一种Ag基有机配位纳米颗粒及其制备方法、光刻胶组合物及其应用与流程

1.一种ag基有机配位纳米颗粒，其特征在于，通式为：[agm(r)n(q)x]y，m、n、x、y的范围均为1-4；

2.根据权利要求1所述的ag基有机配位纳米颗粒，其特征在于，其具体结构为：

3.根据权利要求1所述的ag基有机配位纳米颗粒，其特征在于，所述ag基有机配位纳米颗粒晶体的尺寸为1nm-4nm。

4.权利要求1-3任一项所述的ag基有机配位纳米颗粒的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将银盐和第一有机配体分别加入样品瓶中，加入有机溶剂将其溶解，一定温度条件下搅拌一定时间，过滤，浓缩，冷却结晶或蒸发结晶，最后在有机溶剂中重结晶得到ag基有机配位纳米颗粒，所述的银盐与所述第一有机配体比例为1:(0.5～1)。

5.根据权利要求4所述的ag基有机配位纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的有机溶剂选自乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、1-乙氧基-2丙醇、四氢呋喃、甲醇、乙醇、丙醇、二氯甲烷、三氯甲烷中的任意一种或多种。

6.根据权利要求4所述的ag基有机配位纳米颗粒的制备方法，其特征在于，所述的搅拌温度控制在0～120℃。

7.一种光刻胶组合物，包括权利要求1-3任一项所述的ag基有机配位纳米颗粒，还包括光引发剂和有机分散溶剂，其中，所述光引发剂为占据组合物的0.1wt％-10wt％，所述ag基有机配位纳米颗粒占据组合物的1wt％-20wt％。

8.根据权利要求7所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述的光引发剂选自n-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸、1,4-氨基萘磺酸、2-氨基-5,7-萘二磺酸、叔丁基苯基碘鎓盐全氟辛烷磺酸、三苯基锍全氟丁烷磺酸、三苯基锍全氟丁基和三苯基锍三氟磺酸中的任意一种或多种。

9.根据权利要求7所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述的有机分散溶剂选自乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、1-甲氧基-2-丙醇、丙二醇单正丙醚、丙二醇丁醚、1-乙氧基-2-丙醇、甲醇、乙醇、丙醇中的任意一种或多种。

10.一种ag有机配位纳米颗粒光刻胶图案化方法，采用如权利要求7-9任一项所述的光刻胶组合物，将光刻胶组合物以旋涂方式滴加到基板上，并在热台上加热，再用电子束或中紫外、深紫外、极紫外曝光，采用显影剂显影，所述的旋涂转速为1000～6000rpm；所述的热台加热温度控制在50～110℃，加热时间控制在30～900s，曝光剂量为50～8000mj/cm2；显影剂选自十氢化萘、四氢化萘、茚、茚满、喹啉、1-甲基萘、甲苯、邻二甲苯、间二甲苯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、正己烷及环己烷中的任意一种或多种的混合物，显影温度为室温或者20℃～50℃；除有机分散溶剂后的预成膜层的厚度可以为10nm～100nm。

11.权利要求1-3任一项所述的ag基有机配位纳米颗粒的用途，用于电子束、中紫外、深紫外和/或极紫外光刻胶。