一种制备半导体薄膜用冷凝管的制作方法

本申请涉及半导体薄膜，尤其是涉及一种制备半导体薄膜用冷凝管。

背景技术：

1、通过cvd工艺制备半导体薄膜时，首先需要对气体进行加热，等制备完成后需要将加热气体排出，在排除的过程中需要使气体通过冷凝管以对气体进行降温。通气管实现气体降温。然而现有的冷凝管通常为直线状的管路，对于气体的降温效果较差。

技术实现思路

1、为了提高气体的降温效果，本申请提供一种制备半导体薄膜用冷凝管。

2、本申请提供的一种制备半导体薄膜用冷凝管采用如下的技术方案：

3、一种制备半导体薄膜用冷凝管，包括管体，所述管体内设置有若干个第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和第二挡板沿管体的轴线方向呈交替设置，所述第一挡板和第二挡板为弧形板，所述第一挡板和第二挡板的弧形边朝向相反的方向。

4、通过采用上述技术方案，在管体内设置有第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板的弧形边朝向相反的方向，从而可延长气体在管体内的流动路径，进而可提高对气体的冷却效果。

5、可选的，所述管体的中部设置有固定杆，所述第一挡板和第二挡板均设置于固定杆上，所述固定杆的两端设置有与管体内壁进行连接的连接板。

6、通过采用上述技术方案，管体内设置有固定杆，第一挡板和第二挡板设置于固定杆上，在生产冷凝管时，可直接将固定杆通过连接板安装于管体内，从而对第一挡板和第二挡板进行安装，进而提高冷凝管的生产便利性。

7、可选的，所述第一挡板的直径和第二挡板的直径均小于管体的内径。

8、通过采用上述技术方案，第一挡板和第二挡板的直径小于管体的内径，使得第一挡板和第二挡板之间具有间隙，当管体的气体气流量较大时，气体可从第一挡板和第二挡板与管体内壁之间的间隙穿过，提高气体的通过性。

9、可选的，所述相邻两个第一挡板和第二挡板之间的距离由管体进气端向管体出气端沿管体的轴线方向逐渐增大。

10、通过采用上述技术方案，当气体流至靠近管体的末端时，由于前面第一挡板和第二挡板的阻挡，气体的流速会逐渐降低，因此将第一挡板和第二挡板之间的距离增大，从而便于气体通过。

11、可选的，所述第一挡板的和第二挡板弧形边的朝向均朝向于管体的进气端。

12、通过采用上述技术方案，第一挡板和第二挡板弧形边的朝向均朝向于管体的进气端，使得第一挡板和第二挡板朝向管体进气端一侧进行倾斜，从而便于气体通过。

13、可选的，所述管体的外部螺旋缠绕有冷却翅片。

14、通过采用上述技术方案，在管体的外部螺旋缠绕冷却翅片，以便于对管体进行降温，进而提高对气体的降温效果。

15、可选的，连接板的弧面沿管体的径向滑移连接有卡设板，所述管体的内壁开设有供卡设板进行卡设的卡设槽，所述连接板设置有迫使卡设板卡设于卡设槽的弹性件。

16、可选的，在对固定杆进行安装时，固定杆和连接板在管体内进行滑移，当到达对应的位置后，弹性件迫使卡设板进行滑移，从而卡设于卡设槽内，以对固定杆进行固定，从而提高安装的便利性。

17、综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

18、1、在管体内设置有第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板的弧形边朝向相反的方向，从而可延长气体在管体内的流动路径，进而可提高对气体的冷却效果；

19、2、在对固定杆进行安装时，固定杆和连接板在管体内进行滑移，当到达对应的位置后，弹性件迫使卡设板进行滑移，从而卡设于卡设槽内，以对固定杆进行固定，从而提高安装的便利性。

1.一种制备半导体薄膜用冷凝管，其特征在于：包括管体（1），所述管体（1）内设置有若干个第一挡板（3）和第二挡板（4），所述第一挡板（3）和第二挡板（4）沿管体（1）的轴线方向呈交替设置，所述第一挡板（3）和第二挡板（4）为弧形板，所述第一挡板（3）和第二挡板（4）的弧形边朝向相反的方向。

2.根据权利要求1所述的一种制备半导体薄膜用冷凝管，其特征在于：所述管体（1）的中部设置有固定杆（2），所述第一挡板（3）和第二挡板（4）均设置于固定杆（2）上，所述固定杆（2）的两端设置有与管体（1）内壁进行连接的连接板（21）。

3.根据权利要求1所述的一种制备半导体薄膜用冷凝管，其特征在于：所述第一挡板（3）的直径和第二挡板（4）的直径均小于管体（1）的内径。

4.根据权利要求1所述的一种制备半导体薄膜用冷凝管，其特征在于：所述相邻两个第一挡板（3）和第二挡板（4）之间的距离由管体（1）进气端向管体（1）出气端沿管体（1）的轴线方向逐渐增大。

5.根据权利要求1所述的一种制备半导体薄膜用冷凝管，其特征在于：所述第一挡板（3）的和第二挡板（4）弧形边的朝向均朝向于管体（1）的进气端。

6.根据权利要求1所述的一种制备半导体薄膜用冷凝管，其特征在于：所述管体（1）的外部螺旋缠绕有冷却翅片（11）。

7.根据权利要求2所述的一种制备半导体薄膜用冷凝管，其特征在于：连接板（21）的弧面沿管体（1）的径向滑移连接有卡设板（23），所述管体（1）的内壁开设有供卡设板（23）进行卡设的卡设槽（12），所述连接板（21）设置有迫使卡设板（23）卡设于卡设槽（12）的弹性件。