一种石英坩埚镀膜装置的制作方法

1.一种石英坩埚镀膜装置，其特征在于，包括：喷镀舱（100）、喷涂组件（200）和多维坩埚支架（300），所述喷涂组件（200）与多维坩埚支架（300）均固定设置于喷镀舱（100）的内部；

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚镀膜装置，其特征在于，所述喷涂组件（200）包括：固定架（210）、喷头（220）和驱动电机（230），所述固定架（210）的内侧转动安装有轴杆（211）；

3.根据权利要求1所述的一种石英坩埚镀膜装置，其特征在于，所述多维坩埚支架（300）包括传动舵台（310）、转台齿盘（320）和传动齿轴（330）以及固定于传动舵台（310）表面的第一驱动电机（311）和第二驱动电机（312），所述转台齿盘（320）转动安装于传动舵台（310）的顶面，所述传动齿轴（330）转动套接于传动舵台（310）的表面且与转台齿盘（320）的外周传动啮合，所述第二驱动电机（312）的输出端设有与传动齿轴（330）表面传动啮合的蜗杆，所述转台齿盘（320）的表面固定安装有轴架（321），所述转台齿盘（320）的表面转动安装有传动键轴（322），多爪夹盘（400）旋转安装于轴架轴架（321）表面且一侧设有与传动键轴（322）表面传动啮合的齿盘，传动键轴（322）的底端与第一驱动电机（311）的输出端传动啮合，第一驱动电机第一驱动电机（311）通过传动键轴（322）驱动多爪夹盘（400）在水平轴向旋转，第二驱动电机第二驱动电机（312）通过传动齿轴传动齿轴（330）及转台齿盘转台齿盘（320）驱动轴架轴架（321）和多爪夹盘（400）在竖直轴向旋转。

4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚镀膜装置，其特征在于，所述多爪夹盘（400）包括：定盘座（410）、转盘（420）和若干夹爪杆夹爪杆（440）；其中，所述转盘（420）旋转安装于定盘座（410）上，定盘座（410）和转盘（420）表面均设有多个导槽导槽（430），且定盘座（410）和转盘（420）表面导槽导槽（430）布置方向相反，夹爪杆夹爪杆（440）滑动套接于定盘座（410）和转盘（420）表面的导槽（430）内侧，用于夹持石英坩埚；通过转盘（420）在定盘座（410）表面的偏转运动，由两个反向的导槽（430）实现多爪夹盘（400）在转盘（420）表面的相对径向运动。

5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚镀膜装置，其特征在于，所述导槽（430）呈弧线状套槽结构，且导槽（430）的一端靠近转盘（420）轴心，且另一端远离导槽（430）轴心，定盘座（410）和转盘（420）表面导槽（430）数量与导槽（430）数量一一对应，且定盘座（410）的表面固定安装有用于提高转盘（420）转动阻尼的抵接板。

6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚镀膜装置，其特征在于，所述真空及排气系统（110）包括：粗真空泵、高真空泵、真空阀门、真空计和废气处理系统，且粗真空泵、高真空泵、真空阀门、真空计和废气处理系统依次连接。

7.根据权利要求1所述的一种石英坩埚镀膜装置，其特征在于，所述气体供给系统（120）包括：高纯度反应气体源、高纯度载气源、气体管路、质量流量控制器（mfc）和气体净化装置；