一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法与流程

1.一种一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，在步骤2中，采用磁控溅射方式进行镀膜，形成的膜层包括远离石英片方向依次形成的铬膜层和金膜层。

3.根据权利要求1所述的一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，所述形成带有加速度计结构图案的金属硬掩模的石英片，其具体实现过程，包括以下步骤：

4.根据权利要求3所述的一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，金刻蚀液采用碘化钾和碘离子化合物组成的溶液，采用金刻蚀液的刻蚀时长为30 s，铬刻蚀液采用硝酸铈铵混合溶液，刻蚀时长为60 s。

5.根据权利要求3或4所述的一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，在刻蚀过程中，采用晶舟装载石英片并静止防止在22 ℃的金刻蚀液和铬刻蚀液中，以对未被光刻胶覆盖区域的镀膜进行去除，并且根据刻蚀液浓度大小设置间隔时间，每隔该间隔时间，上下拉动石英片，刻蚀后，将晾干后的石英片放入n-甲基吡咯烷酮溶液浸泡并维持第一预设时长，然后再放入ipa溶液浸泡并维持第二预设时长，以去掉表面固化正性光刻胶，然后，再将石英片放入流动的di水中进行清洗，

6.根据权利要求1所述的一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，在步骤4中，第一种有机刻蚀溶液为40%浓度的hf、45%浓度的nh4f、30%浓度kf的混合溶液，按质量比，三者的溶液配比为 1：2：1，并在23 ℃恒定温度下进行刻蚀2 h，每隔半小时，将石英片上下提拉一分钟，然后，放入低浓度koh溶液中进行浸泡。

7.根据权利要求1所述的一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，在步骤6中，第二种有机刻蚀溶液为boe、45%浓度的nh4f组成的混合溶液，按质量比，溶液的配比为1:1。

8.根据权利要求1所述的一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，制作电极的具体实现过程，包括以下步骤：

9.根据权利要求8所述的一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，悬臂梁包括6个电极，分别记为第一电极、第二电极、第三电极、第四电极、第五电极和第六电极，第一电极、第三电极、第五电极的极性相同，第二电极、第四电极和第六电极的极性相同，第一电极和第二电极的极性相反，第一电极、第二电极、第三电极和第四电极的长度为第五电极、第六电极的一半，且均位于悬臂梁的上侧，第五电极和第六电极位于悬臂梁的下侧，第一电极和第三电极电性连接，第三电极和第四电极电性连接，第四电极分别与第二电极、第五电极电性连接，第二电极和第六电极电性连接。

10.根据权利要求8所述的一体式的谐振式石英加速度计的制造方法，其特征在于，在步骤1中，选用厚度为120 μm的石英片，在步骤2中，金膜层的厚度为1000 a，铬膜层的厚度为400 a，在步骤81中，金膜层的厚度为2000 a，铬膜层的厚度为500 a。