时间轨迹传感器数据的所述第一部分分离成所述第一多个循环数据包括：基于与两个或更多个操作相关联的传感器数据值，来识别循环的两个或更多个操作。

10.一种系统，包括存储器和耦合到所述存储器的处理装置，其中所述处理装置经配置成执行：

11.如权利要求10所述的系统，其中所述处理装置进一步经配置成：识别所述时间轨迹传感器数据的至少一个稳态部分，其中所述汇总数据的至少一部分是基于所述稳态部分。

12.如权利要求10所述的系统，其中与所述第一多个循环数据相关联的循环包括：

13.如权利要求10所述的系统，其中包括所述多个循环数据的重复操作的总数目至少为50。

14.如权利要求10所述的系统，其中所述汇总数据报括一个或更多个统计度量。

15.如权利要求10所述的系统，所述系统进一步包括：提供呈现gui元素的图形用户界面(gui)，所述gui元素包括：

16.如权利要求10所述的系统，其中所述基板处理过程是用于产生三维nand存储器器件。

17.如权利要求10所述的系统，其中将与所述第一组处理条件相关联的时间轨迹传感器数据分离成第一多个循环数据包括：基于与循环的第一操作和第二操作相关联的传感器数据值，识别所述时间轨迹传感器数据的第一部分和第二部分分别地与所述第一操作和所述第二操作相关联。

18.一种存储指令的非暂时性的机器可读取存储媒体，当执行所述指令时，所述指令使处理装置执行操作，所述操作包括：

19.如权利要求18所述的非暂时性机器可读取存储媒体，其中由所述处理装置执行的所述操作进一步包括：识别所述时间轨迹传感器数据的至少一个稳态部分，其中所述汇总数据的至少一部分是基于所述稳态部分。

20.如权利要求18所述的非暂时性机器可读取存储媒体，其中所述汇总数据报括一个或更多个统计度量。