光学调整装置及半导体检测系统的制作方法

本发明涉及光学元件位置调节，尤其是涉及一种光学调整装置及半导体检测系统。

背景技术：

1、光学调整架(也可称为光学调整装置)是光机产品中一个重要的组成部分，主要解决各类光学元件(如透镜、窗口、反射镜、分光片、波片、光栅、棱镜等)的装卡(夹持、固定)和调整，可以根据光学元件具体的结构形状(如圆形、矩形)选择合适的光学调整架，以在光学系统中较大程度的提升系统的光学性能及系统的稳定性。

2、目前，现有光学调整架的调节方式是通过带动安装光学元件的安装座沿着两个旋转中心线(相当于两个坐标方位)进行旋转调节，而由于两个旋转中心线分别与安装座的互相垂直的两个侧面重合，此时两个坐标方位存在一定的耦合性，则当在任一坐标方位上调节时，光学元件随着安装座围绕其对应的侧面进行转动、而光学元件在另一坐标方位上也会随动，因此该种调节方式会导致光学调整架整体结构刚度较低，从而在在调整光束方向时，会造成光束线性平移；并且其容易受到温度和振动影响，从而导致光学调整架位置发生漂移。

3、有鉴于此，特提出本发明。

技术实现思路

1、本发明提供了一种光学调整装置及半导体检测系统，以解决现有光学调整装置由于两个坐标方位之间的耦合性导致的光束发生线性平移的技术问题。

2、本发明第一方面提供了一种光学调整装置，包括安装板、第一弹性调节环及第二弹性调节环。安装板用于安装光学元件；第一弹性调节环连接于安装板并具有第一中心轴线且为非封闭环结构，第一弹性调节环的首尾两端设置为在外力作用下能够相对运动，以使第一弹性调节环带动安装板围绕第一中心轴线转动；第二弹性调节环连接于安装板并具有第二中心轴线且为非封闭环结构，第二弹性调节环的首尾两端设置为在外力作用下能够相对运动，以使第二弹性调节环带动安装板围绕第二中心轴线转动。

3、在本发明可选的方案中，第一弹性调节环的首尾两端围成有第一开口；光学调整装置还包括第一调节单元，第一调节单元包括第一拉紧螺钉，第一拉紧螺钉设置于第一弹性调节环首尾两端中的一端并与另一端上的第一螺纹孔配合以缩小或增大第一开口，以使第一弹性调节环围绕第一中心轴线旋转转动。

4、在本发明可选的方案中，第一调节单元还包括第一张开顶丝，第一张开顶丝设置于第一弹性调节环首尾两端中的一端并用于推动另一端运动以增大第一开口，以使第一弹性调节环围绕第一中心轴线旋转转动；其中，第一张开顶丝还配置为能够在第一拉紧螺钉与第一螺纹孔锁紧配合过程中抵接于第一弹性调节环以进行锁紧限位。

5、在本发明可选的方案中，第二弹性调节环的首尾两端围成有第二开口；光学调整装置还包括第二调节单元，第二调节单元包括第二拉紧螺钉，第二拉紧螺钉设置于第二弹性调节环首尾两端中的一端并与另一端上的第二螺纹孔配合以缩小或增大第二开口，以使第二弹性调节环围绕第二中心轴线旋转转动。

6、在本发明可选的方案中，第二调节单元还包括第二张开顶丝，第二张开顶丝设置于第二弹性调节环首尾两端中的一端并用于推动另一端运动以增大第二开口，以使第二弹性调节环围绕第二中心轴线旋转转动；其中，第二张开顶丝还配置为能够在第二拉紧螺钉与第二螺纹孔锁紧配合过程中抵接于第二弹性调节环以进行锁紧限位。

7、在本发明可选的方案中，光学调整装置还包括固定座，固定座用于固定安装第一弹性调节环；其中，第一弹性调节环与固定座的连接点与第一开口呈180°布置。

8、在本发明可选的方案中，光学调整装置还包括导向件，导向件在第二中心轴线所在方向上的两端分别连接于安装板和第二弹性调节环；导向件设置有旋转导向孔，旋转导向孔的中心轴线与第二中心轴线共线，旋转导向孔用于设置导向轴，以使第二弹性调节环经由导向件带动安装板相对导向轴转动。

9、在本发明可选的方案中，第二弹性调节环包括环体部及至少一对连接部，环体部环设于导向件并与导向件间隔设置，且环体部首尾两端相对设置并围成有第二开口；每对连接部中的两个连接部沿环体部的中心对称布置，且每个连接部在导向件与环体部之间连接于导向件与环体部。

10、在本发明可选的方案中，安装板设置有安装通孔，安装通孔用于安装光学元件；安装通孔具有第三中心轴线，且第三中心轴线、第二中心轴线以及第一中心轴线两两垂直并相交于一点。

11、本发明第二方面提供了一种半导体检测系统，包括光学元件以及上述的光学调整装置，光学元件安装于安装板的安装通孔中。

12、综上所述，本发明提供的光学调整装置及半导体检测系统至少具有以下有益效果：

13、该光学调整装置中安装板固定安装有光学元件，并应用于半导体检测系统的光路中。其中，该光学调整装置还具备第一弹性调节环和第二弹性调节环，且二者均为非封闭环结构，通过第一弹性调节环能够让安装板绕第一中心轴线转动，通过第二调节环能够让安装板绕第二中心轴线转动。进而，让固定安装于安装板上的光学元件绕第一中心轴线转动或绕第二中心轴线转动。

14、特别地，通过对第一弹性调节环施加外力，仅能让安装板以第一中心轴线作为旋转轴线进行转动，而不会让安装板绕第二中心轴线转动。相应地，通过对第二弹性调节环施加外力，仅能让安装板以第二中心轴线作为旋转轴线进行转动，而不会让安装板绕第一中心轴线转动。

15、换言之，在对具备该光学调整装置的光路系统中光束进行调节时，通过对第一弹性调节环或第二弹性调节环施加外力，仅能实现单轴转动，使得两个方位的转动调节解耦，如此可消除不必要的线性光束平移，确保调整后光束位置的准确性。

16、进一步地，该光学调整装置还具备第一调节单元和第二调节单元，第一调节单元及第二调节单元均为拉紧螺钉和张开顶丝的组合，拉紧螺钉于张开顶丝互为锁紧并对对应的弹性调节环提供作用力，能够起到调节相应开口大小及位置固定的作用。

1.一种光学调整装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学调整装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的光学调整装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的光学调整装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的光学调整装置，其特征在于，

6.根据权利要求2所述的光学调整装置，其特征在于，

7.根据权利要求4所述的光学调整装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的光学调整装置，其特征在于，所述第二弹性调节环(30)包括：

9.根据权利要求1-8任一项所述的光学调整装置，其特征在于，

10.一种半导体检测系统，其特征在于，包括光学元件(200)以及权利要求1-9任一项所述的光学调整装置(100)，所述光学元件(200)安装于所述安装板(10)的安装通孔(11)中。