晶圆传输装置及半导体设备的制作方法

1.一种晶圆传输装置，其特征在于，包括：支撑主体、驱动组件、移动组件、大臂组件、小臂组件和至少两个末端执行器；

2.根据权利要求1所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述驱动组件包括第一电机、第二电机、第三电机和第四电机，所述第一电机、所述第二电机、所述第三电机和所述第四电机均包括相对设置的定子和转子，以及与所述转子固定连接的传动轴，各所述定子均固定连接在所述支撑主体内，且沿远离所述大臂组件的方向依次排布，相对应的各所述传动轴依次间隔套设。

3.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述驱动组件还包括设置在各所述定子和相对应的所述转子之间的密封套，所述密封套的两端均与所述支撑主体相抵。

4.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，沿远离所述大臂组件的方向，所述第一电机的定子、所述第二电机的定子、所述第三电机的定子、所述第四电机的定子依次间隔设置；

5.根据权利要求2所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述大臂传动件包括第一传动件、第二传动件和第三传动件，所述第一传动件、第二传动件和第三传动件均包括第一主动轮、第一从动轮，以及连接在所述第一主动轮和所述第一从动轮之间的第一钢丝；

6.根据权利要求5所述的晶圆传输装置，其特征在于，各所述第一从动轮沿远离所述小臂组件的方向依次排布，所述第一传动件、所述第二传动件和所述第三传动件均还包括第一连接杆，各所述第一连接杆依次间隔套设，且一端分别与相对应的所述第一从动轮固定连接，另一端分别与相对应的所述第二传动臂和所述小臂传动件固定连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆传输装置，其特征在于，沿远离所述小臂组件的方向，所述第一传动件的第一从动轮、所述第二传动件的第一从动轮、所述第三传动件的第一从动轮依次间隔设置；

8.根据权利要求6所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述末端执行器的数量为两个，所述小臂传动件包括第四传动件和第五传动件，所述第四传动件和所述第五传动件均包括第二主动轮、第二从动轮，以及连接在所述第二主动轮和所述第二传动轮之间的第二钢丝；

9.根据权利要求8所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第二主动轮和所述第二从动轮的传动比小于1。

10.根据权利要求8所述的晶圆传输装置，其特征在于，各所述第二从动轮沿远离所述末端执行器的方向依次排布，所述第四传动件和所述第五传动件均还包括第二连接杆，各所述第二连接杆依次间隔套设，且一端分别与相对的第二从动轮固定连接，另一端分别与相对应的所述末端执行器固定连接。

11.根据权利要求10所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第四传动件的第二从动轮设置在所述第五传动件的第二从动轮靠近所述末端执行器的一侧，所述第四传动件的第二连接杆套设在所述第五传动件的第二连接杆外。

12.根据权利要求1-11任一项所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述驱动组件包括移动支撑件、移动连接件、第五电机和丝杠；

13.根据权利要求12所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述驱动组件穿过所述移动连接件并延伸至所述反应腔室内；

14.根据权利要求8-11任一项所述的晶圆传输装置，其特征在于，每个所述第一主动轮包括两个依次叠置且固定连接第一旋转轮，每个所述第一从动轮包括两个依次叠置且固定连接的第二旋转轮，每个所述第二旋转轮和相对应的所述第一旋转轮形成一个第一轮组；

15.根据权利要求14所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述第一旋转轮、所述第二旋转轮、所述第三旋转轮和所述第四旋转轮均开设有螺旋槽，所述第一分段、所述第二分段、所述第三分段和所述第四分段分别位于相对应的所述螺旋槽内。

16.一种半导体设备，其特征在于，包括如权利要求1-15任一项所述的晶圆传输装置。