用于透明基板平台的标定方法、透明基板翘曲检测方法与流程

1.一种用于透明基板平台的标定方法，其特征在于，用于在进行透明基板曲翘度检测前对承载透明基板的平台表面的平台基准面进行标定，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于透明基板平台的标定方法，其特征在于，v为8，8个所述旁测量点中，其中四个所述旁测量点分别以所述中心测量点中心对称分布在以所述中心测量点为原点的坐标系的x轴和y轴上，另外四个所述旁测量点分别位于以所述中心测量点为原点的坐标系的四个象限中。

3.根据权利要求2所述的一种用于透明基板平台的标定方法，其特征在于，依次将8个所述旁测量点连接所形成的形状为矩形或者正方形。

4.根据权利要求2或3所述的一种用于透明基板平台的标定方法，其特征在于，所述旁测量点到所述中心测量点的距离范围为(0,1]，距离单位为毫米。

5.一种透明基板翘曲检测方法，其特征在于，包括：

6.根据权利要求5所述的一种透明基板翘曲检测方法，其特征在于，位于所述透明基板4个角区域的测量中心点的获取方式为：

7.根据权利要求5所述的一种透明基板翘曲检测方法，其特征在于，所述第一产品实际高度值的具体公式为：

8.根据权利要求5所述的一种透明基板翘曲检测方法，其特征在于，q7中，针对某一个角区域的测量中心点，所述约束条件为：

9.根据权利要求5所述的一种透明基板翘曲检测方法，其特征在于，q8中，所述预设算法为：

10.根据权利要求5所述的一种透明基板翘曲检测方法，其特征在于，当所述第一边和第三边为所述透明基板的长边时，若位于所述第一边的三个测量中心点的检测高度值和位于所述第三边的三个测量中心点的检测高度值均大于位于第二边和第四边的中心位置的两个测量中心点，则判定所述透明基板为前后笑脸；若位于所述第一边的三个测量中心点的检测高度值和位于所述第三边的三个测量中心点的检测高度值均小于位于第二边和第四边的中心位置的两个测量中心点，则判定所述透明基板为前后哭脸；当所述第一边和第三边为所述透明基板的短边时，若位于所述第一边的三个测量中心点的检测高度值和位于所述第三边的三个测量中心点的检测高度值均大于位于第二边和第四边的中心位置的两个测量中心点，则判定所述透明基板为左右笑脸；若位于所述第一边的三个测量中心点的检测高度值和位于所述第三边的三个测量中心点的检测高度值均小于位于第二边和第四边的中心位置的两个测量中心点，则判定所述透明基板为左右哭脸。