一种再生镍铂合金靶材及其制备方法与流程

1.一种再生镍铂合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述预处理具体包括以下步骤：

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤(b)中，所述分割后得到回收镍铂合金靶块，所述回收镍铂合金靶块的长度、宽度和厚度分别独立地为40-80mm；

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述悬浮熔炼的过程中，绝对真空度小于5×10-2pa；

5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述塑性加工包括以下步骤：对所述镍铂合金铸锭进行扒皮，并去除扒皮后的镍铂合金铸锭的端头部分；

6.根据权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述热轧的温度为700-900℃；

7.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，所述再结晶退火的温度为1000-1200℃；

8.根据权利要求1-7任一项所述的制备方法，其特征在于，所述制备方法具体包括以下步骤：

9.一种再生镍铂合金靶材，其特征在于，所述再生镍铂合金靶材由权利要求1-8任一项所述的制备方法制得。

10.根据权利要求9所述的再生镍铂合金靶材，其特征在于，所述再生镍铂合金靶材的纯度＞99.99％；