一种通气增强膜，特别用于保护MEMS封装、其制造方法以及用该通气膜制成的模切部件与流程

1.一种通气复合膜，包括

2.根据权利要求1所述的通气复合膜，其特征在于，支撑织物的所述单丝由聚合物制成，聚合物选自peek，pek，pekk，ptfe，pi，pfa，fep，pps，pei，pbi，pctfe，ectfe，pai，ppsu，优选地选自peek。

3.根据权利要求1或2所述的通气复合膜，其特征在于，所述支撑织物的开口区域比例至少为30％，且小于75％。

4.根据之前权利要求中任一条所述的通气复合膜，其特征在于，所述支撑织物的厚度在40-120μm，优选为40-70μm的范围内，单个单丝的厚度在30-40μm之间。

5.根据之前权利要求中任一条所述的通气复合膜，其特征在于，所述聚合物膜基于聚合物，聚合物选自聚酰亚胺(pi)、s-peek、pes、s-pes、pps、pai、pbi。

6.根据之前权利要求中任一条所述的通气复合膜，其特征在于，所述聚合物膜具有多孔微结构，并具有不对称的孔隙率，仅在一侧具有较致密的外皮。

7.根据之前权利要求中任一条所述的通气复合膜，其特征在于，所述聚合物膜的平均流量孔隙(mfp)尺寸在0.3至0.7μm之间，厚度在50至80μm之间，重量在20至50g/m2之间。

8.一种具有复合结构的通风装置的制造方法，包括至少

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述溶液包括

10.根据权利要求8或9所述的制造方法，其特征在于，所述聚合物溶液和相应的溶剂具有至多25％，优选在6％至12％之间的初始聚合物重量。

11.根据权利要求8至10中任一条所述的制造方法，其特征在于，所述通过浇注铺展步骤在所述支撑机织织物的一侧进行，所述支撑机织织物在另一侧与衬里连接。

12.根据权利要求8至11中任一条所述的制造方法，其特征在于，所述相转化凝固步骤分两步进行，即通过vips阶段(蒸汽诱导相分离)和随后的nips阶段(非溶剂诱导相分离)进行。

13.根据权利要求8至12中任一条所述的制造方法，其特征在于，在处理室内进行等离子处理的第二步，仅将所述增强膜暴露于载气中，其中工作压力约为10-400mtorr，电极上的功率为100-2000w，暴露时间为5秒至5分钟，并且其中所述载气选自氮气、氦气、氩气或氧气。

14.一种应用于mems传感器封装的通风装置，包括通过如权利要求8至13中任一条所述的方法制造的增强膜，增强膜根据所需形状进行模切并与至少一个psa边缘连接。

15.根据权利要求14所述的通风装置，其特征在于，所述psa边缘被连接到<100微米厚的聚合物材料环的形状的加强层上，该加强层不覆盖增强膜的有效区域。