一种光刻机通风气路装置的制作方法

本申请涉及光刻机通风设备领域，具体而言，涉及一种光刻机通风气路装置。

背景技术：

1、光刻机是半导体产业中的重要设备，光刻机设备的精度要求极高、其结构非常复杂，产品精度达纳米级。为实现高精度设备的正常运行，需要在光刻机内部建立一个稳定的工作环境，以控制整机内部的温度、压力以及污染物等。

2、光刻设备整机内部的温度、压力及污染物的控制是通过在光刻设备整机各区域内形成一定正压的环境实现的，以确保整机各区域内气体温度及压力恒定，和外界的污染物无法进入整机各区域内。这种有正压的环境一般通过不断向光刻设备内吹入洁净气体的方式实现的，而现有光刻机送风系统气路结构多为直接从顶部送风形式或者直接从侧部送风形式，这样容易导致空气流经高效过滤器后进入整机内部时风量不均匀，特别是由于光刻机内部如硅片台、掩膜台等机构或装置等对气流的阻碍作用，更加剧了光刻机其内部风量分布不均衡及降温效果较差。然而光刻设备整机内部不同区域对于温度、压力的要求各不相同，尤其是硅片工作台、物镜组件等所在区域发热量较大，且对温度较为敏感，需要维持较为稳定的温度和气压，现有通风设备采用简单从一侧进气的方式很显然不能满足高精度温控的要求，导致部分分系统局部散热效果不佳，甚至会影响光刻精度。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本申请提供了一种光刻机通风气路装置，其包括：

2、第一过滤腔，第二过滤腔，第三过滤腔，第四过滤腔，进风口以及进风管路；

3、所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔均设置在光刻机壳体的内壁顶部，并与所述光刻机的顶壁可拆卸式固定连接，所述进风口通过管路向所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述三过滤腔内供入冷却气体，所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔出风口设置在下端面，且所述第一过滤腔和所述第三过滤腔分别置于所述物镜正上方的左右两侧，所述第二过滤腔设置在掩膜台的正上方；所述第四过滤腔设置在所述光刻机壳体的侧面，所述第四过滤腔的出风口水平设置，所述第四过滤腔的出风口正对光刻机内部的硅片工作台；所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔、所述第四过滤腔的出风口处分别设置有过滤器；

4、所述进风口沿水平方向向所述过滤腔内供气或所述进风口气体的气流方向与水平方向呈夹角进入所述第一过滤腔和/或所述第二过滤腔和/或第三过滤腔和/或所述第四过滤腔。

5、在一种优选的实施例中，所述进风口通过隔板分割成第一子进风口以及第二子进风口；

6、所述第一子进风口与所述进风管路连通，所述进风管路连通至所述第四过滤腔，所述一子进风口通过所述进风管路向所述第四过滤腔内供气；所述第二子进风口与所述第一过滤腔连通，所述第一过滤腔通过连接管路向所述第二过滤腔和第三过滤腔内供气。

7、在一种优选的实施例中，所述第一过滤腔通过第一连接管路与所述第二过滤腔连通，所述第二过滤腔通过第二连接管路与所述第三过滤腔连通；所述第一过滤腔通过第三连接管路与所述第三过滤腔连通；所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔呈“廿”字形连通布置，所述第一过滤腔和所述第三过滤腔位于平衡的两侧，所述第二过滤腔设置在底部。

8、在一种优选的实施例中，所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔分别通过第一连接管路、第二连接管路首尾顺次连接成“∏”形结构。

9、在一种优选的实施例中，所述进风口为弯头管或水平进气管。

10、在一种优选的实施例中，所述第一子进风口的截面积小于所述第二子进风口的截面积，所述第一子进风口通过水平设置的进风管路和竖向设置的下部管路连接与所述第四过滤腔连通，所述第四过滤腔和所述下部管路均可拆卸式固定在所述光刻机壳体一侧的内壁上。

11、在一种优选的实施例中，所述第一过滤腔内设置有导流板，所述导流板适于将所述进风口进入的气流一部分遮挡后留存在所述第一过滤腔内，另一部分气流穿过所述导流板后进入所述第二过滤腔和/或所述第三过滤腔。

