缺陷分类方法、装置、电子设备及存储介质与流程

1.一种缺陷分类方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的缺陷分类方法，其特征在于，所述二维偏振特征矢量的计算公式为：

3.根据权利要求1所述的缺陷分类方法，其特征在于，所述分类结果包括毛丝和划伤中的至少一种，所述目标分类器的训练过程包括：

4.根据权利要求3所述的缺陷分类方法，其特征在于，所述根据所述多组暗场偏振图像计算出所述样本的穆勒矩阵的参数，包括：

5.根据权利要求3所述的缺陷分类方法，其特征在于，在利用所述验证集验证所述目标分类器之后，包括：

6.根据权利要求3所述的缺陷分类方法，其特征在于，所述穆勒矩阵的计算公式为：

7.根据权利要求1所述的缺陷分类方法，其特征在于，获取偏振特征矢量目标偏振测量态下采集的待区分缺陷的多组暗场偏振图像，包括：

8.一种缺陷分类装置，其特征在于，包括：

9.一种电子设备，其特征在于，包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序，以实现如权利要求1-7任一项所述的缺陷分类方法。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行，以用于实现如权利要求1-7任一项所述的缺陷分类方法。