一种靶的旋转结构的制作方法

本技术涉及真空磁控溅射镀膜机，具体涉及一种靶的旋转结构。

背景技术：

1、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜，近十年来发展相当快，已经成为当今最先进的表面处理方式之一。真空镀膜生产是实现膜层附着在工件表面，以获得需要的工件表面特性。真空溅射镀膜是利用靶材发生溅射，使溅射物附着在工件表面形成膜层，即达到镀膜，作为真空磁控溅射镀膜机的重要部件，在镀膜时，靶到基片的距离尤为重要，当基片形状为圆弧或者异性形状时，为保证靶基距基本相同，靶需要旋转靶，由于磁控溅射过程中靶会产生高温，因此需要对靶进行降温处理。

2、对靶降温需要通入冷却水，但现有技术中通常采用金属波纹管或者软管通入冷却水，当靶旋转时波纹管会反复弯曲，使用寿命很短，更换也不方便。软管放气率太高，会影响膜层的质量。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种靶的旋转结构，解决现有技术中通常采用金属波纹管或者软管通入冷却水，当靶旋转时波纹管会反复弯曲，使用寿命很短，更换也不方便；软管放气率太高，会影响膜层的质量的问题。

2、为解决上述的技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种靶的旋转结构，包括设在真空箱体外壁上的伺服电机，伺服电机的输出轴通过活动孔贯穿真空箱体并朝向真空箱体内部设置，输出轴通过联轴器连接有蜗杆；蜗杆置于真空箱体内部通过支撑机构传动连接有传动机构，传动机构底部固定连接有靶；支撑机构上固定设有用于输送冷却水的空心型连轴，传动机构活动套设在连轴的外壁上，连轴远离支撑机构的一端贯穿穿出传动机构固定连接有出水口；连轴通过冷却组件与靶内部相连。

4、进一步的技术方案是支撑机构包括安装基座和端盖，安装基座通过连接法兰与真空箱体内壁相连，安装基座内部设有安装仓，安装仓设有仓口，端盖固定设于安装基座远离仓口的一侧上，连轴两端贯穿安装仓分别朝向仓口设置并与端盖固定相连，连轴贯穿穿出端盖的一端连通设有进水口；蜗杆贯穿连接法兰内部的一端活动贯穿穿进安装仓内，并与传动机构传动相连。

5、更进一步的技术方案是传动机构包括转动盘、水套，转动盘一端通过仓口转动设于安装仓内与蜗杆传动相连，另一端与水套固定相连，转动盘的外壁上固定套设有与蜗杆啮合匹配的涡轮，转动盘位于涡轮两端的外壁上分别固定套设有支撑轴承，支撑轴承的外环与安装仓的内壁相连。

6、更进一步的技术方案是转动盘和水套活动套设在连轴外壁上，水套内开设有贯穿其内部的转动孔，转动孔两端内壁上分别设有转动轴承，水套转动套设在连轴外壁上时，连轴外壁与转动轴承内环固定相连。

7、更进一步的技术方案是冷却组件设于两个转动轴承之间，冷却组件包括进水管和出水管，连轴分为进水端和出水端，进水端与出水端之间通过轴封固定相连；进水端和出水端靠近轴封处分别设有流入口和流出口，水套内部位于流入口和流出口处分别开设有流入腔和流出腔，进水端和出水端上均设有用于密封流入腔和流出腔的密封垫；进水管和出水管分别固定设于水套内，且进水管的两端分别与流入腔和靶相连通，出水管的两端分别与流出腔和靶相连通。

8、更进一步的技术方案是伺服电机通过安装法兰设于真空箱体外侧。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置伺服电机、支撑机构、传动机构、连轴和冷却组件，伺服电机工作带动蜗杆进行转动，带动传动机构转动，进而带动靶进行旋转，当基片形状为圆弧或者异性形状时，通过旋转靶保证靶基距基本相同，实现高效镀膜，同时将传动机构活动套设在连轴上，通过连轴输送冷却水，当在伺服电机工作下传动机构带动靶旋转时，连轴不会旋转，因此连轴不会弯曲，使得连轴使用寿命延长，解决了现有技术中采用金属波纹管或者软管通入冷却水，当靶旋转时波纹管会反复弯曲，使用寿命很短，更换也不方便。软管放气率太高，会影响膜层的质量的问题，大大降低了使用成本。