12、在一种优选的实施例中，所述导流板上开有若干通孔；所述导流板沿竖直或与水平方向呈夹角设置在所述第一过滤腔内。

13、在一种优选的实施例中，所述导流板靠近所述第一过滤腔的尾端设置，所述导流板与所述第一过滤腔的气流方向呈30～45°夹角；所述导流板与所述第一连接管路的进气端、所述第三连接管路的进气端围合成三角形状。

14、在一种优选的实施例中，所述导流板开设有呈圆形或腰形结构的通孔，所述通孔呈矩阵式排布，所述通孔的开孔面积占整个所述导流板面积的25～60％。

15、本申请的有益效果：

16、1.本申请提供的光刻机通风气路装置采用弯头管时，空气由整机的上侧部进入，经过一个垂直接口由下而上流入顶部空间，可减小空气进入顶部结构的流速。

17、2.空气入口采用分段式设计，空气从进风口流入后，分别流向两个方向，即第一过滤腔以及进风管路中，可有效平衡流入各过滤器的空气流量。

18、3.第一过滤腔内采用双路走向结构，可有效平衡流入第二过滤腔以及第三过滤腔的空气流量。

19、4.在第一过滤腔中部放置导流板，导流板可在一定程度上阻挡部分空气流入第二过滤腔及第三过滤腔，从而顺利向下流入第一过滤腔内的过滤器。

20、5.导流板孔型结构设计，既能保证有足够的空气流过导流板，进入第二过滤腔和第三过滤腔，也能够对从进风口进入的气流起到一定的阻隔作用，使第一过滤腔内保持足够的气流并通过第一过滤腔内的过滤腔，导流板放置角度方便固定且不易受风速影响造成振动而产生噪音。

21、6.本申请的各管路与过滤腔、过滤器均设置成独立的部件，各部件之间通过法兰、螺钉等形式连接成一体结构，便于安装及后续维护。

1.一种光刻机通风气路装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光刻机通风气路装置，其特征在于：所述进风口通过隔板分割成第一子进风口以及第二子进风口；

3.根据权利要求2所述的光刻机通风气路装置，其特征在于：所述第一过滤腔通过第一连接管路与所述第二过滤腔连通，所述第二过滤腔通过第二连接管路与所述第三过滤腔连通；所述第一过滤腔通过第三连接管路与所述第三过滤腔连通，所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔呈“廿”字形连通布置，所述第一过滤腔和所述第三过滤腔位于平衡的两侧，所述第二过滤腔设置在底部。

4.根据权利要求2所述的光刻机通风气路装置，其特征在于：所述第一过滤腔、所述第二过滤腔、所述第三过滤腔分别通过第一连接管路、第二连接管路首尾顺次连接成“∏”形结构。

5.根据权利要求1-4任一项所述的光刻机通风气路装置：其特征在于：所述进风口为弯头管或水平进气管。

6.根据权利要求2所述的光刻机通风气路装置，其特征在于：所述第一子进风口的截面积小于所述第二子进风口的截面积，所述第一子进风口通过水平设置的进风管路和竖向设置的下部管路连接与所述第四过滤腔连通，所述第四过滤腔和所述下部管路均可拆卸式固定在所述光刻机壳体一侧的内壁上。

7.根据权利要求5所述的光刻机通风气路装置，其特征在于：所述第一过滤腔内设置有导流板，所述导流板适于将所述进风口进入的气流一部分遮挡后留存在所述第一过滤腔内，另一部分气流穿过所述导流板后进入所述第二过滤腔和/或所述第三过滤腔。

8.根据权利要求7所述的光刻机通风气路装置，其特征在于：所述导流板上开有若干通孔；所述导流板沿竖直或与水平方向呈夹角设置在所述第一过滤腔内。

9.根据权利要求7所述的光刻机通风气路装置，其特征在于：所述导流板靠近所述第一过滤腔的尾端设置，所述导流板与所述第一过滤腔的气流方向呈30～45°夹角；所述导流板与所述第一连接管路的进气端、所述第三连接管路的进气端围合成三角形状。

10.根据权利要求8所述的光刻机通风气路装置，其特征在于：所述导流板开设有呈圆形或腰形结构的通孔，所述通孔呈矩阵式排布，所述通孔的开孔面积占整个所述导流板面积的25～60％。