一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备的制作方法

本发明涉及蚀刻液循环再生，具体为一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备。

背景技术：

1、现有蚀刻液循环再生回用体系中的氯气吸收采用的是射流吸收模式，氯气与蚀刻液接触面积小，吸收效果差，并且装置内属于正压状态，易产生氯气泄漏，影响环境以及工作人员的安全。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，利用喷淋头喷洒的蚀刻液喷洒到过滤筒内部的氯气上，可以增大蚀刻液与氯气的接触面积，提高其吸收效果；同时利用抽取密封罐内部氯气流通的设计，可以使密封罐内部的压力小于外界压力，进而预防氯气外泄，影响环境以及影响人身安全。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，包括密封罐，所述密封罐的内部设置有增加蚀刻液与氯气接触面积的喷淋机构，所述喷淋机构包括安装在密封罐的两端且用来氯气进出的进气管以及出气管，所述密封罐的内部转动有与密封罐形成双层结构的过滤筒，所述过滤筒的外侧安装有与过滤筒发生相对转动的第一环绕环以及多组第二环绕环，所述第一环绕环的下方连通有与密封罐贯穿的第一排料管，所述过滤筒转动至一定位置时过滤筒的内部与第一环绕环连通；所述密封罐的一侧固定有用于传输蚀刻液的进液管，所述进液管上安装有多组与密封罐贯穿并且与多组第二环绕环连接的喷淋头，多组所述喷淋头的出液端均位于过滤筒的内部，所述过滤筒的一端固定有在密封罐上转动的风叶，通过所述进气管与过滤筒连通，通过所述进气管内部的一部分氯气经过过滤筒内部然后冲击风叶并使风叶转动，所述风叶转动的同时驱动过滤筒转动，此时所述过滤筒与第二环绕环以及第一环绕环相对转动；所述喷淋头向过滤筒内部喷洒蚀刻液的同时，所述过滤筒通过风叶旋转，所述过滤筒利用惯性将蚀刻液过滤的同时甩出至过滤筒与密封罐夹层内，在此过程中所述喷淋头向过滤筒内部喷洒的蚀刻液与过滤筒内部氯气进行充分接触，同时所述进气管另外一部分氯气进入过滤筒与密封罐夹层内与过滤后的蚀刻液二次接触；所述密封罐上设置有检测密封罐内部压力的压力检测机构，所述压力检测机构包括与密封罐连通的密封筒，所述密封筒内部阻尼滑动有滑杆，所述滑杆的一端设置有与进气管贯穿的挡块，所述挡块横截面为倒梯形设计，所述密封筒的一侧连通有储气筒。

3、优选的，所述密封罐上设置有方便观察其内部情况的观察窗。

4、优选的，所述过滤筒上开设有用于过滤蚀刻液的过滤孔，所述密封罐的下方连通有用于排液的第二排料管。

5、优选的，所述过滤筒上开设有喷淋口以及圆孔，所述过滤筒通过圆孔与第一环绕环连通。

6、优选的，所述过滤筒在转动至一定位置时，所述过滤筒上的喷淋口与第二环绕环连通，此时所述喷淋头喷洒的蚀刻液通过喷淋口与第二环绕环连通处喷洒到过滤筒的内部。

7、优选的，所述过滤筒的外侧设置有用于与第二环绕环相对转动的环形槽，所述喷淋口开设在环形槽上。

8、优选的，由于所述密封罐的内部为密封设计，在利用所述出气管外接的抽风机抽取密封罐以及过滤筒内部氯气时，所述密封罐内部的压力小于外界。

9、优选的，所述风叶位于出气管的一侧，在所述出气管外接的抽风机抽取氯气时，所述风叶驱动过滤筒旋转。

10、优选的，所述进气管上开设有通气孔，所述挡块与通气孔贯穿连接，所述挡块在通气孔上移动时，使所述挡块与通气孔之间的缝隙发生变化。

11、优选的，所述滑杆上设置有握持盘，所述滑杆上设置有刻度，且所述密封筒为透明材质。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、本发明在过滤筒转动至一定位置后，过滤筒上的喷淋口与第二环绕环连通，此时所述喷淋头喷洒的蚀刻液通过喷淋口与第二环绕环连通处喷洒到过滤筒的内部，喷洒的蚀刻液将与过滤筒内部的氯气充分接触反应，利用喷淋头喷洒的蚀刻液喷洒到过滤筒内部的氯气上，可以增大蚀刻液与氯气的接触面积，提高其吸收效果。

