一种光学关键尺寸测量方法、装置、存储介质及设备与流程

1.一种光学关键尺寸测量方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述傅里叶分解矩阵中中心阶的能量，确定筛选范围的步骤，具体包括：

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述比例在1/1000与1/100以内。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，当所述待测微纳结构的光栅区域为非矩形面型时，所述方法还包括：

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述在所述物理模型中光栅区域的周期性分布方向上，对所述光栅区域的介电常数进行傅里叶展开，得到傅里叶分解矩阵；根据所述傅里叶分解矩阵中中心阶的能量，确定筛选范围的步骤，具体包括：

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述傅里叶分解矩阵中各阶次的能量，确定能量落入所述筛选范围的阶次，并根据筛选出的各阶次，确定目标阶次分布矩阵的步骤，具体包括：

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述根据各层的目标阶次，确定所述物理模型的目标阶次分布矩阵的步骤，具体包括：

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述各阶次对应的分量以及所述物理模型中的边界条件，通过严格耦合波分析，确定所述待测微纳结构的光学关键尺寸的步骤，具体包括：

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述通过严格耦合波分析，确定所述待测微纳结构的光学关键尺寸的步骤，具体包括：

12.一种光学关键尺寸测量装置，其特征在于，包括：

13.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述存储介质有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述权利要求1~11任一项所述的方法。

14.一种电子设备，其特征在于，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现上述权利要求1~11任一项所述的方法。