一种晶圆激光码的获取装置及识别系统的制作方法

本技术涉及晶圆激光码识别，尤其涉及一种晶圆激光码的获取装置及识别系统。

背景技术：

1、在半导体行业，尤其是晶圆制造的过程中，激光打标一直以来起着至关重要的作用，凭借激光码，才能保证晶圆的稳定可追溯性，以便在整个制造过程中进行追踪。当然，这也意味着激光标记必须时刻能够被读取，同时对工艺细节有着严格的要求，因为标记不能妨碍底层上的任何工艺，也不能对晶圆造成任何额外的损坏。

2、半导体硅片的制造过程包括长晶、切割、倒角、研磨、抛光、清洗等，在这些过程中硅片表面会被某些金属杂质污染，为保证出货产品的质量，在出货前会对产品进行抽样检测，除此之外，在生产的其他工序也会对其进行同样的检测，这些被检测的晶圆其表面结构往往都会被破坏，不能按照正常的产品出货，对于晶圆制造商来说如果将这些检测后的片子报废，将极大的提高生产成本。目前普遍的做法是将其进行降级处理，并进行二次出售。在降级处理时，会根据晶圆的性质将其划分为不同的等级，此时就需要读取晶圆的激光码，通过激光码来判定晶圆的性质，从而达到准确划分的目的。以往的做法都是通过人眼来读取晶圆背面的激光码，然后再输入到相应的数据库中，此过程耗费大量的时间，并且效率极其低下。

3、由于激光码非常小而且晶圆两面的抛光度较高，导致大部分光源都会被直接反射，所以无法通过常规的扫码方式获取晶圆激光码。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种晶圆激光码的获取装置及识别系统，以解决如何准确获取晶圆的激光码的技术问题。

2、第一方面，本实用新型实施例提供了一种晶圆激光码的获取装置，包括：采集模块、亮度调节模块以及固定模块；

3、所述采集模块包括镜头，所述亮度调节模块包括第一亮度调节单元和第二亮度调节单元，所述固定模块包括采集模块固定单元、亮度调节模块固定单元以及晶圆固定单元；

4、所述晶圆固定单元、所述亮度调节模块固定单元以及所述采集模块固定单元沿第一方向依次固定连接；

5、所述镜头固定在所述采集模块固定单元上，所述镜头的输入端朝向所述晶圆固定单元，所述第一亮度调节单元和所述第二亮度调节单元均固定在所述亮度调节模块固定单元上，所述晶圆固定在所述晶圆固定单元上，所述第一方向与所述晶圆所在平面交叉；

6、所述第一亮度调节单元和/或所述第二亮度调节单元输出的照明光线入射至所述晶圆，所述晶圆的激光码反射的光线入射至所述镜头。

7、可选的，所述亮度调节模块固定单元包括横向支撑架、第一纵向支撑架以及第二纵向支撑架；

8、所述横向支撑架沿第二方向延伸，所述第一纵向支撑架和所述第二纵向支撑架均沿第三方向延伸，所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向两两相互垂直；

9、所述第一纵向支撑架以及第二纵向支撑架均设置在所述横向支撑架的一侧，所述第一纵向支撑架以及第二纵向支撑架均沿所述第二方向在所述横向支撑架上调节位置。

10、可选的，所述晶圆固定单元包括晶圆定位台、支撑组件以及定位组件；所述支撑组件和所述定位组件固定设置在所述晶圆定位台靠近所述亮度调节模块固定单元的一侧；所述定位组件设置在所述晶圆的两侧，所述支撑组件设置在所述晶圆靠近所述晶圆定位台的一侧。