14、本发明利用出气管抽取密封罐内部氯气的设计，可以使密封罐内部的压力小于外界压力，由此可以预防氯气外泄，影响环境以及影响人身安全。

15、本发明在调整挡块位置固定后，可以抽取储气筒内部一定量的气体，如图8所示，由于滑杆上设置有密封环，且储气筒与密封筒的连通处位于密封环的上方，因此在抽取储气筒内部气体的同时，密封筒内部压力会驱使滑杆向上移动，然而此时密封罐内部进行抽取氯气导致密封罐内部压力同样为负压，由此密封罐内部压力驱动滑杆向下移动，通过观察滑杆上的刻度，来保持滑杆处于一个平衡的位置，由此可以使储气筒内部负压与密封罐内部负压相同；如果密封罐内部压力发生变化，通过观察滑杆移动的幅度以及轨迹，可以直观的看出密封罐内部的压力变化，提示工作人员。

1.一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，包括密封罐（1），所述密封罐（1）的内部设置有增加蚀刻液与氯气接触面积的喷淋机构（2），所述喷淋机构（2）包括安装在密封罐（1）的两端且用来氯气进出的进气管（23）以及出气管（22），所述密封罐（1）的内部转动有与密封罐（1）形成双层结构的过滤筒（21），所述过滤筒（21）的外侧安装有与过滤筒（21）发生相对转动的第一环绕环（25）以及多组第二环绕环（29），所述第一环绕环（25）的下方连通有与密封罐（1）贯穿的第一排料管（24），所述过滤筒（21）转动至一定位置时过滤筒（21）的内部与第一环绕环（25）连通；

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，所述密封罐（1）上设置有方便观察其内部情况的观察窗（4）。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，所述过滤筒（21）上开设有用于过滤蚀刻液的过滤孔，所述密封罐（1）的下方连通有用于排液的第二排料管（26）。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，所述过滤筒（21）上开设有喷淋口（210）以及圆孔，所述过滤筒（21）通过圆孔与第一环绕环（25）连通。

5.根据权利要求4所述的一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，所述过滤筒（21）在转动至一定位置时，所述过滤筒（21）上的喷淋口（210）与第二环绕环（29）连通，此时所述喷淋头（28）喷洒的蚀刻液通过喷淋口（210）与第二环绕环（29）连通处喷洒到过滤筒（21）的内部。

6.根据权利要求5所述的一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，所述过滤筒（21）的外侧设置有用于与第二环绕环（29）相对转动的环形槽，所述喷淋口（210）开设在环形槽上。

7.根据权利要求1所述的一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，由于所述密封罐（1）的内部为密封设计，在利用所述出气管（22）外接的抽风机抽取密封罐（1）以及过滤筒（21）内部氯气时，所述密封罐（1）内部的压力小于外界。

8.根据权利要求7所述的一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，所述风叶（211）位于出气管（22）的一侧，在所述出气管（22）外接的抽风机抽取氯气时，所述风叶（211）驱动过滤筒（21）旋转。

9.根据权利要求1所述的一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，所述进气管（23）上开设有通气孔（36），所述挡块（32）与通气孔（36）贯穿连接，所述挡块（32）在通气孔（36）上移动时，使所述挡块（32）与通气孔（36）之间的缝隙发生变化。

10.根据权利要求1所述的一种蚀刻液循环再生管道式喷淋设备，其特征在于，所述滑杆（33）上设置有握持盘（34），所述滑杆（33）上设置有刻度，且所述密封筒（31）为透明材质。