压电致动器及其制作方法、微型压电泵及电子设备与流程

1.一种压电致动器，其特征在于，包括依次设置的压电振子层、振动片层和集气进气模块；所述振动片层的中部包括过流孔，所述过流孔与所述集气进气模块的流道连通；所述振动片层与所述集气进气模块固定连接以形成过程组件，所述压电振子层与所述过程组件固定连接；

2.根据权利要求1所述的压电致动器，其特征在于，所述粘接胶层的平均厚度为b，所述振动片层的过流孔孔缘与所述压电振子层之间的最小间距为a，且30％≤a/b≤85％。

3.根据权利要求1或2所述的压电致动器，其特征在于，具有第一状态的所述过程组件基于第一组装关系形成，所述第一组装关系被配置为：粘接胶未固化之前，所述过程组件受压产生所述弹性变形；所述粘接胶固化后形成所述粘接胶层，所述粘接胶层固持所述弹性变形。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电致动器，其特征在于，所述压电振子层的固定边框与所述振动片层之间设置有限位支撑部。

5.根据权利要求4所述的压电致动器，其特征在于，所述限位支撑部为与所述振动片层一体成型的结构，或者为与所述固定边框一体成型的结构。

6.根据权利要求4或5所述的压电致动器，其特征在于，所述限位支撑部沿着所述固定边框或者所述振动片层的粘接区域间隔设置，或者连续设置。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的压电致动器，其特征在于，所述限位支撑部包括第一支撑部，所述第一支撑部靠近所述压电致动器的外侧边缘设置。

8.根据权利要求7中任一项所述的压电致动器，其特征在于，所述限位支撑部包括第二支撑件，所述第二支撑部位于所述第一支撑部的内侧。

9.根据权利要求8所述的压电致动器，其特征在于，所述第一支撑部与所述第二支撑部的压抵面等高；或者，所述第二支撑部的压抵面，低于所述第一支撑部的压抵面。

10.一种压电致动器的制作方法，包括下述步骤：

11.根据权利要求10所述的压电致动器的制作方法，其特征在于，所述过程组件受压朝向所述压电振子层突出产生弹性变形，包括：

12.根据权利要求11所述的压电致动器的制作方法，其特征在于，所述集气进气模块的进气层的外廓尺寸小于所述振动片层的外廓尺寸。

13.根据权利要求11所述的压电致动器的制作方法，其特征在于，所述基座与所述进气层之间设置有工艺层，所述工艺层的外廓尺寸小于所述进气层的外廓尺寸。

14.根据权利要求11至13中任一项所述的压电致动器的制作方法，其特征在于，所述粘接胶为热固性粘接胶，所述压头为热压头。

15.一种微型压电泵，其特征在于，包括壳体和设置在所述壳体内的压电致动器，所述压电致动器为权利要求1至9中任一项所述的压电致动器，或者为权利要求10至14中任一项所述制作方法制成的压电致动器。

16.一种电子设备，包括微型压电泵，其特征在于，所述微型压电泵采用权利要求15所述的微型压电泵。