一种乙硼烷生产合成装置及合成工艺的制作方法
技术特征:
1.一种乙硼烷生产合成装置,其特征在于:包括通过管道相连接的混合罐体(1)、反应罐体(2)、保护气体储存罐(3)、三氯化硼储存罐(4)、真空组件(5)和收集组件(6);所述混合罐体(1)用于将硼氢化钠和溶剂混合成混合溶液,所述反应罐体(2)与所述混合罐体(1)相连通,所述反应罐体(2)设有供混合溶液投放的进液口,所述反应罐体(2)开设有第一进气口和第二进气口,所述第一进气口与所述保护气体储存罐(3)相连通,所述第二进气口与所述三氯化硼储存罐(4)相连接,所述反应罐体(2)还开设有第一出气口和第二出气口,所述第一出气口与所述真空组件(5)相连通,所述真空组件(5)用于对所述反应罐体(2)抽真空,所述第二出气口与所述收集组件(6)相连通,所述收集组件(6)用于收集所述反应罐体(2)内生成的乙硼烷;所述反应罐体(2)的罐底设有第一转动板(21),所述第一转动板(21)与所述反应罐体(2)的侧壁围设成反应腔室(16),所述反应腔室(16)用于容纳混合溶液,所述第一转动板(21)与所述反应罐体(2)的底壁围设成第一集气腔室(15),所述第一集气腔室(15)与第一进气口相连通,所述第一转动板(21)靠近反应腔室(16)一侧设有竖向的第一导气管(22),所述第一导气管(22)与所述第一集气腔室(15)相连通,所述第一导气管(22)外周开设有若干个供三氯化硼气体穿设的透气孔(221);所述反应罐体(2)外周设有驱动组件(8),所述驱动组件(8)包括转动电机(81)、第一齿轮(82)和第一齿圈(83),所述第一齿圈(83)与所述第一转动板(21)同轴固定,所述第一齿轮(82)与所述转动电机(81)的驱动端固定连接,所述第一齿轮(82)与所述第一齿圈(83)啮合设置,所述驱动组件(8)驱使所述第一导气管(22)绕所述反应罐体(2)中心轴线公转。
2.根据权利要求1所述的乙硼烷生产合成装置,其特征在于:所述第一导气管(22)的外周固设有气液分离膜(27),所述气液分离膜(27)覆盖所述透气孔(221),三氯化硼气体穿设于所述气液分离膜(27)进入至所述反应腔室(16)内。
3.根据权利要求1所述的乙硼烷生产合成装置,其特征在于:所述第一导气管(22)包括螺旋管段(222)和直线管段(223),所述螺旋管段(222)和直线管段(223)一体成型,所述螺旋管段(222)设置于所述反应腔室(16)内,所述直线管段(223)穿设所述第一转动板(21)延伸至所述第一集气腔室(15)内;所述透气孔(221)沿着所述螺旋管段(222)外周间隔设置。
4.根据权利要求3所述的乙硼烷生产合成装置,其特征在于:沿着远离所述第一集气腔室(15)的方向,所述螺旋管段(222)的外径递增或递减。
5.根据权利要求3所述的乙硼烷生产合成装置,其特征在于:所述第一导气管(22)与所述第一转动板(21)转动连接,所述直线管段(223)与所述第一转动板(21)之间设有密封套筒(18);所述反应罐体(2)底壁内侧固设有第二齿圈(20),所述直线管段(223)端部固设有第二齿轮(19),所述第二齿轮(19)与所述第二齿圈(20)的内圈相啮合;所述第二齿圈(20)位于所述第一导气管(22)公转轨迹的竖向投影面上,所述第二齿圈(20)通过所述第二齿轮(19)驱使所述第一导气管(22)自转;所述直线管段(223)开设有供气体进出的进气通道(2231),所述进气通道(2231)设置于所述第一集气腔室(15)内。
