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一种手动曝光机工作台的制作方法

2026-03-24 10:40:06 43次浏览
一种手动曝光机工作台的制作方法

本技术涉及曝光机,尤其涉及一种手动曝光机工作台。


背景技术:

1、曝光机是半导体产业中最关键设备,集成电路里的晶体管是通过光刻工艺在晶圆上做出来的,主要通过曝光显影技术将光透过掩膜版,通过曝光显影技术将光掩模上的图案以一定的比例转移到半导体硅片表面的光致抗蚀剂层上,在日常生活中较为常见,在日常生活中较为常见。

2、在投入使用的过程中发现,在对曝光机进行长时间操作使用的过程中,需要对曝光机进行更换检修,由于通常的曝光机与整个操作台之间是安装一体式的,从而在对曝光机进行拆卸的过程中,较为繁琐复杂,不方便对曝光机进行快速安装的问题。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是解决现有技术中存在对曝光机进行长时间操作使用的过程中,需要对曝光机进行更换检修,由于通常的曝光机与整个操作台之间是安装一体式的,从而在对曝光机进行拆卸的过程中,较为繁琐复杂,不方便对曝光机进行快速安装缺点。

2、为解决上述技术问题,本实用新型提供一种手动曝光机工作台,包括:操作台,所述操作台的上端表面安装有曝光机主体,所述曝光机主体的底端两侧均固定连接有安装板,所述操作台表面对应安装板的位置均设有调节装置,所述调节装置包括两个定位架,两个所述定位架的底端均与操作台的表面固定连接,所述定位架的上端均固定连接有定位块,所述安装板表面对应定位块的位置均开设有固定孔,所述固定孔的内壁与定位块的表面滑动插接,所述定位架的表面固定连接有若干个支撑板,若干个所述支撑板的表面均与安装板的底面相抵接,所述操作台表面对应安装板的位置固定连接有固定架,所述固定架的内壁转动连接有转动板,所述转动板的截面呈“l”形,所述定位块的表面螺纹连接有固定杆,所述固定杆的一端与转动板的表面螺纹贯穿。

3、上述部件所达到的效果为:在对曝光机进行长时间操作使用的过程中,需要对曝光机进行更换检修,由于通常的曝光机与整个操作台之间是安装一体式的,从而在对曝光机进行拆卸的过程中,较为繁琐复杂,不方便对曝光机进行快速安装,此时通过曝光机主体两侧的安装板,让安装板表面开设的固定孔与操作台表面的定位架与固定板进行插接,在转动固定架内壁的转动板,让转动板与固定板相对应,之后转动固定块表面的固定杆,让固定杆与转动板的表面进行螺纹插接限位,而此时整个曝光机主体与定位架表面的支撑板进行抵接限位,从而有效方便地对整个曝光机主体的位置进行限位固定。

4、优选地,所述定位架的表面固定连接有防护垫,所述防护垫的底面与支撑板的表面相抵接。

5、上述部件所达到的效果为:在让安装板与定位架表面的支撑板进行抵接的过程中,利用支撑板表面抵接的防护垫可以对安装板进行防护。

6、优选地,所述固定架的内壁套有卷簧,所述卷簧的两端分别与转动板和固定架固定连接。

7、上述部件所达到的效果为:通过卷簧所产生的扭转力可以有效地对转动板的位置固定限位,避免转动板发生位置的晃动。

8、优选地,所述支撑板为提高支撑强度的硬质合金板。

9、上述部件所达到的效果为:通过硬质合金材质的支撑板可以长时间地使用,避免支撑板发生形变。

10、优选地,所述操作台的底端均设有辅助装置,所述辅助装置包括支撑框,所述支撑框的内壁与操作台的底端表面相插接,所述支撑框的两侧表面均固定连接有衔接板,所述衔接板的表面均滑动贯穿有移动杆,所述移动杆的圆弧面均套有弹簧,所述弹簧的两端分别与移动杆和衔接板固定连接,所述操作台底端侧壁对应移动杆的位置均开设有插孔,所述插孔的内壁与移动杆的一端相插接。

11、上述部件所达到的效果为:在对曝光机主体底端的操作台进行长时间的支撑使用时,为了避免操作台的底端发生磨损,此时通过支撑框进行防护,利用支撑框与操作台的底端进行插接,再拉动支撑框两端衔接板表面滑动的移动杆,让移动杆借助弹簧所产生的拉力与操作台侧壁开设的插孔进行插接固定。

12、优选地,所述移动杆靠近插孔的一端固定连接有引导块,所述引导块的截面呈尖锥状。

13、上述部件所达到的效果为:在对移动杆的位置进行移动调节时,利用尖锥状的引导块可以便捷地引导限位。

14、优选地,所述支撑框的底端固定连接有支撑垫,所述支撑垫的表面开设有若干个防滑槽,所述支撑垫为橡胶垫。

15、上述部件所达到的效果为:在对操作台进行支撑限位时,利用操作台底端支撑框底面固定橡胶材质的支撑垫可以更好地防护使用。

16、与相关技术相比较,本实用新型提供的一种手动曝光机工作台具有如下有益效果:

