用于改善功率特性的氮化镓器件结构及其制备方法、器件与流程

1.一种用于改善功率特性的氮化镓器件结构的制备方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的用于改善功率特性的氮化镓器件结构的制备方法，其特征在于，所述对目标区域进行沟道电子浓度降低处理，包括：

3.如权利要求1所述的用于改善功率特性的氮化镓器件结构的制备方法，其特征在于，所述对目标区域进行沟道电子浓度降低处理，包括：

4.如权利要求1至3任一项所述的用于改善功率特性的氮化镓器件结构的制备方法，其特征在于，在制备源、漏欧姆接触之前，所述方法还包括：

5.如权利要求1至3任一项所述的用于改善功率特性的氮化镓器件结构的制备方法，其特征在于，所述衬底的材料为sic、si、aln、蓝宝石中的一种；

6.如权利要求1至3任一项所述的用于改善功率特性的氮化镓器件结构的制备方法，其特征在于，每层氮化镓沟道层的厚度大于或等于2纳米，且小于或等于150纳米；

7.如权利要求1至3任一项所述的用于改善功率特性的氮化镓器件结构的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括：

8.一种用于改善功率特性的氮化镓器件结构，其特征在于，包括：

9.一种用于改善功率特性的氮化镓器件结构，其特征在于，包括：

10.一种氮化镓器件，其特征在于，包括如权利要求8或9所述的用于改善功率特性的氮化镓器件结构，或者，基于如权利要求1至7任一项所述的用于改善功率特性的氮化镓器件结构的制备方法制备而成。