可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔及其使用方法

1.一种可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔，其特征在于，包括u型管反应腔本体、粉末进料装置、粉末出料装置、前驱体输送系统、流化气输送系统、尾气处理及真空系统、加热和电气控制系统；其中：

2.根据权利要求1所述的可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔，其特征在于，所述粉末流化管道的出气端口与粉末出料装置、尾气处理及真空系统的连接方式有下列两种方式之一或者组合：

3.根据权利要求2所述的可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔，其特征在于，所述振动电机的振动频率为20～60hz。

4.根据权利要求2所述的可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔，其特征在于，所述承载网为可拆卸式，孔隙大小为10～30微米。

5.根据权利要求2所述的可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔，其特征在于，所述前驱体输送系统，用于前驱体脉冲的输送，其中前驱体脉冲包括：

6.根据权利要求2所述的可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔，其特征在于，所述流化气输送系统中，流化气体为氮气，气体流量为100sccm～5000sccm。

7.根据权利要求2所述的可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔，其特征在于，所述加热和电气控制系统中，粉末流化管道的加热温度为100℃～300℃。

8.根据权利要求2所述的可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔，其特征在于，所述粉末流化管道的出气端口与粉末出料装置、尾气处理及真空系统的连接方式中；

9.如权利要求2-8之一所述可进行半连续型粉末包覆的原子层沉积反应腔的使用方法，其特征在于，具体步骤为：