17、本实用新型提供一种手动曝光机工作台,在对曝光机进行长时间操作使用的过程中,需要对曝光机进行更换检修,由于通常的曝光机与整个操作台之间是安装一体式的,从而在对曝光机进行拆卸的过程中,较为繁琐复杂,不方便对曝光机进行快速安装,此时通过曝光机主体两侧的安装板,让安装板表面开设的固定孔与操作台表面的定位架与固定板进行插接,在转动固定架内壁的转动板,让转动板与固定板相对应,之后转动固定块表面的固定杆,让固定杆与转动板的表面进行螺纹插接限位,而此时整个曝光机主体与定位架表面的支撑板进行抵接限位,从而有效方便地对整个曝光机主体的位置进行限位固定,通过对调节装置的操作,达到了对曝光机进行快速安装拆卸维修。

18、在对曝光机主体底端的操作台进行长时间的支撑使用时,为了避免操作台的底端发生磨损,此时通过支撑框进行防护,利用支撑框与操作台的底端进行插接,再拉动支撑框两端衔接板表面滑动的移动杆,让移动杆借助弹簧所产生的拉力与操作台侧壁开设的插孔进行插接固定,通过对辅助装置的操作,达到了对操作台底端表面进行有效的支撑防护,便于更好地对操作台以及曝光机主体进行操作使用。



技术特征:

1.一种手动曝光机工作台,其特征在于,包括:操作台(2),所述操作台(2)的上端表面安装有曝光机主体(1),所述曝光机主体(1)的底端两侧均固定连接有安装板(3),所述操作台(2)表面对应安装板(3)的位置均设有调节装置(4),所述调节装置(4)包括两个定位架(46),两个所述定位架(46)的底端均与操作台(2)的表面固定连接,所述定位架(46)的上端均固定连接有定位块(49),所述安装板(3)表面对应定位块(49)的位置均开设有固定孔(45),所述固定孔(45)的内壁与定位块(49)的表面滑动插接,所述定位架(46)的表面固定连接有若干个支撑板(48),若干个所述支撑板(48)的表面均与安装板(3)的底面相抵接,所述操作台(2)表面对应安装板(3)的位置固定连接有固定架(41),所述固定架(41)的内壁转动连接有转动板(42),所述转动板(42)的截面呈“l”形,所述定位块(49)的表面螺纹连接有固定杆(44),所述固定杆(44)的一端与转动板(42)的表面螺纹贯穿。

2.根据权利要求1所述的一种手动曝光机工作台,其特征在于,所述定位架(46)的表面固定连接有防护垫(47),所述防护垫(47)的底面与支撑板(48)的表面相抵接。

3.根据权利要求1所述的一种手动曝光机工作台,其特征在于,所述固定架(41)的内壁套有卷簧(43),所述卷簧(43)的两端分别与转动板(42)和固定架(41)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种手动曝光机工作台,其特征在于,所述支撑板(48)为提高支撑强度的硬质合金板。

5.根据权利要求1所述的一种手动曝光机工作台,其特征在于,所述操作台(2)的底端均设有辅助装置(5),所述辅助装置(5)包括支撑框(51),所述支撑框(51)的内壁与操作台(2)的底端表面相插接,所述支撑框(51)的两侧表面均固定连接有衔接板(54),所述衔接板(54)的表面均滑动贯穿有移动杆(55),所述移动杆(55)的圆弧面均套有弹簧(56),所述弹簧(56)的两端分别与移动杆(55)和衔接板(54)固定连接,所述操作台(2)底端侧壁对应移动杆(55)的位置均开设有插孔(58),所述插孔(58)的内壁与移动杆(55)的一端相插接。

6.根据权利要求5所述的一种手动曝光机工作台,其特征在于,所述移动杆(55)靠近插孔(58)的一端固定连接有引导块(57),所述引导块(57)的截面呈尖锥状。

7.根据权利要求5所述的一种手动曝光机工作台,其特征在于,所述支撑框(51)的底端固定连接有支撑垫(52),所述支撑垫(52)的表面开设有若干个防滑槽(53),所述支撑垫(52)为橡胶垫。


技术总结
本技术涉及曝光机技术领域,尤其涉及一种手动曝光机工作台。包括操作台,所述操作台的上端表面安装有曝光机主体,所述曝光机主体的底端两侧均固定连接有安装板,所述操作台表面对应安装板的位置均设有调节装置,所述调节装置包括两个定位架,两个所述定位架的底端均与操作台的表面固定连接,所述定位架的上端均固定连接有定位块,所述安装板表面对应定位块的位置均开设有固定孔,所述固定孔的内壁与定位块的表面滑动插接,所述定位架的表面固定连接有若干个支撑板,若干个所述支撑板的表面均与安装板的底面相抵接。本技术提供的一种手动曝光机工作台具有方便对曝光机进行快速安装拆卸维修的优点。

技术研发人员:谢红,谢丁生,吕学飞,王韶华,晏建发,赵振浩,谢和
受保护的技术使用者:上海亚曼光电科技有限公司
技术研发日:20240403
技术公布日:2024/11/28
文档序号 : 【 40162439 】

技术研发人员:谢红,谢丁生,吕学飞,王韶华,晏建发,赵振浩,谢和
技术所有人:上海亚曼光电科技有限公司

备 注:该技术已申请专利,仅供学习研究,如用于商业用途,请联系技术所有人。
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谢红谢丁生吕学飞王韶华晏建发赵振浩谢和上海亚曼光电科技有限公司
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