一种用于太阳能电池片的图形化铜电极及其形成方法与流程

1.一种用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，所述用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，步骤s1包括：

3.根据权利要求1所述的用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，步骤s2包括：

4.根据权利要求1所述的用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，所述第一定模油墨和所述第二定模油墨在同一显影液中的溶解性相同，所述电镀掩膜油墨和所述包边油墨在同一显影液中的溶解性相同，所述第一定模油墨和所述电镀掩膜油墨在同一显影液中的溶解性不同，步骤s4包括：

5.根据权利要求4所述的用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，所述显影液为1wt%-2wt%na2co3溶液、0.5wt%-2wt%盐酸、硫酸、醋酸或tmah溶液。

6.根据权利要求1所述的用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，步骤s6包括：

7.根据权利要求6所述的用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，所述退膜液为3wt%-5wt%naoh溶液。

8.根据权利要求6所述的用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，所述湿法刻蚀工艺使用的刻蚀液为1wt%-2wt%h2so4以及5wt%-8wt%h2o2溶液。

9.根据权利要求1所述的用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，所述第一铜种子层和所述第二铜种子层的厚度均为10-100nm。

10.一种用于太阳能电池片的图形化铜电极，其特征在于，所述用于太阳能电池片的图形化铜电极由权利要求1-9任一项所述的用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法制成。