具唇形密封件的密封构件的制作方法

本公开的实施例总体上涉及一种密封构件，如o形环或类似物，其安装在形成于部件的面中的密封槽中。

背景技术：

1、在一些设备中，如用于电子芯片制造的设备中，需要一个部件的面与另一部件的面密封地接合。通常，安装在形成于部件之一的面中的密封槽中的密封构件(如o形环)可以是几英尺长，并且可能沿着错综复杂的路径(如螺旋形路径)。在一些应用中，部件的几何形状和制造公差需要密封槽和密封构件相对较薄，这可能导致密封构件沿着密封构件的长度在一个或多个离散位置处泄漏。

2、因此，需要一种改进的密封构件。

技术实现思路

1、本公开总体上涉及一种密封构件，如o形环或类似物，其安装在形成于部件的面中的密封槽中。在一个实施例中，密封构件包括伸长的整体式主体，该伸长的整体式主体包括第一部分，该第一部分邻接第二部分。当在垂直于伸长方向的冠状平面中观察时，第一部分形成圆的一部分。另外，第二部分包括：第一瓣，其包括第一圆角尖端，并且通过第一凹表面邻接第一部分；第二瓣，其包括第二圆角尖端，并且通过第二凹表面邻接第一部分；以及从第一圆角尖端延伸至第二圆角尖端的凸表面。

2、在另一个实施例中，密封构件包括伸长的整体式主体，该伸长的整体式主体包括第一部分，该第一部分邻接第二部分。当在垂直于伸长方向的冠状平面中观察时，第一部分包括第一和第二椭圆形节点。每个节点包括第一长轴和第一短轴，并且沿着长轴远离第二部分延伸。另外，第二部分包括第一和第二椭圆形瓣。每个瓣包括第二长轴和第二短轴，并且沿着长轴远离第一部分延伸。沿着第一短轴测量的每个节点的厚度大于沿着第二短轴测量的每个瓣的厚度。

3、在另一个实施例中，组件包括：第一部件，其包括其中具有密封槽的面；密封槽中的密封构件；以及安装至第一部件并包括脊的第二部件。密封槽包括具有第一宽度的开口，并且脊包括具有小于第一宽度的第二宽度的端部。密封构件包括在沿着密封槽的方向上伸长的整体式主体，并且包括：位于密封槽中的第一部分；以及邻接的第二部分，其突出于密封槽开口并接触脊的端部。第二部分包括第一瓣和第二瓣。每个瓣在密封槽的开口处接触第一部件的面。

1.一种密封构件，所述密封构件包括：

2.根据权利要求1所述的密封构件，其中所述第一部分和所述第二部分在所述冠状平面中关于穿过所述第一部分和所述第二部分的中心轴线对称。

3.根据权利要求1所述的密封构件，其中所述第一部分的半径小于所述凸表面的半径。

4.根据权利要求3所述的密封构件，其中当在所述冠状平面中观察时，所述第二部分的从所述第一圆角尖端到所述第二圆角尖端的宽度大于所述第一部分的最大宽度。

5.根据权利要求1所述的密封构件，其中所述整体式主体由弹性耐等离子体材料制成。

6.一种密封构件，所述密封构件包括：

7.根据权利要求6所述的密封构件，其中所述第一部分和所述第二部分在所述冠状平面中关于穿过所述第一部分和所述第二部分的中心轴线对称。

8.根据权利要求7所述的密封构件，其中垂直于所述中心轴线测量的所述第二部分的最大宽度大于垂直于所述中心轴线测量的所述第一部分的最大宽度。

9.根据权利要求6所述的密封构件，其中所述第二部分还包括在所述第一节点和所述第二节点之间延伸的凸表面。

10.一种组件，所述组件包括：

11.根据权利要求10所述的组件，其中所述第一部分和所述第二部分在所述冠状平面中关于穿过所述第一部分和所述第二部分的中心轴线对称。

12.根据权利要求10所述的组件，其中每个瓣接触所述第二部件的所述脊的所述端部。

13.根据权利要求10所述的组件，其中所述脊的所述端部接触所述第二部分的邻接所述第一瓣和所述第二瓣的凹表面。

14.根据权利要求10所述的组件，其中所述脊的所述端部接触所述第二部分的邻接所述第一瓣和所述第二瓣的凸表面。

15.根据权利要求14所述的组件，其中所述凸表面从所述第一瓣的圆角尖端延伸到所述第二瓣的圆角尖端。

16.根据权利要求15所述的组件，其中所述第一部分的半径小于所述凸表面的半径。

17.根据权利要求10所述的组件，其中所述密封槽还包括在第一侧壁和第二侧壁之间延伸的基部，所述基部包括由凸峰分开的第一凹部和第二凹部，所述第一凹部和第二凹部沿着所述密封槽延伸。

18.根据权利要求17所述的组件，其中所述密封构件主体的所述第一部分还包括第一节点和第二节点，所述第一节点延伸到所述第一凹部中，并且所述第二节点延伸到所述第二凹部中。

19.根据权利要求18所述的组件，其中所述第一节点密封所述第一侧壁，并且所述第二节点密封所述第二侧壁。

20.根据权利要求18所述的组件，其中当在垂直于沿着所述密封槽的所述方向的冠状平面中观察时，所述第一节点的厚度和所述第二节点的厚度大于所述第一瓣的厚度和所述第二瓣的厚度。