一种立式扩散炉气体循环装置的制作方法

本技术涉及立式扩散炉，具体为一种立式扩散炉气体循环装置。

背景技术：

1、扩散炉是用于在大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的设备。它有两种主要类型，分别是立式扩散炉和卧式扩散炉。立式扩散炉通常采用垂直排列的结构，使得内部加热区域能够充分利用空间，提高生产效率。在使用立式扩散炉后，为了确保后续生产的质量和稳定性，需要对内部空气进行快速净化处理。这是通过安装风机来实现的，风机能够将室内空气循环并排除其中的杂质和残留气体，保持清洁的工作环境。

2、公开号为cn217613596u，中国专利公开的一种立式扩散炉炉内空气循环装置，它包括炉体，所述炉体的外壁固定连接有净化箱，所述炉体的内部固定连接有固定管，所述固定管的内壁固定连接有隔块，所述固定管的外壁均匀开设有多个进气孔，所述固定管的外壁固定互通有第一进气管与第二进气管，本实用新型通过设置圆筒、弹簧、缓冲杆与回型块，降低气流对过滤芯的破坏，提高过滤芯的过滤效果，转动矩形块，解除对承托板的位置固定，过滤芯从长孔内滑出，方便对过滤芯进行更换。

3、针对上述中的相关技术，该装置存在一些不足，在实际使用过程中，只存在一条气体循环通道，那么在更换过滤网的时候，整个装置必须处于停机状态，如果对过滤网不及时更换，过滤的过滤效果变差同时通过性变低，装置的整体过滤效果会大打折扣，其次在装置未完成气体循环作业需要对过滤网进行更换时，停机的操作，会降低立式扩散炉气体循环效率，使得只存在一条通道的循环装置，在使用的过程中非常的不稳定，因此，有必要提供一种立式扩散炉气体循环装置解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种立式扩散炉气体循环装置，以解决上述背景技术中存在的至少一个技术问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种立式扩散炉气体循环装置，其包括：

4、炉体，所述炉体的一侧固定安装有固定架，所述炉体通过固定架固定安装有过滤箱，所述炉体的一侧固定穿插安装有进气管，所述过滤箱的一侧固定穿插安装有对称分布的导管，两个所述导管上均设置有电子阀门，两个所述导管的一端固定安装有三通连接头，所述三通连接头的一端与进气管固定连接，所述三通连接头与进气管的内部相连通；

5、所述过滤箱的内部固定安装有t形隔板，所述t形隔板的一侧固定穿插安装有u形管，所述u形管上固定安装有汇集管，且汇集管与u形管的内部相连通，所述过滤箱顶部的一侧固定安装有风机，且风机的输入端贯穿过滤箱顶部的一侧并与过滤箱的内部相连通，所述过滤箱正面的一侧开设有对称分布的插槽，所述过滤箱通过插槽活动插接有过滤芯，两个所述插槽的正面均卡接有密封板。

6、优选的，所述过滤箱的正面位于插槽的一侧开设有滑道，所述滑道的内部固定安装有滑杆，所述滑杆的外壁上套设有限位块，且限位块与滑道滑动连接，所述滑杆的外壁上位于限位块的顶部与底部均套接有弹簧，所述限位块的正面固定安装有限位板。

7、优选的，所述汇集管通过其一端端口处安装的支撑架固定安装有风量传感器，所述过滤箱正面的上方固定安装有警报器，所述过滤箱正面的另一侧固定安装有控制器。

8、优选的，所述限位块的顶部开设有与滑杆相适配的滑孔，且限位块通过其顶部开设的滑孔与滑杆滑动连接。

9、优选的，所述t形隔板为一体成型结构。

10、优选的，所述t形隔板的外表面与过滤箱的内壁上均开设有与过滤芯相适配的卡槽。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

12、1.本实用新型通过炉体、过滤箱、风机、过滤芯、t形隔板、风量传感器、汇集管、u形管、电子阀门、三通连接头、导管、进气管、固定架、警报器、控制器和密封板的配合使用，位于汇集管端口处的风量传感器对汇集管的出风量进行监测，当出风量小于一定的值时，控制器会立即控制原本处于打开状态的电子阀门关闭，原本处于关闭状态的电子阀门打开，这样循环的气体就会更换一条通道，实现无缝衔接继续循环过滤，同时，控制器还会激活警报器发出警报，以提醒工作人员出现异常情况。当工作人员接收到警报信息后，他们可以直接从过滤箱的正面取出已使用的过滤芯，并完成过滤芯的更换。这种操作不需要停机，通过设立两条气体循环通道，确保了过滤芯的连续更换，同时保证了装置在使用过程中的过滤效果和稳定性。

13、2.本实用新型通过滑道、插槽、限位板、滑杆、限位块和弹簧的配合使用，确保过滤芯在炉体内部使用的稳定性，同时对于过滤芯的固定限位结构简单，操作方便，便于人们对过滤芯进行拆装更换。

1.一种立式扩散炉气体循环装置，其特征在于，其包括：

2.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉气体循环装置，其特征在于：所述过滤箱（2）的正面位于插槽（18）的一侧开设有滑道（17），所述滑道（17）的内部固定安装有滑杆（20），所述滑杆（20）的外壁上套设有限位块（21），且限位块（21）与滑道（17）滑动连接，所述滑杆（20）的外壁上位于限位块（21）的顶部与底部均套接有弹簧（22），所述限位块（21）的正面固定安装有限位板（19）。

3.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉气体循环装置，其特征在于：所述汇集管（7）通过其一端端口处安装的支撑架固定安装有风量传感器（6），所述过滤箱（2）正面的上方固定安装有警报器（14），所述过滤箱（2）正面的另一侧固定安装有控制器（15）。

4.根据权利要求2所述的一种立式扩散炉气体循环装置，其特征在于：所述限位块（21）的顶部开设有与滑杆（20）相适配的滑孔，且限位块（21）通过其顶部开设的滑孔与滑杆（20）滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉气体循环装置，其特征在于：所述t形隔板（5）为一体成型结构。

6.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉气体循环装置，其特征在于：所述t形隔板（5）的外表面与过滤箱（2）的内壁上均开设有与过滤芯（4）相适配的卡槽。