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光学邻近修正方法、存储介质及终端与流程

2025-07-04 10:20:01 362次浏览

技术特征:

1.一种光学邻近修正方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的光学邻近修正方法,其特征在于,所述目标图形的特征元素包括:所述目标图形的各条边的长度尺寸、以及相邻边之间的夹角。

3.如权利要求2所述的光学邻近修正方法,其特征在于,基于所述测量原点获取每个所述目标图形的特征元素的方法包括:基于所述测量原点获取所述目标图形每个边界交点的坐标;基于所述目标图形的每个边角交点的坐标,获取所述目标图形的各条边的长度尺寸、以及相邻边之间的夹角。

4.如权利要求1所述的光学邻近修正方法,其特征在于,不同所述目标图形之间的关联性包括:直接几何同构和间接几何同构;其中,所述直接几何同构为2个所述目标图形可以直接通过平移达到重合;所述间接几何同构为2个所述目标图形需要经过图形转换后,再通过平移达到重合。

5.如权利要求4所述的光学邻近修正方法,其特征在于,所述间接几何同构包括:旋转几何同构,所述旋转几何同构为2个所述目标图形中的任意一者经过旋转后,再通过平移达到重合;镜像几何同构,所述镜像几何同构为2个所述目标图形中的任意一者经过镜像后,再通过平移达到重合;混合几何同构,所述混合几何同构为2个所述目标图形中的任意一者经过镜像和旋转后,再通过平移达到重合。

6.如权利要求1所述的光学邻近修正方法,其特征在于,在基于所述特征元素判断不同所述目标图形之间是否关联性之前,还包括:在若干所述目标图形中选取第一原图形;将剩余的所述目标图形与所述第一原图形进行对比。

7.如权利要求6所述的光学邻近修正方法,其特征在于,在若干所述目标图形中选取第一原图形的方法包括:基于所述目标图形的边的数量选取所述第一原图形,所述目标图形的边的数量与选取优先级呈负相关。

8.如权利要求7所述的光学邻近修正方法,其特征在于,当选取优先级相同的所述目标图形为多个时,从所述选取优先级最高且图形相同数量最多的所述目标图形中选取所述第一原图形。

9.如权利要求8所述的光学邻近修正方法,其特征在于,当所述选取优先级最高且图形相同数量最多的所述目标图形为多个时,基于所述测量原点获取每个所述目标图形坐标的顺序,选取第1个被获取坐标的所述目标图形作为所述第一原图形。

10.如权利要求8所述的光学邻近修正方法,其特征在于,当所述选取优先级最高且图形相同数量最多的所述目标图形为多组时,基于所述测量原点获取每个所述目标图形坐标的顺序,选取第1个被获取坐标的所述目标图形作为所述第一原图形。

11.如权利要求6所述的光学邻近修正方法,其特征在于,当判断不同所述目标图形之间不具有关联性时,将与所述第一原图形进行对比的所述目标图形作为第二原图形;将剩余的所述目标图形分别与所述第一原图形和所述第二原图形进行对比。

12.如权利要求5所述的光学邻近修正方法,其特征在于,基于所述特征元素判断不同所述目标图形之间的关联性的方法包括:将所述特征元素依照预设排布顺序形成特征列表;当2个所述目标图形的所述特征列表的所述特征元素完全相同时,则判断2个所述目标图形具有关联性;当2个所述目标图形的所述特征列表的所述特征元素不完全相同时,则判断2个所述目标图形不具有关联性。

13.如权利要求12所述的光学邻近修正方法,其特征在于,当2个所述目标图形的所述特征列表的所述特征元素完全相同、所述特征元素的预设排布顺序完全相同、以及2个所述目标图形可通过平移达到重合,则判断2个所述目标图形为直接几何同构。

14.如权利要求13所述的光学邻近修正方法,其特征在于,在具有所述关联性的所述目标图形之间进行光学邻近修正结果复用的方法包括:当判断2个所述目标图形为直接几何同构时,将作为原图形的所述目标图形的所述光学邻近修正结果复用至另1个所述目标图形上。

15.如权利要求12所述的光学邻近修正方法,其特征在于,当2个所述目标图形的所述特征列表的所述特征元素完全相同、所述特征元素的预设排布顺序也完全相同、以及2个所述目标图形不可通过平移达到重合,则判断2个所述目标图形为旋转几何同构。

