一种碳掺杂砷化镓多晶及其制备方法、制备碳掺杂砷化镓多晶的设备与流程

1.一种碳掺杂砷化镓多晶，其特征在于，其碳浓度为(0.2～2)×1015atoms/cm3；

2.根据权利要求1所述的碳掺杂砷化镓多晶，其特征在于，所述碳掺杂砷化镓多晶中的其余杂质之和小于100ppb。

3.根据权利要求1或2所述的碳掺杂砷化镓多晶，其特征在于，所述碳掺杂砷化镓多晶的载流子浓度为(1～60)×106cm3；

4.一种制备权利要求1～3任一项所述碳掺杂砷化镓多晶的设备，其特征在于，包括多晶合成炉和设置在多晶合成炉内部的阶梯状石英管；

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述空心圆柱石英坩埚的外径为76～150mm，内径为10～20mm；

6.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述锥部镂空的石英坩埚的直径为所述空心圆柱石英坩埚外径的1.2～1.5倍。

7.一种碳掺杂砷化镓多晶的制备方法，其特征在于，采用权利要求4～6任一项所述的设备进行，具有以下步骤：

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述步骤4)中垂直梯度冷凝法的具体条件为：

9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中的加热的温度为1240℃～1250℃；

10.一种砷化镓单晶，其特征在于，由权利要求1～3任一项所述的碳掺杂砷化镓多晶或权利要求7～9任一项所述的制备方法制备得到的碳掺杂砷化镓多晶制备得到。