用于监测衬底与层之间界面的弱化的方法以及实现此类监测的装置与流程

1.一种用于在界面(13)的弱化退火期间监测层(12)和衬底(11)之间的所述界面(13)的弱化的方法，所述衬底(11)/层(12)组件具有至少第一面和第二面(10a，10b)，所述方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的弱化监测方法，其中，在测量所述光束(25)的强度期间，在多个第二方向(25b，25b')上测量所述强度，每个第二方向与所述第一方向(25a)具有非零角度，并且其中，优选地，所述第二方向(25b，25b')中的至少两个第二方向相对于所述第一方向(25)具有彼此不同的角度。

3.根据权利要求1或2所述的弱化监测方法，其中，提供在所述弱化退火之前实施的先前校准步骤，所述先前校准步骤包括以下子步骤：

4.根据权利要求1至3中任一项所述的弱化监测方法，其中，在用所述光束(25)在所述第一方向上照射所述第一面(10a)期间，所述光束(25)在所述第一面(10a)的至少两个区域中移动。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弱化监测方法，其中，单色光束(25)具有位于红外波长范围内的波长，优选地是近红外波长，所述波长甚至更有利地在1050nm至1550nm之间。

6.一种用于弱化层(12)与衬底(11)之间的界面(13)的方法，所述方法包括对所述衬底(11)/层(12)组件(10)进行弱化退火以弱化所述界面(13)的步骤，其中，在所述退火步骤期间，实施根据权利要求1至6中任一项所述的弱化监测方法。

7.根据权利要求6所述的用于弱化界面(13)的方法，其中，当通过所述弱化监测方法确定的所述界面的弱化状态达到给定阈值时，停止所述弱化退火步骤，所述弱化状态优选地对应于所述界面(13)的破裂，然后通过至少一个所述第二方向(25b)上的强度变化和/或散射峰的移动来检测所述破裂。

8.根据权利要求6或7所述的用于弱化界面(13)的方法，其中，根据在实施所述弱化监测方法期间确定的所述界面(13)的弱化状态来修改在所述退火步骤期间使用的退火条件。

9.一种用于监测界面的弱化的装置(30)，以在界面(13)的弱化退火期间监测层(12)与衬底(11)之间的所述界面(13)的弱化，所述衬底(11)/层(12)组件(10)具有至少第一面和第二面(10a，10b)，所述装置包括：

10.根据权利要求9所述的弱化监测装置(30)，其中，所述电磁辐射检测器被布置成允许测量所述光束(25)在多个第二方向(25b，25b')上散射后的强度，每个第二方向与所述第一方向(25a)具有非零角度，并且其中，优选地，所述第二方向(25b，25b')中的至少两个第二方向相对于所述第一方向(25)具有彼此不同的角度。

11.根据权利要求9或10所述的弱化监测装置(30)，还包括处理单元(33)，所述处理单元(33)被配置为恢复由检测器(32)测量的所述光束(25)的强度值并基于所述光束(25)的所述强度值确定所述界面(13)的弱化状态。

12.根据权利要求11所述的弱化监测装置(30)，其中，所述处理单元(33)还被配置为在确定所述界面的弱化状态期间，根据在弱化退火之前确定的参考强度来校正所测量的强度。

13.一种退火炉(40)，能够实施弱化退火以弱化层和衬底之间的界面，所述退火炉(40)包括根据权利要求9至12中的任一项所述的弱化监测装置。

14.根据权利要求13所述的退火炉(40)，包括用于所述衬底(11)/层(12)组件的第一位置和用于另一衬底/层组件的至少一个第二位置，以便允许同时对所述衬底(11)/层(12)组件和所述另一衬底/层组件进行弱化退火，

15.根据权利要求13或14所述的退火炉(40)，配置成使得在实施弱化退火时，当所述弱化监测装置(30)确定所测量的界面(13)的弱化状态达到给定阈值时，停止所述衬底(11)/层(12)组件(10)的退火。