一种搬运位置校正系统及方法与流程

本发明涉及晶圆加工设备领域，具体而言，涉及一种搬运位置校正系统及方法。

背景技术：

1、随着半导体行业的不断发展，制造商面临着提高生产效率和降低成本的挑战。空中悬挂式无人搬送天车(overhead hoist transport，简称oht或天车，又称为空中运输装置)是一种广泛应用于半导体生产线中自动搬运晶圆盒(foup)的装置，通过该装置自动搬运可以提高物料运输效率，降低人力成本和减少污染风险，从而在很大程度上改善了整体生产流程。在半导体工厂中，天车在工艺机台作业需要先移动至工艺机台对应的搬运位置，再控制升降台将晶圆盒搬运到工艺机台。

2、通常每一个工艺机台都会设置标识板，天车上部署有扫描设备(例如扫码枪)，天车行驶过程中扫描设备会对工艺机台的标识板进行扫描，扫描结果包括工艺机台的标识和像素值。随着天车和工艺机台的相对位置发生变化，扫描结果中的像素值也会发生变化。可以理解地，天车在轨道侧边存储装置(side track buffer，简称stb)上作业时，可以根据标识板上的标识码像素值进行定位。例如，当天车运行到像素值中心位置时，确定到达工艺机台对应的搬运位置。此时，将晶圆盒放置在工艺机台时，发现晶圆盒并不在工艺机台中心的位置，此时就需要人为多次移动标识板，保证天车定位后能将晶圆盒放置到工艺机台的正中心。该方式会增加额外的人力成本，且效率较低。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种搬运位置校正系统及方法，以至少部分改善上述问题。

2、为了实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：

3、第一方面，本发明实施例提供一种搬运位置校正系统，所述搬运位置校正系统包括天车和信息采集设备，所述信息采集设备部署于所述天车的升降台的产品抓手内，所述天车部署有扫描设备，所述扫描设备用于对目标机台的标识码进行扫描，扫描结果包括目标机台的标识和像素值；

4、所述天车用于沿示教指令对应的目标路线行驶，其中，所述示教指令包括n个目标机台，n≥1，每一个所述目标机台均设置有对应的标识码；

5、当所述扫描结果包括第i个所述目标机台的标识，且其中的像素值等于第i个所述目标机台对应的目标像素值时，所述天车用于控制所述升降台向第i个所述目标机台搬运所述信息采集设备；

6、所述信息采集设备用于在与第i个所述目标机台的高度间隔等于第一预设距离时，采集第i个所述目标机台的顶部对应的目标图像；

7、所述信息采集设备用于对所述目标图像进行识别，以获取纵向偏移量，并将所述纵向偏移量发送给所述天车；

8、所述天车用于根据所述纵向偏移量对所述目标像素值进行校正，以确定与第i个所述目标机台的搬运位置对应的像素示教值。

9、第二方面，本发明实施例提供一种搬运位置校正方法，应用于搬运位置校正系统，所述搬运位置校正系统包括天车和信息采集设备，所述信息采集设备部署于所述天车的升降台的产品抓手内，所述天车部署有扫描设备，所述扫描设备用于对目标机台的标识码进行扫描，扫描结果包括目标机台的标识和像素值，所述方法包括：

10、所述天车沿示教指令对应的目标路线行驶，其中，所述示教指令包括n个目标机台，n≥1，每一个所述目标机台均设置有对应的标识码；

11、当所述扫描结果包括第i个所述目标机台的标识，且其中的像素值等于第i个所述目标机台对应的目标像素值时，所述天车控制所述升降台向第i个所述目标机台搬运所述信息采集设备；

12、所述信息采集设备在与第i个所述目标机台的高度间隔等于第一预设距离时，采集第i个所述目标机台的顶部对应的目标图像；

13、所述信息采集设备对所述目标图像进行识别，以获取纵向偏移量，并将所述纵向偏移量发送给所述天车；

14、所述天车根据所述纵向偏移量对所述目标像素值进行校正，以确定与第i个所述目标机台的搬运位置对应的像素示教值。

15、第三方面，本发明实施例提供一种搬运位置校正方法，应用于搬运位置校正系统中的天车，所述搬运位置校正系统还包括信息采集设备，所述信息采集设备部署于所述天车的升降台的产品抓手内，所述天车部署有扫描设备，所述扫描设备用于对目标机台的标识码进行扫描，扫描结果包括目标机台的标识和像素值，所述方法包括：