11、可选的，所述支撑组件包括第一预设数量个支撑柱，所述定位组件包括第一定位柱和第二定位柱；

12、所述第一预设数量大于或等于3；

13、所述第一定位柱和所述第二定位柱设置在所述晶圆的两侧，且所述第一定位柱和所述第二定位柱位于所述晶圆的同一条直径上；

14、所述第一定位柱和所述第二定位柱的靠近所述晶圆一侧之间的距离为第一预设距离，所述第一预设距离大于所述晶圆的直径，且与所述晶圆的直径的差值在预设范围内。

15、可选的，所述第一定位柱和所述第二定位柱的高度均高于所述支撑柱的高度。

16、可选的，所述镜头包括光学变焦镜头。

17、可选的，所述第一亮度调节单元包括第一光源，所述第二亮度调节包括第二光源，所述第一光源和所述第二光源均与亮度调节器连接。

18、可选的，所述第一亮度调节单元和所述第二亮度调节单元还均包括柔光灯罩；

19、所述柔光灯罩覆盖所述第一光源和所述第二光源的出光表面。

20、可选的，所述第一光源和所述第二光源的光轴均与所述第一方向形成预设角度。

21、第二方面，本实用新型实施例还提供了一种晶圆激光码的识别系统，包括如第一方面所述的晶圆激光码的获取装置以及晶圆激光码的识别装置；

22、所述晶圆激光码的识别装置与晶圆激光码的获取装置中的采集模块连接。

23、本实用新型实施例提供了一种晶圆激光码的获取装置，包括：采集模块、亮度调节模块以及固定模块；采集模块包括镜头，亮度调节模块包括第一亮度调节单元和第二亮度调节单元，固定模块包括采集模块固定单元、亮度调节模块固定单元以及晶圆固定单元；晶圆固定单元、亮度调节模块固定单元以及采集模块固定单元沿第一方向依次固定连接；镜头固定在采集模块固定单元上，镜头的输入端朝向晶圆固定单元，第一亮度调节单元和第二亮度调节单元均固定在亮度调节模块固定单元上，晶圆固定在晶圆固定单元上，第一方向与晶圆所在平面交叉；第一亮度调节单元和/或第二亮度调节单元输出的照明光线入射至晶圆，晶圆的激光码反射的光线入射至镜头。本实用新型通过合理固定镜头、第一亮度调节单元、第二亮度调节单元以及晶圆的位置，使得第一亮度调节单元和/或第二亮度调节单元输出的照明光线入射至晶圆，晶圆的激光码反射的光线入射至镜头。可以准确获取晶圆的激光码。

24、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本实用新型的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

1.一种晶圆激光码的获取装置，其特征在于，包括：采集模块、亮度调节模块以及固定模块；

2.根据权利要求1所述的晶圆激光码的获取装置，其特征在于，所述亮度调节模块固定单元包括横向支撑架、第一纵向支撑架以及第二纵向支撑架；

3.根据权利要求1所述的晶圆激光码的获取装置，其特征在于，所述晶圆固定单元包括晶圆定位台、支撑组件以及定位组件；所述支撑组件和所述定位组件固定设置在所述晶圆定位台靠近所述亮度调节模块固定单元的一侧；所述定位组件设置在所述晶圆的两侧，所述支撑组件设置在所述晶圆靠近所述晶圆定位台的一侧。

4.根据权利要求3所述的晶圆激光码的获取装置，其特征在于，所述支撑组件包括第一预设数量个支撑柱，所述定位组件包括第一定位柱和第二定位柱；

5.根据权利要求4所述的晶圆激光码的获取装置，其特征在于，所述第一定位柱和所述第二定位柱的高度均高于所述支撑柱的高度。

6.根据权利要求1所述的晶圆激光码的获取装置，其特征在于，所述镜头包括光学变焦镜头。

7.根据权利要求1所述的晶圆激光码的获取装置，其特征在于，所述第一亮度调节单元包括第一光源，所述第二亮度调节单元包括第二光源，所述第一光源和所述第二光源均与亮度调节器连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆激光码的获取装置，其特征在于，所述第一亮度调节单元和所述第二亮度调节单元还均包括柔光灯罩；

9.根据权利要求7所述的晶圆激光码的获取装置，其特征在于，所述第一光源和所述第二光源的光轴均与所述第一方向形成预设角度。

10.一种晶圆激光码的识别系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的晶圆激光码的获取装置以及晶圆激光码的识别装置；