一种光刻胶组合物及其应用的制作方法

1.一种光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物包括如下组分：酚醛树脂、光产酸剂、粘附性增强剂和溶剂；

2.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物不包括光敏剂。

3.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述含有醚键的三聚氰胺树脂的结构式如式ⅰ所示：

4.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述羟基吡啶酮的结构式如式ⅱ所示：

5.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，以所述光刻胶组合物总固含量为100％计，所述含有醚键的三聚氰胺树脂的添加量为2％-40％，所述羟基吡啶酮的添加量为0.1％-10％，所述酚醛树脂的添加量为55％-95％，所述光产酸剂的添加量为0.001％-5％；

6.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述酚醛树脂包括间甲酚酚醛树脂、对甲酚酚醛树脂、间甲酚-对甲酚共聚酚醛树脂、二甲酚-甲酚共聚酚醛树脂或三甲酚-甲酚共聚酚醛树脂中的任意一种或至少两种的组合；

7.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光产酸剂包括如下结构所示化合物中的任意一种或至少两种的组合：

8.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述溶剂包括丙二醇单甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚、苄醇、乙酸正丁酯、甲氧丙酸甲酯、乳酸乙酯、乙氧丙酸乙酯或二甘醇甲乙醚中的任意一种或至少两种的组合。

9.根据权利要求1所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物还包括其他添加剂；

10.一种权利要求1-9任一项所述的光刻胶组合物在半导体中的应用；