16、所述天车沿示教指令对应的目标路线行驶，其中，所述示教指令包括n个目标机台，n≥1，每一个所述目标机台均设置有对应的标识码；

17、当所述扫描结果包括第i个所述目标机台的标识，且其中的像素值等于第i个所述目标机台对应的目标像素值时，所述天车控制所述升降台向第i个所述目标机台搬运所述信息采集设备；

18、所述天车根据纵向偏移量对所述目标像素值进行校正，以确定与第i个所述目标机台的搬运位置对应的像素示教值，其中，所述纵向偏移量为所述信息采集设备对所述目标图像进行识别所获取到的偏移量，所述目标图像为所述信息采集设备在与第i个所述目标机台的高度间隔等于第一预设距离时，采集第i个所述目标机台的顶部对应的图像。

19、相对于现有技术，本发明实施例所提供的一种搬运位置校正系统及方法，搬运位置校正系统包括天车和信息采集设备，信息采集设备部署于天车的升降台的产品抓手内，天车部署有扫描设备，扫描设备用于对目标机台的标识码进行扫描，扫描结果包括目标机台的标识和像素值；天车用于沿示教指令对应的目标路线行驶，其中，示教指令包括n个目标机台，n≥1，每一个目标机台均设置有对应的标识码；当扫描结果包括第i个目标机台的标识，且其中的像素值等于第i个目标机台对应的目标像素值时，天车用于控制升降台向第i个目标机台搬运信息采集设备；信息采集设备用于在与第i个目标机台的高度间隔等于第一预设距离时，采集第i个目标机台的顶部对应的目标图像；信息采集设备用于对目标图像进行识别，以获取纵向偏移量，并将纵向偏移量发送给天车；天车用于根据纵向偏移量对目标像素值进行校正，以确定与第i个目标机台的搬运位置对应的像素示教值。以信息采集设备替代目标产品，采集纵向偏移量，并基于纵向偏移量对目标像素值进行校正，以确定与第i个目标机台的搬运位置对应的像素示教值。不需要人工对每一个机台分别人为调整移动标识板，避免了以往使用者登高作业的情景，维护了使用者的人身安全，倡导了工厂安全生产的理念，可以快速高效地进行搬运位置校正，完成天车的示教，尽快让天车投入到生产使用中。

20、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

1.一种搬运位置校正系统，其特征在于，所述搬运位置校正系统包括天车和信息采集设备，所述信息采集设备部署于所述天车的升降台的产品抓手内，所述天车部署有扫描设备，所述扫描设备用于对目标机台的标识码进行扫描，扫描结果包括目标机台的标识和像素值；

2.如权利要求1所述的搬运位置校正系统，其特征在于，所述目标机台的顶部设置有机台中心标识；

3.如权利要求1所述的搬运位置校正系统，其特征在于，

4.如权利要求1所述的搬运位置校正系统，其特征在于，所述信息采集设备的底部设置有接触传感器，所述信息采集设备的接触传感器与第i个所述目标机台接触时，所述接触传感器生成已触达信号；

5.如权利要求4所述的搬运位置校正系统，其特征在于，

6.如权利要求4所述的搬运位置校正系统，其特征在于，

7.如权利要求1所述的搬运位置校正系统，其特征在于，

8.一种搬运位置校正方法，其特征在于，应用于搬运位置校正系统，所述搬运位置校正系统包括天车和信息采集设备，所述信息采集设备部署于所述天车的升降台的产品抓手内，所述天车部署有扫描设备，所述扫描设备用于对目标机台的标识码进行扫描，扫描结果包括目标机台的标识和像素值，所述方法包括：

9.如权利要求8所述的搬运位置校正方法，其特征在于，所述天车根据所述纵向偏移量对所述目标像素值进行校正，以确定与第i个所述目标机台的搬运位置对应的像素示教值的步骤，包括：

10.一种搬运位置校正方法，其特征在于，应用于搬运位置校正系统中的天车，所述搬运位置校正系统还包括信息采集设备，所述信息采集设备部署于所述天车的升降台的产品抓手内，所述天车部署有扫描设备，所述扫描设备用于对目标机台的标识码进行扫描，扫描结果包括目标机台的标识和像素值，所述方法包括：