一种半导体设备精密零部件加工治具的制作方法

本技术涉及精密零部件加工治具领域，尤其涉及一种半导体设备精密零部件加工治具。

背景技术：

1、精密零部件加工治具是一种专门用于对精密零部件进行加工作业的专用设备。

2、公告号为cn218397003u的实用新型公开了一种半导体精密零部件加工治具，其技术方案要点为：包括装置本体、放置台、支撑板、稳定机构和活动机构，所述放置台位于装置本体上，所述支撑板设置在放置台上方，所述稳定机构设置在放置台上方，所述活动机构设置在支撑板上，所述滑块中心开设有螺孔，所述滑块通过中心螺孔与螺纹杆传动连接，该机构能够让装置进行工作时，保证装置的稳定和安全，同时能够适应不同尺寸和型号的零部件，提升了装置的实用性，所述第二电机位于连接柱上方，所述升降杆设置在连接柱下方，所述方形固定器位于升降杆下方且下方设有钻头，便于装置在进行精密零件加工时进行上下移动，提高了装置的实用性且提高了工作效率。

3、针对上述相关内容，发明人认为存在以下技术缺陷：使用上述半导体精密零部件加工治具时发现，在加工半导体设备精密零部件的过程中，为了提高加工半导体设备精密零部件加工的质量，需要使用人全程手扶加工半导体设备精密零部件的表面，通过手扶零部件表面来提高零部件与半导体精密零部件加工治具上的工作板之间的稳定性，但是长时间的手扶零件容易导致使用人手部劳累，劳累会导致使用人手扶零部件时手部发生抖动，导致零部件发生偏移，从而导致零部件在加工的过程中会出现加工误差，导致该加工好的零部件出现无法使用的情况。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是解决现有技术中存在长时间的手扶零件容易导致使用人手部劳累，劳累会导致使用人手扶零部件时手部发生抖动，导致零部件发生偏移，从而导致零部件在加工的过程中会出现加工误差，导致该加工好的零部件出现无法使用的缺点。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种半导体设备精密零部件加工治具，包括：加工治具本体，所述加工治具本体的上表面固定连接有工作板，所述工作板的上表面设有夹持装置，所述夹持装置包括两个固定板，两个所述固定板均与工作板固定连接，所述固定板的上表面两端均固定连接有连接杆，所述连接杆杆体呈l形，两个所述连接杆彼此靠近的一端固定连接有同一个连接板，所述连接板的上表面一端固定连接有螺纹块，两个所述螺纹块的内壁螺纹贯穿有同一个双向螺杆，所述双向螺杆的圆弧面螺纹连接有两个夹持板，两个所述夹持板的内壁滑动贯穿有限位杆。

3、上述部件所达到的效果为：将零部件放置在工作板上，即可通过加工治具本体对零部件表面进行加工，加工的过程中为了保证加工的质量，需要使用人全程手扶零部件表面，通过手扶零部件表面来提高零部件与工作板之间的稳定性，避免零部件在加工的过程中，零部件有发生抖动的情况出现，但是长时间的手扶零件容易导致使用人手部劳累，劳累会导致使用人手扶零部件时会发生偏移，导致零部件在加工过程中会出现加工误差，导致该加工好的零部件无法使用，将零部件放置在工作板上，转动双向螺杆，双向螺杆转动会带动两个夹持板在限位杆的作用下水平进行运动，继续转动夹持板，直至夹持板零部件发生抵接，从而能通过夹持板来对工作板上的零部件进行固定，通过固定零部件在进行加工的过程中，能有效避免因为使用人手部疲劳而发生抖动的情况出现，提高零部件加工时的稳定性。

4、优选地，两个所述夹持板彼此靠近的一侧均固定连接有辅助垫，所述辅助垫与夹持板的尺寸相适配。

5、上述部件所达到的效果为：使用夹持板对零部件进行夹持固定时，夹持板上安装的辅助垫能对夹持板表面进行保护，避免夹持板在双向螺杆的带动下对零部件进行夹持时，夹持板与零部件之间有发生挤压损伤的情况出现。

6、优选地，所述双向螺杆的其中一端固定连接有转盘，所述转盘的截面呈圆形。

7、上述部件所达到的效果为：需要转动双向螺杆时，可使用双向螺杆一端安装的转盘来对双向螺杆进行转动，转盘能提高使用人转动双向螺杆时的效率。

8、优选地，所述转盘的圆弧面开设有若干个辅助槽，若干个所述辅助槽均匀分布在转盘的圆弧面上。

9、上述部件所达到的效果为：使用转盘带动双向螺杆进行转动时，转盘上开设的辅助槽能增加使用人手部与转盘之间的摩擦力，避免使用人手部出汗在使用转盘时，手部与转盘之间出现打滑的情况发生。

