一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置及其控制方法与流程

1.一种用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，包括底座(1)，以及安装在底座(1)上的驱动组件、转轴座(5)、转轴(6)、夹持组件、弹簧预紧组件和限位识别组件；所述转轴(6)通过转轴座(5)固定在底座(1)上，转轴(6)的一端与驱动组件连接，转轴(6)的另一端与限位识别组件连接，所述限位识别组件用于辅助判断转轴(6)转动范围的极限位置；所述夹持组件和弹簧预紧组件嵌套在转轴(6)上，夹持组件用于锁紧基片盘，弹簧预紧组件用于提供弹簧转矩，以作为夹紧力；当进行基片盘锁紧时，通过驱动组件提供的驱动力克服弹簧预紧组件提供的弹簧转矩，实现转轴(6)转动，进而带动夹持组件转动至预设位置，待基片盘传入载片位置后，驱动组件回转至锁紧位置，并不再提供驱动力，夹持组件在弹簧转矩的作用下提供持续的锁紧力，以锁紧基片盘。

2.根据权利要求1所述的用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，所述夹持组件包括转轴夹(7)和锁紧扣(8)，所述转轴夹(7)倾斜嵌套在转轴(6)上，所述锁紧扣(8)固定在转轴夹(7)上，所述锁紧扣(8)与基片盘接触。

3.根据权利要求2所述的用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，所述锁紧扣(8)内部为空心结构，且锁紧扣(8)采用喇叭口形状。

4.根据权利要求2所述的用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，所述弹簧预紧组件包括弹簧套筒(9)、预紧弹簧(10)和弹簧底座(11)，所述弹簧套筒(9)嵌套固定在转轴(6)上，弹簧底座(11)固定在底座(1)上，预紧弹簧(10)嵌套在转轴(6)上，预紧弹簧(10)的一端与弹簧套筒(9)可拆卸连接，预紧弹簧(10)的另一端与弹簧底座(11)固定连接；通过调整预紧弹簧(10)在弹簧套筒(9)上的安装位置，为转轴(6)提供预设的弹簧转矩。

5.根据权利要求4所述的用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，所述弹簧套筒(9)的端面设有多个安装孔(91)，所述预紧弹簧(10)与安装孔(91)连接，多个所述安装孔(91)围绕形成180°的半圆。

6.根据权利要求4所述的用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，所述限位识别组件包括旋转挡光片(12)、安装座(13)和微型光电开关(14)；所述旋转挡光片(12)安装在安装座(13)上，所述安装座(13)与转轴(6)的端部连接固定，所述微型光电开关(14)安装在底座(1)；当安装座(13)随着转轴(6)转动，使得旋转挡光片(12)触发微型光电开关(14)时，表明转轴(6)转动至极限位置。

7.根据权利要求6所述的用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，所述旋转挡光片(12)包括第一旋转挡光片(121)和第二旋转挡光片(122)，所述微型光电开关(14)包括第一微型光电开关(141)和第二微型光电开关(142)，所述第一微型光电开关(141)和第二微型光电开关(142)分别安装在安装座(13)的左右两侧，所述第一旋转挡光片(121)与第一微型光电开关(141)相匹配，所述第二旋转挡光片(122)与第二微型光电开关(142)相匹配，以用于识别转轴(6)左右转动的极限位置。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置，其特征在于，所述驱动组件包括电机(2)、电机座(3)和联轴器(4)；所述电机(2)通过电机座(3)固定在底座(1)上，电机(2)的输出轴通过联轴器(4)与转轴(6)连接固定。

9.一种适用于权利要求1至8中任意一项所述的用于电子束曝光机的基片盘锁紧装置的控制方法，其特征在于，包括以下步骤；

10.根据权利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述步骤s3中，当预紧弹簧(10)扭转到打开位置时，锁紧扣(8)再次位于基片盘的下方，此时基片盘可沿轨道自由进出，当基片盘被推至锁紧扣(8)上方后，电机(2)反转，带动转轴(6)上的锁紧扣(8)执行夹紧动作，转轴(6)抵御预紧弹簧(10)扭力的同时，跟随电机(2)进行回位转动，直至锁紧扣(8)刚好到达接触基片盘的位置，电机(2)完全失电；