1.一种靶的旋转结构，其特征在于：包括设在真空箱体（30）外壁上的伺服电机（1），所述伺服电机（1）的输出轴通过活动孔贯穿真空箱体（30）并朝向真空箱体（30）内部设置，所述输出轴通过联轴器（2）连接有蜗杆（3）；所述蜗杆（3）置于真空箱体（30）内部通过支撑机构传动连接有传动机构，所述传动机构底部固定连接有靶（4）；所述支撑机构上固定设有用于输送冷却水的空心型连轴（5），所述传动机构活动套设在所述连轴（5）的外壁上，所述连轴（5）远离所述支撑机构的一端贯穿穿出所述传动机构固定连接有出水口（6）；所述连轴（5）通过冷却组件与所述靶（4）内部相连通。

2.根据权利要求1所述的一种靶的旋转结构，其特征在于：所述支撑机构包括安装基座（7）和端盖（8），所述安装基座（7）通过连接法兰（9）与所述真空箱体（30）内壁相连，所述安装基座（7）内部设有安装仓（10），所述安装仓（10）设有仓口，所述端盖（8）固定设于安装基座（7）远离仓口的一侧上，所述连轴（5）两端贯穿安装仓（10）分别朝向仓口设置并与所述端盖（8）固定相连，所述连轴（5）贯穿穿出端盖（8）的一端连通设有进水口（12）；所述蜗杆（3）贯穿连接法兰（9）内部的一端活动贯穿穿进所述安装仓（10）内，并与所述传动机构传动相连。

3.根据权利要求2所述的一种靶的旋转结构，其特征在于：所述传动机构包括转动盘（13）、水套（14），所述转动盘（13）一端通过仓口转动设于所述安装仓（10）内与所述蜗杆（3）传动相连，另一端与所述水套（14）固定相连，所述转动盘（13）的外壁上固定套设有与所述蜗杆（3）啮合匹配的涡轮（15），所述转动盘（13）位于所述涡轮（15）两端的外壁上分别固定套设有支撑轴承（16），所述支撑轴承（16）的外环与所述安装仓（10）的内壁相连。

4.根据权利要求3所述的一种靶的旋转结构，其特征在于：所述转动盘（13）和水套（14）活动套设在连轴（5）外壁上，所述水套（14）内开设有贯穿其内部的转动孔，所述转动孔两端内壁上分别设有转动轴承（18），所述水套（14）转动套设在所述连轴（5）外壁上时，所述连轴（5）外壁与所述转动轴承（18）内环固定相连。

5.根据权利要求4所述的一种靶的旋转结构，其特征在于：所述冷却组件设于两个转动轴承（18）之间，所述冷却组件包括进水管（19）和出水管（20），所述连轴（5）分为进水端（21）和出水端（22），所述进水端（21）与出水端（22）之间通过轴封（23）固定相连；所述进水端（21）和出水端（22）靠近所述轴封（23）处分别设有流入口（24）和流出口（25），所述水套（14）内部位于所述流入口（24）和流出口（25）处分别开设有流入腔（26）和流出腔（27），所述进水端（21）和出水端（22）上均设有用于密封流入腔（26）和流出腔（27）的密封垫（28）；所述进水管（19）和出水管（20）分别固定设于所述水套（14）内，且所述进水管（19）的两端分别与流入腔（26）和靶（4）相连通，所述出水管（20）的两端分别与流出腔（27）和靶（4）相连通。

6.根据权利要求1所述的一种靶的旋转结构，其特征在于：所述伺服电机（1）通过安装法兰（29）设于所述真空箱体（30）外侧。