6.根据权利要求1所述的乙硼烷生产合成装置,其特征在于:所述反应罐体(2)内还设有第二转动板(23)、分隔板(24)、第二导气管(25)和集气管(26),所述第二转动板(23)与所述反应罐体(2)的罐顶围设成第二集气腔室(17);所述驱动组件(8)设有两个,两个驱动组件(8)分别驱动所述第一转动板(21)和第二转动板(23)转动,且所述第一转动板(21)与所述第二转动板(23)同频转动,所述分隔板(24)固设于所述第二转动板(23)靠近所述第一转动板(21)一侧,且所述分隔板(24)竖向设置,所述分隔板(24)插接于混合溶液中,所述分隔板(24)将所述第二转动板(23)分隔成第一部件(231)和第二部件(232),所述第一部件(231)与所述第一导气管(22)相对设置,所述分隔板(24)将所述反应腔室(16)分隔成第一反应腔室(161)和第二反应腔室(162);所述第一部件(231)开设有透气网孔(2311),所述透气网孔(2311)用于供所述第一反应腔室(161)内的气体进入所述第二集气腔室(17)内;所述第二导气管(25)固设于所述第二部件(232)靠近所述第一转动板(21)一侧,所述第二导气管(25)的第一端部与所述第二集气腔室(17)相连通,所述第二导气管(25)的第二端部插接于所述混合溶液中,且所述第二导气管(25)的第二端部与所述第一转动板(21)之间设有避让间隙;所述集气管(26)固设于所述第二部件(232)远离所述第一转动板(21)一侧,所述集气管(26)的一端与所述第二反应腔室(162)相连通,所述集气管(26)的另一端外接所述收集组件(6)。
7.根据权利要求6所述的乙硼烷生产合成装置,其特征在于:所述第二导气管(25)的第二端部固设有曝气器(130)。
8.根据权利要求6所述的乙硼烷生产合成装置,其特征在于:所述第二导气管(25)外周固设有不锈钢刀片(140),所述不锈钢刀片(140)呈45度螺旋状包绕于所述第二导气管(25)外周壁。
9.一种乙硼烷生产合成工艺,其特征在于:利用权利要求1-8任一所述乙硼烷生产合成装置来合成乙硼烷,包括以下步骤:
10.根据权利要求9所述的乙硼烷生产合成工艺,其特征在于:乙硼烷气体制备:驱动组件(8)同步驱使第一转动板(21)、第一导气管(22)、第二转动板(23)和第二导气管(25)转动,三氯化硼储存罐(4)往反应罐体(2)中输送三氯化硼气体;三氯化硼气体依次流经第一集气腔室(15)、第一导气管(22)、第一反应腔室(161)、第二集气腔室(17)、第二导气管(25)和第二反应腔室(162),三氯化硼与硼氢化钠反应合成乙硼烷。
技术总结
本申请涉及半导体技术领域,公开一种乙硼烷生产合成装置及合成工艺,生产合成装置包括反应罐体,反应罐体的罐底设有第一转动板,第一转动板与反应罐体的底壁围设成第一集气腔室,第一转动板与反应罐体的侧壁围设成反应腔室,第一转动板靠近反应腔室一侧设有竖向的第一导气管,第一导气管与第一集气腔室相连通,第一导气管外周开设有若干个供三氯化硼气体穿设的透气孔;反应罐体外周设有驱动组件,驱动组件驱使第一转动板、第一导气管绕反应罐体中心轴线公转。在本申请中,驱动组件驱使第一转动板、第一导气管绕着反应罐体的中心轴线转动,使得三氯化硼可以与更大范围的硼氢化钠相接触,提高乙硼烷的生产效率。
技术研发人员:陈国富,陈学胜,郑经纬,吴超农,缪振华,林贵函,刘诗艺,苏少剑
受保护的技术使用者:博纯材料股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/12/2
技术研发人员:陈国富,陈学胜,郑经纬,吴超农,缪振华,林贵函,刘诗艺,苏少剑
技术所有人:博纯材料股份有限公司
备 注:该技术已申请专利,仅供学习研究,如用于商业用途,请联系技术所有人。
声 明 :此信息收集于网络,如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们,我们会在第一时间删除
