一种碳化硅小面成像系统及小面识别方法与流程

1.一种碳化硅小面成像系统，其特征在于，包括：数据处理模块（a）和数据采集模块（c）；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅小面成像系统，其特征在于，还包括：信号同步模块（b）；

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅小面成像系统，其特征在于，所述双色镜（12）的反射方向设置电动转台（14）；所述电动转台（14）用于放置碳化硅晶锭（13）；

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅小面成像系统，其特征在于，所述光源（1）发射365nm的光。

5.一种根据权利要求1至4任一项所述的一种碳化硅小面成像系统的小面识别方法，其特征在于，包括以下过程：

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅小面成像系统的小面识别方法，其特征在于，在步骤1中，采集的原始晶锭照片先进行筛选：首先，在原始晶锭照片上选取多个不同位置，作为照片灰度值的判断区域；然后，确定判断区域的灰度值，并将判断区域的灰度值与灰度值阈值进行比较，保留所有判断区域的灰度值都在灰度值阈值范围内的原始晶锭照片，进行后续处理。

7.根据权利要求5所述的一种碳化硅小面成像系统的小面识别方法，其特征在于，所述灰度值缩放处理，包括：

8.根据权利要求7所述的一种碳化硅小面成像系统的小面识别方法，其特征在于，所述对比度增强处理，包括：

9.根据权利要求8所述的一种碳化硅小面成像系统的小面识别方法，其特征在于，所述阈值化处理，包括：

10.根据权利要求9所述的一种碳化硅小面成像系统的小面识别方法，其特征在于，所述初步筛选：小面区域和非小面区域进行初步区分后，设置参数对上述区域进行初步筛选；参数包括圆度、宽高比、面积、孔洞面积占比；