一种蓝宝石晶片研磨装置及研磨方法与流程

1.一种蓝宝石晶片研磨装置，研磨装置包括双面研磨机本体，其特征在于：还包括研磨液补充单元、研磨液输送单元和研磨液回收单元，研磨液补充单元设置在双面研磨机本体的外侧，且研磨液补充单元的出液端与研磨液输送单元的进液端连通设置，研磨液输送单元安装在双面研磨机本体的上部，且研磨液输送单元的出液端与双面研磨机本体的进液端连通设置，研磨液回收单元安装在双面研磨机本体的下部，且研磨液回收单元的进液端与双面研磨机本体的出液端连通设置，研磨液回收单元的出液端与双面研磨机本体的研磨液回流端连通设置。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片研磨装置，其特征在于：研磨液补充单元包括研磨液预存桶(1)和一号液泵(2)，研磨液预存桶(1)设置在双面研磨机本体的外侧，且研磨液预存桶(1)内盛放有足量的研磨液，一号液泵(2)设置在研磨液预存桶(1)上，且一号液泵(2)的进液端通过输液管与研磨液预存桶(1)连通设置，一号液泵(2)的出液端通过输液管与研磨液输送单元的进液端连通设置。

3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶片研磨装置，其特征在于：研磨液输送单元包括研磨液输送桶(3)和蠕动泵(4)，研磨液输送桶(3)和蠕动泵(4)均安装在双面研磨机本体的上部，一号液泵(2)的出液端通过输液管与研磨液输送桶(3)的进液端连通设置，研磨液输送桶(3)的出液端通过蠕动泵(4)与双面研磨机本体的进液端连通设置。

4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石晶片研磨装置，其特征在于：研磨液输送桶(3)的安装高度高于蠕动泵(4)的安装高度。

5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石晶片研磨装置，其特征在于：蠕动泵(4)的长度为259mm，宽度为157mm，高度为237mm，泵头为3-6个，转速范围0-150转/分钟，流量范围0-645毫升/分钟。

6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石晶片研磨装置，其特征在于：研磨液回收单元包括研磨液回收桶(5)和二号液泵(6)，研磨液回收桶(5)和二号液泵(6)均安装在双面研磨机本体的下部，且研磨液回收桶(5)的进液端与双面研磨机本体的出液端连通设置，研磨液回收桶(5)出液端通过输液管与二号液泵(6)的进液端连通设置，二号液泵(6)的出液端通过输液管与双面研磨机本体的研磨液回流端连通设置。

7.一种基于权利要求1至权利要求7中任意一种蓝宝石晶片研磨装置实现的研磨方法，其特征在于：所述研磨方法是通过以下步骤实现的：

8.根据权利要求7所述的一种蓝宝石晶片研磨方法，其特征在于：步骤2中对步骤1中摆放好的蓝宝石晶片进行下厚研磨加工的具体步骤如下：

9.根据权利要求7所述的一种蓝宝石晶片研磨方法，其特征在于：步骤4中对步骤3中厚度尺寸达标后的蓝宝石晶片进行找粗研磨加工的具体步骤如下：

10.根据权利要求9所述的一种蓝宝石晶片研磨方法，其特征在于：在步骤41中研磨液输送桶(3)内的研磨液使用殆尽时，一号液泵(2)开始工作将研磨液预存桶(1)中足量的研磨液引入到研磨液输送桶(3)中并对研磨液输送桶(3)中的研磨液进行补充，一号液泵(2)的抽液量为30l/min。