驱动装置、光学系统、与光刻设备的制作方法

1.一种驱动装置(100)，用于驱动及测量致动器(200)，该致动器用于致动光学系统(300)的光学元件(310)，该驱动装置包含：

2.如权利要求1所述的驱动装置，更包含：

3.如权利要求1或2所述的驱动装置，

4.如权利要求1至3中任一项所述的驱动装置，

5.如权利要求1至4中任一项所述的驱动装置，

6.如权利要求5所述的驱动装置，

7.如权利要求6所述的驱动装置，

8.如权利要求1至7中任一项所述的驱动装置，

9.如权利要求8所述的驱动装置，

10.如权利要求9所述的驱动装置，

11.如权利要求9或10所述的驱动装置，其中该驱动单元(110)的该放大电路(111)的该第二电路(114)与该电压测量单元(120)的该放大电路(121)的该第二电路(124)由单一电路构成。

12.一种光学系统(300)，包含多个可致动光学元件(310)，其中所述多个可致动光学元件(310)中的每一个可致动光学元件(310)被分配有致动器(200)，其中每个致动器(200)被分配给如权利要求1至11中任一项所述的用于驱动致动器(200)的驱动装置(100)。

13.如权利要求12所述的光学系统，

14.一种光刻设备(1)，包含如权利要求12或13所述的光学系统(300)。