衬底处理方法及衬底处理装置与流程

1.一种衬底处理方法，包含：

2.一种衬底处理方法，包含：

3.一种衬底处理方法，包含：

4.根据权利要求3所述的衬底处理方法，其中所述融解步骤包含加热步骤，即，通过加热所述凝固层，而使所述凝固层的温度上升至所述融解温度。

5.根据权利要求3所述的衬底处理方法，其中所述融解温度为室温，且

6.一种衬底处理装置，具备：

7.一种衬底处理装置，具备：

8.一种衬底处理装置，具备：

9.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中所述融解单元包含加热单元，即，通过加热所述凝固层，而使所述凝固层的温度上升至所述融解温度。

10.根据权利要求8所述的衬底处理装置，其中所述融解温度为室温，且