一种纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层及其制备方法与流程

1.一种纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤s2中转速为10~15 rpm。

3.根据权利要求1所述的一种纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤s3中靶材为等摩尔比的tinbw合金，tinbw合金纯度为99.5%以上。

4.根据权利要求1所述的一种纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤s3中基体固定台与靶枪的距离为10~15cm。

5.根据权利要求1所述的一种纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤s3中一定升温速率为5℃/min~ 15℃/min，一定温度为750℃~1000 ℃。

6.根据权利要求1所述的一种纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤s4中氩气流速为10~15 sccm；氮气流速：氩气流速=1:5~1:4。

7.根据权利要求1所述的一种纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤s5中直流偏压为85~120v，直流电压的功率为109~127w，加载功率密度为0.6~0.7w/cm2。

8.根据权利要求1所述的一种纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层的制备方法，其特征在于，所述步骤s5中磁控溅射的沉积速率为5~25 nm/min。

9.如权利要求1~8所述的方法制备得到的纳米晶强化的耐高温磨损氮化物涂层，其特征在于，涂层为单层，涂层包括ti、nb、w、n元素，涂层中包含fcc类tin结构立方纳米晶颗粒。

10.根据权利要求9所述的耐高温磨损氮化物涂层，其特征在于，所述耐高温磨损氮化物涂层中ti的质量分数为0.09~0.15、nb的质量分数为0.16~0.25、w的质量分数为0.44~0.56，其余为n元素。