一种多刺晶头的Mini-LED巨量转移装置及方法
技术特征：
1.一种多刺晶头的mini-led巨量转移装置，其特征在于，包括基板运输单元(2)、晶圆运输单元(3)和刺晶单元(4)，所述刺晶单元(4)、所述晶圆运输单元(3)和所述基板运输单元(2)从上至下依次设置；
2.根据权利要求1所述的多刺晶头的mini-led巨量转移装置，其特征在于，所述mini-led巨量转移装置还包括基座(10)和基架(11)，所述基座(10)的顶部设有安装槽(101)，所述基架(11)的两端安装于所述基座(10)的两侧；所述刺晶单元(4)安装于所述基架(11)；
3.根据权利要求2所述的多刺晶头的mini-led巨量转移装置，其特征在于，所述基板x轴向移动机构(20)包括第一驱动组件(201)和两条相互平行设置的第一滑轨(202)，所述第一驱动组件(201)设有能够沿x轴向往复移动的第一活动安装部(2011)；
4.根据权利要求3所述的多刺晶头的mini-led巨量转移装置，其特征在于，所述基板y轴向移动机构(21)包括第二驱动组件(211)、安装底板(212)和相互平行设置的两条第二滑轨(213)，所述第二驱动组件(211)设有能够沿y轴方向往复移动的第二活动安装部(2111)；
5.根据权利要求2所述的多刺晶头的mini-led巨量转移装置，其特征在于，所述晶圆运输单元(3)包括晶圆y轴向移动机构(30)、晶圆x轴向移动机构(31)和晶圆平台(32)；
6.根据权利要求5所述的多刺晶头的mini-led巨量转移装置，其特征在于，所述晶圆y轴向移动机构(30)包括第三活动安装部(301)和第四活动安装部(302)，所述第三活动安装部(301)和所述第四活动安装部(302)均能够沿y轴方向往复移动；
7.根据权利要求6所述的多刺晶头的mini-led巨量转移装置，其特征在于，所述晶圆x轴向移动机构(31)包括第五活动安装部(311)和第六活动安装部(312)，所述第五活动安装部(311)和所述第六活动安装部(312)分别位于不同的所述晶圆壁，所述第五活动安装部(311)和所述第六活动安装部(312)均能够沿x轴方向往复移动；
8.根据权利要求2所述的多刺晶头的mini-led巨量转移装置，其特征在于，所述刺晶头z轴向移动机构(40)沿z轴方向安装于所述基架(11)，所述刺晶头z轴向移动机构(40)包括第七活动安装部(401)，所述第七活动安装部(401)能够沿z轴向往复移动；
9.一种mini-led巨量转移方法，其特征在于，采用权利要求1-8任一项所述的多刺晶头的mini-led巨量转移装置，包括如下步骤：
技术总结
本发明公开了一种多刺晶头的Mini‑LED巨量转移装置及方法，涉及Mini‑LED晶圆巨量转移技术领域。本发明的Mini‑LED巨量转移装置，包括基板运输单元、晶圆运输单元和刺晶单元；基板运输单元用于运输基板，使基板可作X轴向和Y轴向运动；晶圆运输单元用于运输晶圆，使晶圆作X轴向和Y轴向运动；刺晶单元包括刺晶头Z轴向移动机构、刺晶头调距机构和多个刺晶头；刺晶头Z轴向移动机构用于调节刺晶头在Z轴向的位置，刺晶头调距机构用于调节相邻刺晶头的间距，刺晶头用于将晶圆上的Mini‑LED芯片刺到基板上。本发的Mini‑LED巨量转移装置可使基板和晶圆在持续运动下完成Mini‑LED芯片转移，并可由多个刺晶头同时作业，具有转移效率高、可避免高频启停和运输机构振动小等优点，可实现飞行刺晶。
技术研发人员：陈云,吕澎威,马莉,陈彦晖,罗翔远,侯茂祥,陈新
受保护的技术使用者：广东工业大学
技术研发日：
技术公布日：2024/11/28
技术研发人员：陈云,吕澎威,马莉,陈彦晖,罗翔远,侯茂祥,陈新
技术所有人：广东工业大学
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