16.如权利要求15所述的光学邻近修正方法,其特征在于,在具有所述关联性的所述目标图形之间进行光学邻近修正结果复用的方法包括:当判断2个所述目标图形为旋转几何同构之后,将作为原图形的所述目标图形按照预设步长的角度逐次旋转,直到2个所述目标图形可通过平移达到重合为止,获取作为原图形的所述目标图形的旋转角度;将作为原图形的所述目标图形的所述光学邻近修正结果按照所述旋转角度进行旋转后复用至另1个所述目标图形上。

17.如权利要求12所述的光学邻近修正方法,其特征在于,当2个所述目标图形的所述特征列表的所述特征元素完全相同、所述特征元素的预设排布顺序不完全相同、以及通过对作为原图形的所述目标图形进行镜像后,2个所述目标图形可通过平移达到重合,则判断2个所述目标图形为镜像几何同构。

18.如权利要求12所述的光学邻近修正方法,其特征在于,当2个所述目标图形的所述特征列表的所述特征元素完全相同、所述特征元素的预设排布顺序不完全相同、以及通过对作为原图形的所述目标图形进行镜像后,2个所述目标图形不可通过平移达到重合,则判断2个所述目标图形为混合几何同构。

19.如权利要求17所述的光学邻近修正方法,其特征在于,在具有所述关联性的所述目标图形之间进行光学邻近修正结果复用的方法包括:当判断2个所述目标图形为镜像几何同构之后,将作为原图形的所述目标图形进行镜像,直到2个所述目标图形可通过平移达到重合为止,获取作为原图形的所述目标图形镜像的对称轴;将作为原图形的所述目标图形的所述光学邻近修正结果按照所述对称轴进行镜像后复用至另1个所述目标图形上。

20.如权利要求18所述的光学邻近修正方法,其特征在于,在具有所述关联性的所述目标图形之间进行光学邻近修正结果复用的方法包括:当判断2个所述目标图形为混合几何同构之后,将作为原图形的所述目标图形进行镜像和旋转,直到2个所述目标图形可通过平移达到重合为止,获取作为原图形的所述目标图形镜像的对称轴和旋转角度;将作为原图形的所述目标图形的所述光学邻近修正结果按照所述对称轴进行镜像、以及按照所述旋转角度进行旋转后复用至另1个所述目标图形上。

21.如权利要求5、17、18、19或20所述的光学邻近修正方法,其特征在于,所述镜像的对称轴包括:第一对称轴和第二对称轴中的一种或多种,所述第一对称轴和所述第二对称轴垂直。

22.如权利要求11所述的光学邻近修正方法,其特征在于,在基于所述测量原点获取每个所述目标图形的特征元素之后,且在基于所述特征元素判断不同所述目标图形之间是否具有关联性之前,还包括:将若干所述目标图形划分为若干图形区域。

23.如权利要求22所述的光学邻近修正方法,其特征在于,每个所述图形区域中的所述目标图形同时分别与所述第一原图形或所述第二原图形进行对比。

24.如权利要求22所述的光学邻近修正方法,其特征在于,将若干所述目标图形划分为若干图形区域包括:按照功能模块对若干所述目标图形进行所述图形区域的划分,或者按照图形类型的相识度对若干所述目标图形进行所述图形区域的划分。

25.一种存储介质,其上存储有计算机指令,其特征在于,所述计算机指令运行时执行权利要求1~24任一项所述方法的步骤。

26.一种终端,包括存储器和处理器,所述存储器上存储有能够在所述处理器上运行的计算机指令,其特征在于,所述处理器运行所述计算机指令时执行权利要求1~24任一项所述方法的步骤。


技术总结
一种光学邻近修正方法、存储介质及终端,其中光学邻近修正方法包括:提供晶圆版图,晶圆版图中具有若干目标图形;在晶圆版图上选取测量原点;基于测量原点获取每个目标图形的特征元素;基于特征元素判断不同目标图形之间是否具有关联性;在具有关联性的目标图形之间进行光学邻近修正结果复用;对剩余不具有关联性的目标图形进行光学邻近修正。通过在晶圆版图上仅选取1个测量原点,由于各个特征元素均是基于同1个测量原点而获取的,在基于特征元素进行不同目标图形之间是否具有关联性的判断时,不需进行数据的转换而可以直接进行对比,能够有效提升光学邻近修正的速度,而且也不会造成数据间的混淆,能够有效提升光学邻近修正的结果。

技术研发人员:王科,任堃,高大为,吴永玉
受保护的技术使用者:浙江创芯集成电路有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/11/18
文档序号 : 【 40049287 】

技术研发人员:王科,任堃,高大为,吴永玉
技术所有人:浙江创芯集成电路有限公司

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王科任堃高大为吴永玉浙江创芯集成电路有限公司
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