10、优选地，所述加工治具本体的一侧设有辅助装置，所述辅助装置包括两个支撑块，两个所述支撑块均与加工治具本体滑动连接，所述支撑块呈l形，所述支撑块的内壁螺纹贯穿有两个转杆，两个所述转杆均与加工治具本体螺纹连接，所述支撑块的短臂端开设有连接孔，所述连接孔的内壁滑动贯穿有衔接杆，两个所述衔接杆的一端固定连接有同一个收纳仓，所述收纳仓的两侧均固定连接有把手。

11、上述部件所达到的效果为：通过将半导体设备的零部件放置在加工治具本体的工作板上，即可通过加工治具本体对零件进行加工，加工好后的零部件需要使用人逐个对其进行搬运存放，但是逐个对零部件进行搬运存放的效率较低，且逐个搬运零部件在行走的过程中使用人也较容易产生疲劳感，将加工好后的若干个零部件放置在收纳仓内，当收纳仓存放到一定数量后，通过向上拉动把手，来带动收纳仓进行向上运动，即可将衔接杆从支撑块上开设的连接孔内拉出，从而可对放置了零部件的收纳仓进行搬运，可实现对若干个零部件进行搬运存放的效果，也能很好地降低使用人逐个搬运存放零部件时产生的疲劳感。

12、优选地，所述衔接杆为钛合金杆。

13、上述部件所达到的效果为：钛合金材质的衔接杆其杆体表面较为坚硬，钛合金材质的衔接杆即使在长期地使用后，其杆体表面也较难发生形变，使用寿命也较长。

14、优选地，所述衔接杆远离收纳仓的一端固定连接有导向块，所述导向块呈锥形。

15、上述部件所达到的效果为：使用衔接杆与连接孔进行连接时，衔接杆上安装的导向块会减小衔接杆与连接孔连接所需的角度位置，从而能通过对连接所需的角度位置的减小来提高衔接杆与连接孔连接的效率。

16、与相关技术相比较，本实用新型提供的一种半导体设备精密零部件加工治具具有如下有益效果：

17、本实用新型提供一种半导体设备精密零部件加工治具，通过设置夹持装置，将零部件放置在工作板上后，使用人可通过使用夹持装置来对工作板上的零部件进行固定，通过对零部件的固定来避免零部件在加工的过程中发生偏移的情况出现，夹持装置能提高对零部件加工时的稳定性。

18、通过设置辅助装置达到了，将加工好后的若干个零部件放置在存储仓后，可通过存储仓来对零件进行集中统一搬运，辅助装置能提高使用人搬运零部件时的效率，还能降低使用人逐个搬运存放零部件时产生的疲劳感。

1.一种半导体设备精密零部件加工治具，其特征在于，包括：加工治具本体(1)，所述加工治具本体(1)的上表面固定连接有工作板(4)，所述工作板(4)的上表面设有夹持装置(2)，所述夹持装置(2)包括两个固定板(201)，两个所述固定板(201)均与工作板(4)固定连接，所述固定板(201)的上表面两端均固定连接有连接杆(202)，所述连接杆(202)杆体呈l形，两个所述连接杆(202)彼此靠近的一端固定连接有同一个连接板(203)，所述连接板(203)的上表面一端固定连接有螺纹块(204)，两个所述螺纹块(204)的内壁螺纹贯穿有同一个双向螺杆(205)，所述双向螺杆(205)的圆弧面螺纹连接有两个夹持板(206)，两个所述夹持板(206)的内壁滑动贯穿有限位杆(207)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备精密零部件加工治具，其特征在于，两个所述夹持板(206)彼此靠近的一侧均固定连接有辅助垫(208)，所述辅助垫(208)与夹持板(206)的尺寸相适配。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备精密零部件加工治具，其特征在于，所述双向螺杆(205)的其中一端固定连接有转盘(209)，所述转盘(209)的截面呈圆形。

4.根据权利要求3所述的一种半导体设备精密零部件加工治具，其特征在于，所述转盘(209)的圆弧面开设有若干个辅助槽(210)，若干个所述辅助槽(210)均匀分布在转盘(209)的圆弧面上。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备精密零部件加工治具，其特征在于，所述加工治具本体(1)的一侧设有辅助装置(3)，所述辅助装置(3)包括两个支撑块(31)，两个所述支撑块(31)均与加工治具本体(1)滑动连接，所述支撑块(31)呈l形，所述支撑块(31)的内壁螺纹贯穿有两个转杆(32)，两个所述转杆(32)均与加工治具本体(1)螺纹连接，所述支撑块(31)的短臂端开设有连接孔(33)，所述连接孔(33)的内壁滑动贯穿有衔接杆(34)，两个所述衔接杆(34)的一端固定连接有同一个收纳仓(35)，所述收纳仓(35)的两侧均固定连接有把手(36)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体设备精密零部件加工治具，其特征在于，所述衔接杆(34)为钛合金杆。

7.根据权利要求5所述的一种半导体设备精密零部件加工治具，其特征在于，所述衔接杆(34)远离收纳仓(35)的一端固定连接有导向块(37)，所述导向块(37)呈锥形。