一种基于poly叠层提效工艺的电池片制作方法与流程

1.一种基于poly叠层提效工艺的电池片制作方法，其特征在于：包括以下操作步骤：

2.根据权利要求1所述的一种基于poly叠层提效工艺的电池片制作方法，其特征在于：所述s4步骤中将非晶硅层分成两层或者更多层不同磷浓度梯度掺杂的非晶硅层，并在第一层和第二层非晶硅中间沉积一层氧化层。

3.根据权利要求1所述的一种基于poly叠层提效工艺的电池片制作方法，其特征在于：所述s4步骤中具体实现包括以下步骤：

4.根据权利要求1所述的一种基于poly叠层提效工艺的电池片制作方法，其特征在于：所述s4-s7步骤中叠层poly的引入，两层超薄氧化层可使“内扩”可受控制，减少复合。

5.根据权利要求1所述的一种基于poly叠层提效工艺的电池片制作方法，其特征在于：所述s5步骤中本征层和不同磷浓度的多晶硅叠层的引入，及高表面浓度可使poly硅层与金属栅线形成更好的欧姆接触，降低接触电阻。

6.根据权利要求1所述的一种基于poly叠层提效工艺的电池片制作方法，其特征在于：所述s1-s11步骤中可将电池片开压提升1mv，填充提升0.05%，效率提升0.05%以上。

7.根据权利要求1所述的一种基于poly叠层提效工艺的电池片制作方法，其特征在于：所述s11中设置有电性能测试系统，所述电性能测试系统中设置有电性能监测模块、rs485模块、plc处理模块、电性能显示模块与测试控制模块，所述电性能监测模块连接rs485模块，所述rs485模块连接plc处理模块，所述plc处理模块连接电性能显示模块与测试控制模块。

8.根据权利要求7所述的一种基于poly叠层提效工艺的电池片制作方法，其特征在于：所述电性能监测模块的输出端通过rs485模块与plc处理模块的输入端电性连接，所述plc处理模块的输出端与电性能显示模块和测试控制模块的输入端电性连接。