碳化硅器件的高温耐压极限值的确定方法和系统与流程

1.一种碳化硅器件的高温耐压极限值的确定方法，碳化硅器件的高温耐压极限值的确定系统包括碳化硅器件、高温烘箱和直流源模组，所述高温烘箱用于放置碳化硅器件，所述直流源模组的第一端用于与所述碳化硅器件的漏极电连接，所述直流源模组的第二端接地，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述测试组的所述当前电学性能参数的大小，确定所述测试组的高温耐压极限值是否为当前次的所述反向偏压，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，确定所述测试组的所述高温耐压极限值为上一次的所述反向偏压，包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述直流源模组包括直流源和电阻，所述电阻的第一端作为所述直流源模组的第一端，所述电阻的第二端与所述直流源的第一端电连接，所述直流源的第二端接地，所述测试组的所述当前电学性能参数还包括当前电阻值，在根据所述测试组的所述当前电学性能参数的大小，确定所述测试组的高温耐压极限值是否为当前次的所述反向偏压的过程中，所述方法还包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在以不断提高所述直流源模组输出的反向偏压为基准，对所述测试组不断施加反向偏压的过程中，所述方法还包括：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，以不断提高所述直流源模组输出的反向偏压为基准，对所述测试组不断施加反向偏压，包括：

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在确定所述测试组的高温耐压极限值是否为当前次的所述反向偏压之后，所述方法还包括：

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，根据所述验证组的所述当前电学性能参数的大小，确定所述测试组的高温耐压极限值是否有效，包括：

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述直流源模组包括直流源和电阻，所述电阻的第一端作为所述直流源模组的第一端，所述电阻的第二端与所述直流源的第一端电连接，所述直流源的第二端接地，所述当前电学性能参数还包括当前电阻值，在根据所述验证组的所述当前电学性能参数的大小，确定所述测试组的高温耐压极限值是否有效的过程中，所述方法还包括：

10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在确定所述测试组的所述高温耐压极限值无效之后，所述方法还包括：

11.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，在以不断提高所述直流源模组输出的反向偏压为基准，对所述验证组不断施加反向偏压的过程中，所述方法还包括：

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，在以不断提高所述直流源模组输出的反向偏压为基准，对所述验证组不断施加反向偏压的过程中，所述方法还包括：

13.一种碳化硅器件的高温耐压极限值的确定系统，其特征在于，包括：碳化硅器件、高温烘箱和直流源模组，所述高温烘箱用于放置碳化硅器件，所述直流源模组的第一端用于与所述碳化硅器件的漏极电连接，所述碳化硅器件的源极和栅极短接，其中，采用权利要求1至12中任一项所述的碳化硅器件的高温耐压极限值的确定方法对所述碳化硅器件进行测试。

14.根据权利要求13所述的碳化硅器件的高温耐压极限值的确定系统，其特征在于，所述直流源模组包括直流源和电阻，所述电阻的第一端作为所述直流源模组的第一端，所述电阻的第二端与所述直流源的第一端电连接，所述直流源的第二端接地。

15.根据权利要求13所述的碳化硅器件的高温耐压极限值的确定系统，其特征在于，所述碳化硅器件为绝缘栅场效应晶体管。